邢娇杨
- 作品数：3 被引量：2H指数：1
- 供职机构：大连理工大学物理与光电工程学院更多>>
- 发文基金：高等学校科技创新工程重大项目国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术更多>>
- B-C-N薄膜的制备及其红外光谱表征
- 2009年
- 采用射频磁控溅射方法．以石墨和六方氮化硼（h-BN）为复合靶，在氩气和氮气的氛围中。在室温和673K的条件下，分别改变N2流量，沉积BCN薄膜．经傅立叶变换红外光谱（FTIR）分析表明，在1000-1800cm-1和2200cm-1处分别出现了C=N键和弱的C≡N键的特征吸收峰．表明沉积的薄膜组分当中，少量碳原子与氮原子结合．而分别溅射石墨和h-BN靶，红外光谱分析显示1100cm-1处不是B--C键．说明采用射频磁控溅射方法得到的薄膜倾向于相分离．
- 贾福超白亦真庄春强屈芳邢娇杨赵纪军姜辛
- 关键词：傅立叶变换红外光谱射频磁控溅射
- 甲烷流量对高掺硼金刚石多晶薄膜形态生长的影响被引量：2
- 2009年
- 在不同的甲烷流量下,用热丝化学气相沉积方法(HFCVD)在N型(100)单晶硅片上制备了掺硼金刚石薄膜.用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱(Raman)对薄膜检测的结果表明,随着甲烷流量的增加,掺硼金刚石薄膜的二次形核增加,晶粒尺寸减小,晶界变得模糊,结晶性下降,非金刚石相增多,过高的甲烷流量导致掺硼金刚石薄膜的球状生长.
- 屈芳白亦真庄春强贾福超邢娇杨姜辛
- 关键词：扫描电子显微镜拉曼光谱
- 甲烷流量对高掺硼金刚石多晶薄膜形态生长的影响
- 在不同的甲烷流量下,用热丝化学气相沉积方法(HFCVD)在N型(100)单晶硅片上制备了掺硼金刚石薄膜.用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱(Raman)对薄膜检测的结果表明,随着甲烷流量的增加,掺硼金刚石薄膜的二次形核...
- 屈芳白亦真庄春强贾福超邢娇杨姜辛
- 关键词：多晶薄膜扫描电子显微镜拉曼光谱
- 文献传递
