庄春强
- 作品数：8 被引量：2H指数：1
- 供职机构：大连理工大学材料科学与工程学院更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划高等学校科技创新工程重大项目更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术电子电信金属学及工艺更多>>
- B-C-N薄膜的制备及其红外光谱表征
- 2009年
- 采用射频磁控溅射方法．以石墨和六方氮化硼（h-BN）为复合靶，在氩气和氮气的氛围中。在室温和673K的条件下，分别改变N2流量，沉积BCN薄膜．经傅立叶变换红外光谱（FTIR）分析表明，在1000-1800cm-1和2200cm-1处分别出现了C=N键和弱的C≡N键的特征吸收峰．表明沉积的薄膜组分当中，少量碳原子与氮原子结合．而分别溅射石墨和h-BN靶，红外光谱分析显示1100cm-1处不是B--C键．说明采用射频磁控溅射方法得到的薄膜倾向于相分离．
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- 关键词：傅立叶变换红外光谱射频磁控溅射
- 甲烷流量对高掺硼金刚石多晶薄膜形态生长的影响被引量：2
- 2009年
- 在不同的甲烷流量下,用热丝化学气相沉积方法(HFCVD)在N型(100)单晶硅片上制备了掺硼金刚石薄膜.用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱(Raman)对薄膜检测的结果表明,随着甲烷流量的增加,掺硼金刚石薄膜的二次形核增加,晶粒尺寸减小,晶界变得模糊,结晶性下降,非金刚石相增多,过高的甲烷流量导致掺硼金刚石薄膜的球状生长.
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- 关键词：扫描电子显微镜拉曼光谱
- B-C-N薄膜的制备及其红外光谱表征
- 采用射频磁控溅射方法,以石墨和六方氮化硼(h-BN)为复合靶,在氩气和氮气的氛围中,在室温和673 K的条件下,分别改变N2流量,沉积BCN薄膜.经傅立叶变换红外光谱(FTIR)分析表明,在1000～1800 cm-1和...
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- 关键词：傅立叶变换红外光谱射频磁控溅射石墨六方氮化硼
- 文献传递
- 射频磁控溅射生长BCN薄膜及其表征
- 本文采用射频磁控溅射的方法,分别利用六方氮化硼(h-BN)、硼(B)和石墨(C)靶,在氩气和氮气的氛围中,沉积BCN薄膜。经傅立叶变换红外光谱(FTIR)分析表明,在1000～1800 cm均出现了较宽的吸收峰和2200...
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- 射频磁控溅射制备B-C-N薄膜及其结构和成分表征
- 采用射频磁控溅射方法,以石墨和硼作为靶材,在氩气(Ar)和氮气(N)氛围中,在温度为400℃的单晶硅衬底上制备得到硼碳氮(B-C-N)薄膜。利用傅里叶变换红外光谱(FTIR)和X射线光电子能增(XPS)对制备的B-C-N...
- 管昌雨赵纪军庄春强贾福超白亦真姜辛
- 文献传递
- 纳米金刚石理论研究与B-C-N薄膜实验合成
- 采用密度泛函理论研究不同形状和尺寸的氢钝化纳米金刚石的稳定性以及红外光谱。形成热计算发现八面体形状的纳米金刚石最利于生成，其优先生长晶向为<111>方向。模拟的红外谱同纳米金刚石的形状和尺寸之间有密切关系。随着尺寸的增加...
- 庄春强
- 关键词：纳米金刚石密度泛函理论磁控溅射硼碳氮薄膜物理化学性能
- 文献传递
- 甲烷流量对高掺硼金刚石多晶薄膜形态生长的影响
- 在不同的甲烷流量下,用热丝化学气相沉积方法(HFCVD)在N型(100)单晶硅片上制备了掺硼金刚石薄膜.用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱(Raman)对薄膜检测的结果表明,随着甲烷流量的增加,掺硼金刚石薄膜的二次形核...
- 屈芳白亦真庄春强贾福超邢娇杨姜辛
- 关键词：多晶薄膜扫描电子显微镜拉曼光谱
- 文献传递
- 射频磁控溅射生长BCN薄膜及其表征
- 本文采用射频磁控溅射的方法,分别利用六方氮化硼(h-BN)、硼(B)和石墨(C)靶,在氩气和氮气的氛围中,沉积BCN薄膜。经傅立叶变换红外光谱(FTIR)分析表明,在1000～1800 cm~(-1)均出现了较宽的吸收峰...
- 贾福超白亦真庄春强赵纪军姜辛
- 文献传递
