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朱洪亮
作品数:
253
被引量:105
H指数:6
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
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合作作者
王圩
国家光电子工艺中心
梁松
中国科学院半导体研究所
赵玲娟
中国科学院半导体研究所
周帆
国家光电子工艺中心
王宝军
中国科学院半导体研究所
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2004
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2003
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2002
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借助保护层的取样光栅的制作方法
一种借助保护层的取样光栅的制作方法,包括:在衬底上依次生长缓冲层、下波导层、有源区、上波导层和保护层;在保护层之上,均匀地涂上一层光刻胶,借助于取样光栅光刻版,在光刻胶上曝光出需要制作光栅的区域;将曝光后的结构进行选择性...
王桓
阚强
周帆
王宝君
朱洪亮
文献传递
一种晶体管激光器及其制作方法
本发明公开了一种晶体管激光器及其制作方法。所述方法包括:选择一衬底;依次生长缓冲层、下集电极层、集电极层、基极层及电流阻挡层;选择性腐蚀掉一部分电流阻挡层材料;生长有源层、发射极层及接触层;腐蚀制作发射极脊波导至电流阻挡...
梁松
朱洪亮
一种制作黑硅材料的方法
本发明公开了一种利用波长为1064nm和532nm两种激光器光源扫描制作黑硅材料的方法,该方法包括:步骤1:将硅片置于硫系物质环境中;步骤2:利用经过透镜聚焦的波长为1064nm和532nm的两种激光器光源,先后扫描辐照...
朱洪亮
梁松
韩培德
林学春
王宝华
MOCVD选择区域外延和对接生长研究
采用低压MOCVD技术,研究了选择区域外延(SAG)和对接生长(BJ)技术。掩模宽度、闻距和生长条件对波长偏移量和材料质量的影响具有一定的规律,灵活运用SAG和BJ技术是实现单片光电子集成器件的关键。
孔端花
梁松
潘教青
刘扬
汪洋
朱洪亮
关键词:
MOCVD
单片光子集成器件整片制作结构
本公开提供一种单片光子集成器件整片制作结构,其中包括多列相邻设置的集成器件单元组,每列集成器件单元组包括多个集成器件单元,每个集成器件单元包括两个光器件和刻蚀凹槽,所述两个光器件通过脊型波导串联;每列集成器件单元组中的集...
黄永光
朱洪亮
王宝军
张瑞康
文献传递
一种分布布拉格反馈可调谐激光器及其制作方法
本发明公开了一种分布布拉格反馈可调谐激光器及其制作方法,方法包括如下步骤:在一衬底上依次生长下波导层、多量子阱有源区、上波导层;获得分布布拉格反馈区及相位区材料,其带隙波长小于激光器发光波长;在反馈区制作光栅;在整个管芯...
梁松
张灿
于立强
赵玲娟
朱洪亮
吉晨
王圩
文献传递
浅离子注入InGaAs/InGaAsP SL-MQW激光器的混合蓝移效应
被引量:1
1999年
利用300keV的P+离子对InGaAs/InGaAsP应变层多量子阱(MQW)激光器外延结构实施浅注入,经H2/N2混合气氛下的快速退火,结构的光致发光(PL)峰值波长蓝移了76nm,所作宽接触激光器的激射波长蓝移了77.9nm.发现具有应变结构的InGaAs/InGaAsPMQW。
朱洪亮
韩德俊
胡雄伟
汪孝杰
汪孝杰
关键词:
激光器
吸收型增益耦合分布反馈激光器的制作方法
一种吸收型增益耦合分布反馈激光器的制作方法,包括如下步骤:在砷化镓或磷化铟衬底上大面积沉积一层二氧化硅薄膜;在二氧化硅薄膜上涂一层光刻胶;将光刻胶曝光并显影得到光刻胶布拉格光栅掩模;以光刻胶布拉格光栅掩模充当掩蔽,刻蚀二...
冯文
王宝军
潘教青
赵玲娟
朱洪亮
王圩
文献传递
低阈值1.3μmInGaAsP/InP应变补偿多量子阱DFB激光器LP┐MOCVD生长
1998年
本文报道了用低压-金属有机化学气相淀积(LP-MOCVD)方法制作1.3μm应变补偿多量子阱结构材料.X射线双晶衍射摇摆曲线可清晰地看到±4级卫星峰和卫星峰间的Pendel-losong条纹.整个有源区的平均应变量几乎为零.用掩埋异质结(BH)条形工艺制备的含一级光栅的DFB激光器室温下阈值电流2~4mA,外量子效率0.33mW/mA,线性输出光功率达30mW,边模抑制比(SMSR)大于35dB.20~40℃下的特征温度T0为67K.
陈博
王圩
汪孝杰
张静媛
朱洪亮
周帆
王玉田
马朝华
张子莹
刘国利
关键词:
DFB激光器
LP-MOCVD
四段式放大反馈混沌光发射激光器结构
一种四段式放大反馈混沌光发射激光器结构,包括:一衬底;一n-InP缓冲层制作在衬底上;一InGaAsP下限制层制作在n-InP缓冲层上;一多量子阱增益层制作在InGaAsP下限制层上;一InGaAsP上限制层制作在多量子...
潘碧玮
陆丹
赵玲娟
余力强
周代兵
朱洪亮
王圩
张莉萌
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