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深圳市科技计划项目(2004-K1-117)
作品数:
2
被引量:6
H指数:1
相关作者:
康光宇
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相关机构:
深圳国家863计划材料表面工程技术研究开发中心
深圳新南亚技术开发有限公司
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发文基金:
深圳市科技计划项目
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康光宇
供职机构:深圳国家863计划材料表面工程技术研究开发中心
研究主题:离子注入 磁控溅射 活性 离子渗氮 等离子体源
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