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深圳市科技计划项目(2004-K1-117)
作品数:
2
被引量:7
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相关作者:
康光宇
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相关机构:
深圳国家863计划材料表面工程技术研究开发中心
深圳新南亚技术开发有限公司
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发文基金:
深圳市科技计划项目
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相关领域:
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深圳国家863计划材料表面工程技术研究开发中心
研究主题:非平衡磁控溅射 TI 电弧离子镀 N 磁控溅射
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深圳新南亚技术开发有限公司
研究主题:镀膜 靶材 片架 磁铁 传动装置
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