熊幸果
- 作品数：8 被引量：15H指数：3
- 供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术化学工程更多>>
- 玻璃衬底上可动硅微机械结构集成化的制作方法
- 一种单晶玻璃衬底上可动硅微机械结构集成化的制作方法，该方法通过硅-玻璃静电键合技术将单晶硅敏感结构制作在玻璃衬底上，在硅片键合面一侧对应可动结构底部预腐蚀浅坑实现可动结构的悬空，引入单晶硅深反应离子刻蚀技术进行微结构刻蚀...
- 熊幸果陆德仁王渭源
- 文献传递
- 用于微机械器件的Fe-Ni合金电镀沉积膜的性能被引量：2
- 2000年
- 结合Ｓｉ体微机械技术和电镀技术加工出Ｆｅ－Ｎｉ／Ｃｕ／Ｓｉ复合悬臂梁，其中Ｆｅ－Ｎｉ膜厚３μｍ，Ｃｕ膜厚０．２μｍ．利用共振法首次测出在１．３Ｐａ气压下，复合悬臂梁中Ｆｅ－Ｎｉ（Ｆｅ６４，Ｎｉ３６；质量分数，％，下同）电镀沉积膜的内耗为１０－３．利用自行设计的微力／微位移天平法，测出Ｆｅ－Ｎｉ（Ｆｅ ５７， Ｎｉ ４３）／Ｃｕ／Ｓｉ复合悬臂梁的Ｙｏｕｎｇ’ｓ模量为１．０×１０１１Ｎ／ｍ２．Ｆｅ－Ｎｉ电镀沉积膜的内应力随膜中Ｆｅ含量的增加先是增大然后减小．在Ｉｎｖａｒ合金（Ｆｅ６４，Ｎｉ３６）成分附近达到最大约 ３００ ＭＰａ．Ｆｅ－Ｎｉ电镀膜的热膨胀系数与膜中Ｆｅ含量关系则与内应力相反，但与合金体材料变化趋势一致，在Ｉｎｖａｒ合金成分附近达到最小，其值高于相应成分的合金体材料，约６×１０－６／℃。
- 陈垚张轩雄熊幸果王渭源
- 关键词：微机械内应力热膨胀系数
- 硅传感器反应离子刻蚀的观察被引量：3
- 2000年
- 唐圣明陈思琴熊幸果
- 关键词：硅传感器反应离子刻蚀微电子技术
- 微机械梳状电容式加速度传感器
- 本实用新型提出了一种以玻璃为衬底的单晶硅体微机械加工梳状电容式加速度传感器。本实用新型采用硅-玻璃键合结构,利用单晶硅深反应离子刻蚀(DRIE)技术进行叉指成型刻蚀,可增加器件厚度至上百微米,大幅度增加器件静态电容,便于...
- 熊幸果陆德仁王渭源
- 文献传递
- 硅传感器反应离子刻蚀的观察
- 唐圣明陈思琴熊幸果
- 文献传递
- 微力微位移天平测试方法被引量：5
- 1997年
- 介绍了一种简单有效的微力、微位移天平测试方法,通过对薄型硅悬臂梁进行力—挠度特性测试进而提取材料杨氏模量的方法是简便、可行的。还介绍了用于测量薄膜应力的悬臂梁挠曲法,对于硅上热生长1.1μm SiO_2的结构,测得SiO_2膜内的压应力为200～230MPa.微力微位移天平测试方法操作方便,仪器成本低,具有较高精度。
- 熊幸果陆德仁卢平芳熊斌王渭源
- 关键词：天平微电子机械系统
- 硅体微机械叉指电容式加速度传感器设计研究被引量：5
- 1998年
- 提出了一种硅体微机械加工叉指电容式加速度传感器结构，对其工作原理，器件性能优化设计与制作工艺流程进行了分析，得出优化的结构参数。本结构的电容值比ＡＤＸＬ５０加速度传感器大２０倍以上，同时可避免器件与衬底材料的寄生电容。这种结构的传感器对界面电路的要求较低，更便于制出集成化处理电路。
- 熊幸果邹强陆德仁王渭源
- 关键词：微机械加速度传感器电容式
- 玻璃衬底上可动硅微机械结构集成化的制作方法
- 一种单晶玻璃衬底上可动硅微机械结构集成化的制作方法,该方法通过硅—玻璃静电键合技术将单晶硅敏感结构制作在玻璃衬底上,在硅片键合面一侧对应可动结构底部预腐蚀浅坑实现可动结构的悬空,引入单晶硅深反应离子刻蚀技术进行微结构刻蚀...
- 熊幸果陆德仁王渭源
- 文献传递
