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于博文: 作品数：10 被引量：0H指数：0; 供职机构：哈尔滨工业大学更多>>; 相关领域：机械工程更多>>

合作作者

赵学森哈尔滨工业大学
闫永达哈尔滨工业大学
胡振江哈尔滨工业大学
耿延泉哈尔滨工业大学

作品列表
供职机构
相关作者
所获基金
研究领域

文献类型

9篇专利
1篇学位论文

领域

1篇机械工程

主题

8篇微纳米结构
8篇纳米
7篇探针
6篇商用
6篇精密工作台
6篇滑块
4篇工作台
3篇底座
3篇原子力显微镜
2篇主轴
2篇精密主轴
2篇刻划
2篇机械加工
2篇AFM
1篇调心
1篇针尖
1篇气浮
1篇球面加工
1篇回转
1篇回转中心

机构

10篇哈尔滨工业大...

作者

10篇于博文
9篇耿延泉
9篇胡振江
9篇闫永达
9篇赵学森

年份

5篇2016
2篇2015
3篇2014

共 10 条记录，以下是 1-10

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排序方式：

基于原子力显微镜在薄壁微小球面加工微纳米结构的五轴加工装置及方法: 本发明公开了一种基于原子力显微镜在薄壁微小球面加工微纳米结构的五轴加工装置及方法。所述装置包括AFM、二维微调心机构、精密气浮轴系、二维高精度定位平台和带动AFM进行转动的电动旋转台，二维微调心机构与精密气浮轴系的上端连...; 闫永达赵学森耿延泉于博文胡振江; 文献传递

一种AFM探针相同刻划方向机械加工复杂纳米结构的装置及方法: 本发明公开了一种AFM探针相同刻划方向机械加工复杂纳米结构的装置及方法。所述装置包括AFM、手动二维调整台、精密主轴及二维高精度定位平台，其中：手动调整二维台的底部与精密主轴的上端连接，精密主轴的下端与二维高精度定位平台...; 闫永达于博文耿延泉胡振江赵学森; 文献传递

一种采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法: 一种采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法，属于微纳米结构加工领域。为了解决复杂三维微纳米结构加工问题，所述装置包括AFM、X方向精密工作台、Y方向精密工作台，X方向精密工作台底座固连在Y方向精密工作台的滑块...; 闫永达耿延泉于博文赵学森胡振江; 文献传递

采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法: 采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法，属于微纳米结构加工领域。为了解决复杂三维微纳米结构加工问题，所述装置包括AFM、X方向精密工作台、Y方向精密工作台，X方向精密工作台底座固连在Y方向精密工作台的滑块上，...; 闫永达耿延泉于博文赵学森胡振江; 文献传递

采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法: 一种采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法，属于微纳米结构加工领域。为了解决复杂三维微纳米结构加工问题，所述装置包括AFM、X方向精密工作台、Y方向精密工作台，X方向精密工作台底座固连在Y方向精密工作台的滑块...; 于博文耿延泉闫永达赵学森胡振江; 文献传递

基于AFM探针轨迹及工作台运动结合的纳米加工技术研究: 基于原子力显微镜（Atomic Force Microscope，AFM）的纳米机械刻划加工技术已经成为加工纳米结构的有效方法之一，随着纳米技术的发展，复杂微纳结构的制造已经成为一个研究热点。本课题针对AFM探针纳米加工...; 于博文; 关键词：原子力显微镜微纳米结构; 文献传递

采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法: 采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法，属于微纳米结构加工领域。为了解决复杂三维微纳米结构加工问题，所述装置包括AFM、X方向精密工作台、Y方向精密工作台，X方向精密工作台底座固连在Y方向精密工作台的滑块上，...; 闫永达耿延泉于博文赵学森胡振江; 文献传递

采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的装置及方法: 一种采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的装置及方法，属于微纳米结构加工领域。为了解决复杂三维微纳米结构加工问题，所述装置包括AFM、X方向精密工作台、Y方向精密工作台，X方向精密工作台底座固连在在Y方向精密工作...; 于博文耿延泉闫永达赵学森胡振江; 文献传递

一种采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法: 一种采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法，属于微纳米结构加工领域。为了解决复杂三维微纳米结构加工问题，所述装置包括AFM、X方向精密工作台、Y方向精密工作台，X方向精密工作台底座固连在Y方向精密工作台的滑块...; 闫永达耿延泉于博文赵学森胡振江; 文献传递

一种AFM探针相同刻划方向机械加工复杂纳米结构的方法: 本发明公开了1、一种AFM探针相同刻划方向机械加工复杂纳米结构的方法，其特征在于所述方法包括如下步骤：一、被加工样品固定在手动二维调整台的上部，对精密主轴进行调心，并确定AFM探针与精密主轴回转中心的相对位置关系；二、确...; 闫永达于博文耿延泉胡振江赵学森; 文献传递

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