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孙晨

作品数：30 被引量：7H指数：2
供职机构：中国科学院地质与地球物理研究所更多>>
发文基金：中国博士后科学基金更多>>
相关领域：天文地球自动化与计算机技术动力工程及工程热物理文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 24篇专利
  • 5篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 4篇天文地球
  • 3篇自动化与计算...
  • 1篇动力工程及工...
  • 1篇电子电信
  • 1篇文化科学

主题

  • 14篇弹性梁
  • 12篇MEMS
  • 10篇加速度
  • 10篇加速度计
  • 10篇盖板
  • 9篇灵敏度
  • 9篇敏度
  • 8篇陀螺
  • 8篇陀螺仪
  • 6篇高灵敏
  • 6篇高灵敏度
  • 4篇连接部
  • 4篇硅片
  • 4篇MEMS陀螺
  • 4篇MEMS陀螺...
  • 3篇条件化
  • 3篇阻抗反演
  • 3篇内框架
  • 3篇键合
  • 3篇角速度

机构

  • 30篇中国科学院
  • 3篇中国科学院大...
  • 2篇中国科学院研...

作者

  • 30篇孙晨
  • 20篇于连忠
  • 6篇杨长春
  • 4篇李航
  • 3篇袁义明
  • 2篇薛旭
  • 2篇张忠山
  • 2篇李宗伟
  • 2篇丛宁
  • 2篇辛维
  • 1篇梁培辉
  • 1篇王波
  • 1篇杨天立
  • 1篇邵卫卫
  • 1篇任虹
  • 1篇肖云汉
  • 1篇李学良
  • 1篇路源
  • 1篇熊燕

传媒

  • 3篇地球物理学进...
  • 1篇中国激光
  • 1篇燃气轮机技术

年份

  • 1篇2020
  • 2篇2019
  • 4篇2018
  • 5篇2017
  • 6篇2016
  • 3篇2015
  • 5篇2014
  • 3篇2013
  • 1篇1990
共 30 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种MEMS陀螺仪及其制造工艺
本发明涉及传感器领域，尤其涉及一种MEMS陀螺仪及其制造工艺，陀螺仪包括上盖板、测量体以及下盖板，所述测量体设置于所述上盖板及下盖板之间，所述测量体包括框架、设置在所述框架内的质量块组以及与所述框架相连接的扭转梁；所述质...
李航孙晨赵琦
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一种MEMS悬臂梁式加速度计及其制造工艺
一种MEMS悬臂梁式加速度计，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板以及下盖板；所述测量体包括框架、位于所述框架内的质量块，所述质量块与所述框架之间通过多根悬臂梁相连接；所述质量块与所述框架之间还设置有缓冲梁，所述缓冲...
孙晨于连忠
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一种高灵敏度三轴MEMS加速度计及其制造工艺
一种高灵敏度三轴MEMS加速度计，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片；所述测量体为两层结构，每层包括外框架、内框架以及质量块；所述外框架与所述内框架之间通过第一弹性梁相连接；所述质量块与所述内框架...
孙晨于连忠
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燃气轮机联合循环启动过程排烟NO-NO2转化研究被引量：1
2018年
本文针对部分燃气轮机联合循环机组在启动和低负荷运行时冒黄烟的现象,通过实验和理论计算方法研究温度、烟气成分等因素对燃机排烟中NO向NO_2转化的影响。研究表明,在燃气轮机透平排气的典型温度(500~650℃)和组分条件下,排气中的CO含量高会导致NO在2 s内快速的转化为NO_2,即在启动或低负荷条件下燃烧不完全是燃机排气产生黄烟的重要原因之一。
孙晨孙晨王波熊燕邵卫卫肖云汉
关键词：燃气轮机余热锅炉黄烟
一种动圈式低频扩展地震检波器
本发明涉及地震探测技术领域，提供了一种动圈式低频扩展地震检波器，包括外壳、顶盖、底盖、磁钢、弹簧悬挂系统；弹簧悬挂系统包括弹簧、线圈架、线圈；弹簧悬挂系统固定于顶盖与底盖之间的密闭空间内，线圈架径向连接有差动电容检测系统...
辛维杨长春孙晨李宗伟丛宁薛旭
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一种MEMS反相振动陀螺仪及其制造工艺
一种MEMS反相振动陀螺仪，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板以及下盖板；所述测量体为两个，沿垂直方向相对连接，每个所述测量体包括外框架、位于所述外框架内的内框架以及位于所述内框架内的质量块；两个所述测量体之间通过...
于连忠孙晨
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一种MEMS高灵敏度横向加速度计及其制造工艺
一种MEMS高灵敏度横向加速度计，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板以及下盖板；所述测量体包括框架、位于所述框架内的质量块，所述质量块与所述框架之间通过多根弹性梁相连接；所述质量块与所述框架之间设置有相对的梳状耦合...
孙晨于连忠
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一种MEMS横向加速度敏感芯片及其制造工艺
一种MEMS横向加速度敏感芯片，包括框架，设置在所述框架内的质量块，以及用于连接所述框架及所述质量块的弹性梁，所述质量块上形成有多个凹陷部及第一连接部，所述框架上形成有第二连接部，所述弹性梁连接所述第一连接部和第二连接部...
于连忠矣雷阳孙晨
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一种动圈式低频扩展地震检波器
本发明涉及地震探测技术领域，提供了一种动圈式低频扩展地震检波器，包括外壳、顶盖、底盖、磁钢、弹簧悬挂系统；弹簧悬挂系统包括弹簧、线圈架、线圈；弹簧悬挂系统固定于顶盖与底盖之间的密闭空间内，线圈架径向连接有差动电容检测系统...
辛维杨长春孙晨李宗伟丛宁薛旭
一种MEMS反相振动陀螺仪及其制造工艺
一种MEMS反相振动陀螺仪，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板以及下盖板；所述测量体为两个，沿垂直方向相对连接，每个所述测量体包括外框架、位于所述外框架内的内框架以及位于所述内框架内的质量块；两个所述测量体之间通过...
于连忠孙晨
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