屈芳
- 作品数：7 被引量：6H指数：2
- 供职机构：大连理工大学更多>>
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- 相关领域：理学一般工业技术化学工程电子电信更多>>
- 气压和偏流对高掺硼金刚石晶体性质的影响(英文)被引量：1
- 2010年
- 采用热丝化学气相沉积法,改变工作气压和偏流,在硅基片上沉积了高掺硼金刚石膜。利用扫描电镜(SEM)、拉曼光谱和X射线衍射仪对沉积的金刚石膜表面形貌和结构进行表征。结果显示:当气体压强从3kPa降低到1.5kPa时,金刚石膜有较平的表面形貌和和较好的晶形,薄膜的晶体性质得到良好的改善。但是继续降气体压强,从1.5kPa到0.5kPa时,却呈现出相反的趋势。固定气体压强(1.5kPa),改变偏流,结果表明:适当的偏流(3A)可以改善掺硼金刚石的质量,偏流较高会导致薄膜中非金刚石相增多。
- 贾福超白亦真屈芳孙剑赵纪军姜辛
- 关键词：气体压强偏流扫描电镜X射线衍射仪拉曼光谱
- B-C-N薄膜的制备及其红外光谱表征
- 采用射频磁控溅射方法,以石墨和六方氮化硼(h-BN)为复合靶,在氩气和氮气的氛围中,在室温和673 K的条件下,分别改变N2流量,沉积BCN薄膜.经傅立叶变换红外光谱(FTIR)分析表明,在1000～1800 cm-1和...
- 贾福超白亦真庄春强屈芳邢娇杨赵纪军姜辛
- 关键词：傅立叶变换红外光谱射频磁控溅射石墨六方氮化硼
- 文献传递
- 高掺硼金刚石薄膜的制备及其特性研究
- 高掺硼金刚石薄膜具有良好的导电能力，在电学和电化学领域有着广泛的应用前景。掺硼金刚石薄膜的掺硼浓度、表面形貌、非金刚石相的含量、晶粒取向等对其电学和电化学性能的影响十分明显。因此研究沉积参数对掺硼金刚石薄膜的表面形貌和结...
- 屈芳
- 关键词：金刚石薄膜HFCVD化学气相沉积结构特性
- 文献传递
- B-C-N薄膜的制备及其红外光谱表征
- 2009年
- 采用射频磁控溅射方法．以石墨和六方氮化硼（h-BN）为复合靶，在氩气和氮气的氛围中。在室温和673K的条件下，分别改变N2流量，沉积BCN薄膜．经傅立叶变换红外光谱（FTIR）分析表明，在1000-1800cm-1和2200cm-1处分别出现了C=N键和弱的C≡N键的特征吸收峰．表明沉积的薄膜组分当中，少量碳原子与氮原子结合．而分别溅射石墨和h-BN靶，红外光谱分析显示1100cm-1处不是B--C键．说明采用射频磁控溅射方法得到的薄膜倾向于相分离．
- 贾福超白亦真庄春强屈芳邢娇杨赵纪军姜辛
- 关键词：傅立叶变换红外光谱射频磁控溅射
- 甲烷流量对高掺硼金刚石多晶薄膜形态生长的影响被引量：3
- 2009年
- 在不同的甲烷流量下,用热丝化学气相沉积方法(HFCVD)在N型(100)单晶硅片上制备了掺硼金刚石薄膜.用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱(Raman)对薄膜检测的结果表明,随着甲烷流量的增加,掺硼金刚石薄膜的二次形核增加,晶粒尺寸减小,晶界变得模糊,结晶性下降,非金刚石相增多,过高的甲烷流量导致掺硼金刚石薄膜的球状生长.
- 屈芳白亦真庄春强贾福超邢娇杨姜辛
- 关键词：扫描电子显微镜拉曼光谱
- 甲烷流量对高掺硼金刚石多晶薄膜形态生长的影响
- 在不同的甲烷流量下,用热丝化学气相沉积方法(HFCVD)在N型(100)单晶硅片上制备了掺硼金刚石薄膜.用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱(Raman)对薄膜检测的结果表明,随着甲烷流量的增加,掺硼金刚石薄膜的二次形核...
- 屈芳白亦真庄春强贾福超邢娇杨姜辛
- 关键词：多晶薄膜扫描电子显微镜拉曼光谱
- 文献传递
- 高掺硼多晶金刚石薄膜的制备与表征
- 本文用热丝化学气相沉积方法以si(100)为衬底制备了不同掺硼浓度的高掺硼金刚石薄膜.用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱(Raman)对薄膜进行了检测.扫描电子显微镜观察了不同掺硼浓度对薄膜表面形貌的影响.拉曼光谱分析...
- 屈芳白亦真施维庄春强贾福超姜辛
- 关键词：金刚石薄膜拉曼光谱化学气相沉积电子显微镜
- 文献传递
