唐圣明
- 作品数：25 被引量：14H指数：2
- 供职机构：中国科学院更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>
- 补肾中药淫羊藿中的微量元素被引量：8
- 1990年
- 淫羊藿为著名的补肾壮阳中药,具多种药理作用,临床可治疗多种疾病,其活性成分主要为黄酮类化合物,为探索其作用与微量元素的关系,本文分析小檗科淫羊藿属多种植物的无机元素。实验材料尖叶淫羊毯(Epioedeu二aeu,inat。。Franeh.),淫羊毯(E.b;et,ico,nom Maxim.)
- 施大文水野瑞夫唐圣明
- 关键词：淫羊藿微量元素
- X射线能谱仪在薄膜器件刻蚀中的应用
- 锫钛酸铅[Pb(Ti,Zr)O,简称 PZT]是一种新型的铁电薄膜材料,具有独特的电学,光学性能,有很广泛的应用价值。PZT 薄膜与器件的制造,均采用集成电路制造工艺。使用扫描电镜与 X 射线能谱仪对其进行工艺监控,可以...
- 唐圣明徐梅娣陈思琴林绥娟
- 文献传递
- 新型背散射电子探测器的应用
- 1993年
- 新型背散射电子探测器是由鲁宾逊(Robinson)于1974年最先提出来的。这种探测器由大型闪烁晶体与光电倍增管组成。它具有2000mm^2的接收表面,拥有大的接收立体角和短的工作距离,从而增强了信号强度,改善了信噪比。近年来,针对低原子序数,表面平坦的样品,其分辨率不高的缺点,又推出了适于超低压观察的低电压背散射电子探测器。因此,在扫描电子显微镜中得到广泛的应用。新型背散射电子探测器与其它类型的背散射电子探测器相比,其获得的图象有以下特点:一、具有与二次电子图象相当的空间分辨率——3nm。
- 唐圣明林绥娟
- 关键词：背散射谱仪
- 自停止腐蚀工艺的观察
- 唐圣明陈思琴韩明
- 文献传递
- X射线能谱仪在薄膜器件刻蚀中的应用
- 1994年
- Ｘ射线能谱仪在薄膜器件刻蚀中的应用唐圣明，徐梅娣，陈思琴，林绥娟（中国科学院上海冶金研究所，上海２０００５０）铝钛酸铅［Ｐｂ（Ｔｉ，Ｚｒ）Ｏ＿３，简称ＰＺＴ］是一种新型的铁电薄膜材料，具有独特的电学，光学性能，有很广泛的应用价值。ＰＺＴ薄膜与器件的制...
- 唐圣明徐梅娣陈思琴林绥娟
- 关键词：X射线谱仪能谱刻蚀铁电材料
- 扫描电镜低加速电压成像技术
- 随着纳米技术的发展,扫描电镜低加速电压下的成像技术日益引起人们的重视。本文介绍了扫描电镜低加速电压下高分辨率成像技术的原理及方法,在纳米材料和薄膜材料研究中的应用。
- 唐圣明
- 关键词：纳米材料显微分析扫描电镜
- 文献传递
- SX-40ASEM中杂散X射线的防治
- 1998年
- 众所周知，在扫描电镜Ｘ射线能谱分析中，杂散Ｘ射线的存在，将影响能谱分析的精度。上海永新彩管公司使用的仪器系进口的ＳＸ－４０ＡＳＥＭ和ＰＧＴ－ＩＭＩＸＥＤＳ，在分析样品时，经常发现有杂散Ｃｕ峰干扰。严重影响了测试工作的开展。为此，作者就杂散Ｘ射线的产生...
- 唐圣明孙利滨
- 关键词：扫描电子显微镜
- 金属镍微型静电马达的观察被引量：1
- 1996年
- 金属镍微型静电马达的观察唐圣明陈思琴王效东（中国科学院上海冶金研究所，上海２０００５０）微电子机械学是近年来国际上新兴的一门学科。它把微电子工业中的许多加工技术引入到微机械零件的制造中，从而批量制造各种微型的机械零件，直至微型机械人。本文所介绍的金属...
- 唐圣明陈思琴王效东
- 关键词：金属镍
- 空间电场的观察
- ＜正＞空间电场的分布与观察,是人们长期以来一直关注的问题。在透射电镜中,人们目前可以借助于电子全息术观察到粒子周围的空间电场及磁场的分布。在扫描电镜中,人们运用电压衬度技术,可以观察到电位在半导体器件上的分布。本文所发表...
- 唐圣明林绥娟陈思琴
- 文献传递
- 新型背散射电子探测器的应用
- 新型背散射电子探测器是由鲁宾逊(Robinson)于1974年最先提出来的。这种探测器由大型闪烁晶体与光电倍增管组成。它具有2000mm的接收表面,拥有大的接收立体角和短的工作距离,从而增强了信号强度,改善了信噪比。近年...
- 唐圣明林绥娟
- 文献传递
