成荣
- 作品数：137 被引量：45H指数：4
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- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程文化科学更多>>
- 带光电位置探测器测量的六自由度粗动台的掩膜台系统
- 带光电位置探测器测量的六自由度粗动台的掩膜台系统，粗动台含有一个粗动台台体、驱动装置和粗动台重力平衡组件，粗动台台体设置在精动台的外部，将精动台包围在中间，实现粗动台的六自由度运动；该掩膜台系统还含有PSD传感器测量系统...
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- 一种双工件台位置交换过程中驱动器切换装置
- 一种双工件台位置交换过程中驱动器切换装置，该双台包括一个基台及安装在基台上的两个工件台、四个激光尺、四个驱动器和两个切换开关。在双工件台位置交换过程中，初始阶段由一侧的激光尺和驱动器测量并控制工件台的运动；当两工件台运动...
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- 一种带自动抓取抬升机构的六自由度微动台
- 一种带自动抓取抬升机构的六自由度微动台，主要应用于半导体光刻设备中。本实用新型是在现有六自由度微动台的基础上增加了一个自动抓取抬升机构，该自动抓取抬升机构含有驱动模块、导向模块和测量模块；所述驱动模块是一个动圈式洛伦兹电...
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- 文献传递
- 干扰磁场下电机正弦误差的出力补偿方法及装置
- 本发明提供一种干扰磁场下电机正弦误差的出力补偿方法及装置，其中的方法包括：采集电机在匀速阶段的控制信号以及位移信号；基于控制信号和位移信号创建空间域正余弦信号，并将正余弦信号转换为对应的时域信号；根据时域信号创建补偿矩阵...
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- 文献传递
- 一种带有浸液回收装置的光刻机硅片台双台交换系统
- 一种带有浸液回收装置的光刻机双台交换系统，该系统含有基台，两个硅片台，光学透镜系统、多轴激光干涉仪和激光干涉仪反射镜。硅片台带有浸液回收装置，硅片台上表面的一侧设有一块浸液回收板，浸液回收板的上表面与硅片台上表面共面，浸...
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- 平面光栅六自由度位移测量系统中误差分离与补偿方法
- 平面光栅六自由度位移测量系统中误差分离与补偿方法，所述方法是在无需借助其他位移传感器的情况下，利用附加读数头实现平面光栅六自由度位移测量系统中各参数与其标称值之间误差的分离与补偿。在原位移测量系统的基础上增加至少一个附加...
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- 文献传递
- 一种双台交换激光尺测量信号切换装置及方法
- 一种双台交换激光尺测量信号切换装置及方法，该双台包括一个基座及安装在基座上的两个工件台，每个工件台对应一个激光尺测量信号切换装置；每个切换装置包括两个激光尺，两个差分变单端模块，一个信号处理单元，一个切换模块，一个单端变...
- 朱煜张鸣杨开明成荣李鑫胡金春穆海华余东东尹文生蒋毅
- 文献传递
- 双频稳频激光器及光束分离方法
- 本发明提供一种双频稳频激光器及其光束分离方法，其中的双频稳频激光器包括：窄线宽单频激光光源、设置在窄线宽单频激光光源一侧的稳频装置和第一分束单元；其中，窄线宽单频激光光源经第一分束单元分束后，形成第一分束光路和第二分束光...
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- 一种三自由度外差光栅干涉仪位移测量系统
- 一种三自由度外差光栅干涉仪位移测量系统，包括双频激光器、光栅干涉仪、测量光栅、接收器、电子信号处理部件；光栅干涉仪包括偏振分光镜、参考光栅、折光元件；该测量系统基于光栅衍射、光学多普勒效应和光学拍频原理实现位移测量。双频...
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- 基于迭代学习的正弦信号幅相特性测量被引量：2
- 2019年
- 在实际工业应用中,许多测量问题实质上是对相应正弦信号幅相特性的测量.文章针对存在直流偏移及测量噪声,且频率存在变化的正弦信号,提出一种基于迭代学习思想的幅相特性测量方法.对各待测参数进行一步估计之后,以测量输出值与估计输出值之差平方对各参数导数作为其迭代学习律,通过对其进行适当加权,建立起参数估计算法.仿真结果表明,在测量误差方差为最大测量值十分之一水平下,各待测参数测量误差可达百分之一甚至更小,且随着噪声水平的下降,各参数估计精度迅速提高.该方法可实现正弦信号幅值、相位、频率以及直流偏移的高精度测量,在激光干涉仪电子细分、基于磁场信息的电机位移测量等方面有巨大应用前景.
- 高阵雨胡金春朱煜成荣
- 关键词：正弦信号迭代学习
