陈思琴
- 作品数：12 被引量：8H指数：2
- 供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程电气工程自动化与计算机技术更多>>
- 自停止腐蚀工艺的观察
- 唐圣明陈思琴韩明
- 文献传递
- X射线能谱仪在薄膜器件刻蚀中的应用
- 1994年
- Ｘ射线能谱仪在薄膜器件刻蚀中的应用唐圣明，徐梅娣，陈思琴，林绥娟（中国科学院上海冶金研究所，上海２０００５０）铝钛酸铅［Ｐｂ（Ｔｉ，Ｚｒ）Ｏ＿３，简称ＰＺＴ］是一种新型的铁电薄膜材料，具有独特的电学，光学性能，有很广泛的应用价值。ＰＺＴ薄膜与器件的制...
- 唐圣明徐梅娣陈思琴林绥娟
- 关键词：X射线谱仪能谱刻蚀铁电材料
- 自停止腐蚀工艺的观察
- 本文利用不同浓度的KOH溶液对硼掺杂浓度小于1×10<'19>cm<'-3>时的<100>硅,腐蚀速率为常数,而硼掺杂浓度超过该浓度时,腐蚀迅率迅速下降的特点,来制备薄膜的用此方法可以制备厚度在5μm以下的悬梁结构.
- 唐圣明陈思琴韩明
- 关键词：半导体器件
- 文献传递
- 空间电场的观察
- 1994年
- 空间电场的观察唐圣明，林绥娟，陈思琴（中国科学院上海冶金研究所，上海２０００５０）空间电场的分布与观察，是人们长期以来一直关注的问题。在透射电镜中，人们目前可以借助于电子全息术观察到粒子周围的空间电场及磁场的分布。在扫描电镜中，人们运用电压衬度技术，...
- 唐圣明林绥娟陈思琴
- 关键词：电磁场空间电场扫描电子显微镜
- 金属镍微型静电马达的观察被引量：1
- 1996年
- 金属镍微型静电马达的观察唐圣明陈思琴王效东（中国科学院上海冶金研究所，上海２０００５０）微电子机械学是近年来国际上新兴的一门学科。它把微电子工业中的许多加工技术引入到微机械零件的制造中，从而批量制造各种微型的机械零件，直至微型机械人。本文所介绍的金属...
- 唐圣明陈思琴王效东
- 关键词：金属镍
- 空间电场的观察
- ＜正＞空间电场的分布与观察,是人们长期以来一直关注的问题。在透射电镜中,人们目前可以借助于电子全息术观察到粒子周围的空间电场及磁场的分布。在扫描电镜中,人们运用电压衬度技术,可以观察到电位在半导体器件上的分布。本文所发表...
- 唐圣明林绥娟陈思琴
- 文献传递
- X射线能谱仪在薄膜器件刻蚀中的应用
- 锫钛酸铅[Pb(Ti,Zr)O,简称 PZT]是一种新型的铁电薄膜材料,具有独特的电学,光学性能,有很广泛的应用价值。PZT 薄膜与器件的制造,均采用集成电路制造工艺。使用扫描电镜与 X 射线能谱仪对其进行工艺监控,可以...
- 唐圣明徐梅娣陈思琴林绥娟
- 文献传递
- 采用SF_6+O_2反应离子刻蚀聚酰亚胺膜被引量：2
- 1993年
- 报道了在O_2或SF_6+O_2混合气体中反应离子刻蚀聚酰亚胺的基本原理.使用牛津等离子科技公司的Plasmalab μp型刻蚀仪,对厚度0—4μm的聚酰正胺膜,进行各向异性的刻蚀,获得了侧墙陡直的微细图形.
- 孙承龙杜根娣郭方敏陈思琴林绥娟胡素英
- 关键词：聚酰亚胺半导体工艺
- 硅传感器反应离子刻蚀的观察被引量：3
- 2000年
- 唐圣明陈思琴熊幸果
- 关键词：硅传感器反应离子刻蚀微电子技术
- 自停止腐蚀工艺的观察被引量：1
- 2001年
- 唐圣明陈思琴韩明
- 关键词：微机械器件
