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国家自然科学基金(10575074)

作品数：10 被引量：8H指数：1
相关作者：叶超宁兆元俞笑竹王婷婷辛煜更多>>
相关机构：苏州大学复旦大学上海交通大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学电子电信核科学技术机械工程更多>>

领域

  • 12个理学
  • 9个电子电信
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主题

  • 9个等离子体
  • 9个介电
  • 9个掺杂
  • 8个电性能
  • 7个电学
  • 6个低介电常数
  • 5个物性
  • 4个氮化
  • 4个等离子
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  • 4个等离子体制备
  • 4个电路
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  • 3个导体
  • 3个等离子体处理
  • 3个等离子体技术
  • 3个等离子体密度
  • 3个等离子体特性
  • 3个等离子体源

机构

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  • 2个中国科学院等...
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资助

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  • 3个江苏省自然科...
  • 3个国家重点实验...
  • 3个江苏省高校省...
  • 3个江苏省高校省...
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传媒

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  • 4个物理
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  • 3个功能材料
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  • 1个心理学报
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地区

  • 11个江苏省
  • 2个上海市
共 13 条 记 录，以下是 1-10
叶超
供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）
研究主题：氟化非晶碳薄膜 低介电常数 F 等离子体 介电
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宁兆元
供职机构：苏州大学
研究主题：等离子体 氟化非晶碳薄膜 ECR 感应耦合等离子体 光学带隙
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
俞笑竹
供职机构：上海交通大学
研究主题：性能研究 低介电常数 介电性能 SI OH
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王婷婷
供职机构：苏州大学
研究主题：低介电常数 医学图像分割 氟掺杂 角膜溃疡 纳米探针
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
梁荣庆
供职机构：复旦大学
研究主题：等离子体 低温等离子体技术 剂量计 固态照明 介质阻挡放电
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
钱晓梅
供职机构：苏州大学
研究主题：介电性能 O 掺杂 电学 材料改性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张海燕
供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）江苏省薄膜材料重点实验室
研究主题：COH 物性 氟掺杂 质谱分析 等离子体化学
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
辛煜
供职机构：苏州大学
研究主题：感应耦合等离子体 等离子体 发射光谱 A-C 氟化非晶碳薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杜杰
供职机构：苏州大学
研究主题：COH 物性 抑制剂 超大规模集成电路 蛋白结构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卫永霞
供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）江苏省薄膜材料重点实验室
研究主题：掺杂 介电性能 电学 O
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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