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韩阶平

作品数：19 被引量：33H指数：3
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术化学工程理学更多>>

合作作者

共 4 条 记 录，以下是 1-4
中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
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中国科学院
研究主题：催化剂 土壤 英文 青藏高原 遥感
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合肥国家同步辐射实验室
研究主题：光束线 可靠性 国家同步辐射实验室 控制系统 电子信息系统
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中国科学院微电子中心
研究主题：集成电路 电子束曝光 电子束 专用集成电路 微细加工
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