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国家自然科学基金(10575074)

作品数:10 被引量:8H指数:1
相关作者:叶超宁兆元俞笑竹王婷婷辛煜更多>>
相关机构:苏州大学复旦大学上海交通大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:理学电子电信核科学技术机械工程更多>>

领域

  • 3个电子电信
  • 3个理学
  • 2个核科学技术
  • 1个一般工业技术

主题

  • 3个等离子体
  • 3个CHF3
  • 3个MHZ
  • 3个SUBSTR...
  • 3个DUAL-F...
  • 2个等离子体参数
  • 2个等离子体刻蚀
  • 2个等离子体密度
  • 2个双频
  • 1个等离子
  • 1个等离子体辅助
  • 1个等离子体化学
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  • 1个等离子体特性
  • 1个等离子体物理
  • 1个电容耦合
  • 1个电特性
  • 1个电子回旋共振
  • 1个血浆浓度
  • 1个氧化硅薄膜

机构

  • 2个苏州大学
  • 1个大连理工大学
  • 1个复旦大学
  • 1个中国科学技术...
  • 1个新疆工业高等...
  • 1个新疆工程学院

作者

  • 2个徐轶君
  • 2个胡佳
  • 2个叶超
  • 1个毛明
  • 1个袁强华
  • 1个张树宇
  • 1个王培君
  • 1个陈牧笛
  • 1个周海洋
  • 1个孙恺
  • 1个宁兆元
  • 1个柯博
  • 1个温晓辉
  • 1个刘佳
  • 1个杜记龙
  • 1个蒋相站
  • 1个丁振峰
  • 1个倪添灵
  • 1个刘永新
  • 1个汪磊

传媒

  • 3个Plasma...
  • 2个物理学报
  • 2个Chines...
  • 1个苏州大学学报...
  • 1个科学技术与工...
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