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苏州大学物理科学与技术学院(能源学院)江苏省薄膜材料重点实验室
作品数:
106
被引量:374
H指数:9
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程珊华
甘肇强
孙华
狄小莲
郭射宇
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上海交通大学材料科学与工程学院金属基复合材料国家重点实验室
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程珊华
作品数:53
被引量:286
H指数:12
供职机构:苏州大学物理科学与技术学院(能源学院)江苏省薄膜材料重点实验室
研究主题:氟化非晶碳薄膜 等离子体 F ITO膜 A-C
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甘肇强
作品数:25
被引量:112
H指数:6
供职机构:苏州大学物理科学与技术学院(能源学院)江苏省薄膜材料重点实验室
研究主题:脉冲激光沉积 铁电薄膜 CHF 紫外可见光谱 溶胶-凝胶法制备
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孙华
作品数:21
被引量:16
H指数:3
供职机构:苏州大学物理科学与技术学院(能源学院)江苏省薄膜材料重点实验室
研究主题:自旋极化 磁电阻 半金属 磁输运 磁电阻效应
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狄小莲
作品数:7
被引量:19
H指数:3
供职机构:苏州大学物理科学与技术学院(能源学院)江苏省薄膜材料重点实验室
研究主题:感应耦合等离子体 变压器模型 感应耦合 平板型 朗谬尔探针
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郭射宇
作品数:5
被引量:9
H指数:2
供职机构:苏州大学物理科学与技术学院(能源学院)江苏省薄膜材料重点实验室
研究主题:等离子体 慧星 彗尾 ECR 稳定性
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刘卉敏
作品数:3
被引量:2
H指数:1
供职机构:苏州大学物理科学与技术学院(能源学院)江苏省薄膜材料重点实验室
研究主题:等离子体刻蚀 O CHF 等离子体
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李金泽
作品数:2
被引量:2
H指数:1
供职机构:苏州大学物理科学与技术学院(能源学院)江苏省薄膜材料重点实验室
研究主题:TIO_2薄膜 TIO2薄膜 LA掺杂 光催化 接触角
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徐俞
作品数:2
被引量:0
H指数:0
供职机构:苏州大学物理科学与技术学院(能源学院)江苏省薄膜材料重点实验室
研究主题:脉冲激光沉积 BST薄膜 薄膜微结构 二氧化钛薄膜 介电性质
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邓艳红
作品数:2
被引量:1
H指数:1
供职机构:苏州大学物理科学与技术学院(能源学院)江苏省薄膜材料重点实验室
研究主题:等离子体刻蚀 CHF O
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研究领域
张海燕
作品数:2
被引量:1
H指数:1
供职机构:苏州大学物理科学与技术学院(能源学院)江苏省薄膜材料重点实验室
研究主题:COH 物性 氟掺杂 质谱分析 等离子体化学
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