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复旦大学微电子学院专用集成电路与系统国家重点实验室

作品数:24 被引量:30H指数:3
相关作者:刘文军更多>>
相关机构:上海大学机电工程与自动化学院上海理工大学光电信息与计算机工程学院上海市现代光学系统重点实验室上海理工大学光电信息与计算机工程学院更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家重点实验室开放基金上海市自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信理学一般工业技术机械工程更多>>

领域

  • 1个理学

主题

  • 1个导电
  • 1个导电机理
  • 1个叠层
  • 1个介质
  • 1个SIO
  • 1个ZRO
  • 1个ZRO2

机构

  • 1个复旦大学

传媒

  • 1个物理学报
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刘文军
作品数:1被引量:0H指数:0
供职机构:复旦大学微电子学院专用集成电路与系统国家重点实验室
研究主题:ZRO2 ZRO SIO 介质 叠层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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