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张轶铭

作品数：10 被引量：0H指数：0
供职机构：北京大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电气工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 8篇专利
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇电气工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 4篇键合
  • 3篇金属
  • 3篇刻蚀
  • 3篇衬底
  • 2篇等离子体
  • 2篇电器
  • 2篇电容
  • 2篇电容式
  • 2篇电学隔离
  • 2篇振动膜
  • 2篇微机械
  • 2篇微机械加工
  • 2篇微继电器
  • 2篇绝缘
  • 2篇绝缘层
  • 2篇刻蚀工艺
  • 2篇刻蚀速率
  • 2篇空气隙
  • 2篇回填
  • 2篇基片

机构

  • 10篇北京大学

作者

  • 10篇张轶铭
  • 3篇胡佳
  • 2篇李男男
  • 2篇陈书慧
  • 2篇李天宇
  • 2篇罗进
  • 1篇赵刚
  • 1篇舒琼
  • 1篇田尧
  • 1篇李文
  • 1篇宋璐
  • 1篇陈献

传媒

  • 1篇中国微米纳米...

年份

  • 1篇2016
  • 1篇2013
  • 4篇2012
  • 1篇2011
  • 3篇2009
共 10 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种刻蚀金属钼材料的方法
本发明公开了一种刻蚀金属钼材料的方法，在金属钼材料上形成刻蚀掩膜，然后采用高密度等离子体(如ICP、TCP等)干法刻蚀工艺，产生高密度、高能量离子和自由基，实现了对金属钼体材料的高速率、各向异性刻蚀。刻蚀速率可达2.63...
陈兢胡佳张轶铭陈书慧李男男罗进
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一种金属微小结构的加工方法
本发明提供一种金属微小结构的加工方法，其步骤包括：在金属基片背面刻蚀双面对准标记和背面盲孔的对准标记；采用微细电火花工艺在基片背面制作盲孔阵列；采用物理气相沉积方法在基片背面制作金属层；根据产品的结构形状，在基片正面对应...
陈兢单一张轶铭罗进李天宇胡佳
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一种衬底上基片的微细加工方法
本发明公开了一种衬底上基片的微细加工方法，该方法包括：使用聚合物作为中间黏附层，通过压力键合的方法，将衬底与基片键合在一起，形成衬底上基片；对基片减薄，并深刻蚀形成通孔；对通孔进行回填，再次对基片进行深刻蚀形成电镀孔；在...
陈兢张轶铭
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一种Post-CMOS电容式硅基微传声器及其制备方法
本发明提供了一种Post-CMOS电容式硅基微传声器及其制备方法，属于微电子半导体器件技术领域。该硅基微传声器包括一硅衬底、带有引出电极的振动膜和穿孔背极板，在硅衬底上制备一绝缘层，从硅衬底的底面刻蚀出一个缺口，该缺口的...
张轶铭陈兢
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一种刻蚀金属钨材料的方法
本发明公开了一种刻蚀金属钨材料的方法，在金属钨材料上形成刻蚀掩膜，然后采用高密度等离子体(如ICP、TCP等)干法刻蚀工艺，产生高密度、高能量离子和自由基，实现了对金属钨体材料的高速率、各向异性刻蚀。刻蚀速率可达2.95...
陈兢胡佳张轶铭陈书慧李男男李天宇
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一种衬底上基片的微细加工方法
本发明公开了一种衬底上基片的微细加工方法，该方法包括：使用聚合物作为中间黏附层，通过压力键合的方法，将衬底与基片键合在一起，形成衬底上基片；对基片减薄，并深刻蚀形成通孔；对通孔进行回填，再次对基片进行深刻蚀形成电镀孔；在...
陈兢张轶铭
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一种金属钼基微继电器及其制备方法
本发明涉及一种金属钼基微继电器及其制备方法。该金属钼基微继电器，包括作为弹性回复结构的单端固支悬臂梁，连接该单端固支悬臂梁的静电驱动梳齿结构，以及靠近该单端固支悬臂梁一端的触头，所述单端固支悬臂梁、梳齿结构和触头的材料为...
徐纯纯陈兢张轶铭宋璐陈献
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一种Post－CMOS电容式硅基微传声器及其制备方法
本发明提供了一种Post－CMOS电容式硅基微传声器及其制备方法，属于微电子半导体器件技术领域。该硅基微传声器包括一硅衬底、带有引出电极的振动膜和穿孔背极板，在硅衬底上制备一绝缘层，从硅衬底的底面刻蚀出一个缺口，该缺口的...
张轶铭陈兢
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金属基微继电器加工工艺基础研究
随着深刻蚀等微机械加工技术的发展，在金属本体上可以加工出多种微结构，金属钛、钨、钼等成为了新兴的微机电系统(MEMS)结构材料。本论文针对现有的各类基于硅等材料的微继电器存在的工艺复杂和可靠性等潜在问题，提出了使用金属本...
张轶铭
关键词：微继电器
基于SU8热压键合的TOG(玻璃上钛)工艺
随着MEMS的发展和DRIE工艺的进步，一批基于SOI(绝缘体上硅)、SOG(玻璃上硅)的MEMS器件如开关、谐振器、陀螺、加速度计，由于结构深宽比高，工艺简单，效率高，电容极板面积大，占用芯片面积小，成为研究热点。但是...
张轶铭舒琼赵刚田尧李文陈兢
关键词：热压键合MEMS器件微机电系统玻璃衬底
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