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王圩
作品数:
367
被引量:184
H指数:7
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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合作作者
朱洪亮
国家光电子工艺中心
赵玲娟
中国科学院半导体研究所
潘教青
中国科学院半导体研究所
周帆
国家光电子工艺中心
王宝军
中国科学院半导体研究所
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2006
26篇
2005
24篇
2004
共
367
条 记 录,以下是 1-10
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相关度排序
被引量排序
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离子注入实现的MQW混合蓝移效应
〈’+〉离子注入InGaAs/InGaAsP应变多量子阱激光器结构,再经H〈,2〉/N〈,2〉混合气氛下的快速退火,体内MWQ层中发生组份混合,导致激光器件的激射波长蓝移77.9mm,而未作注入的纯退火区器件蓝移只有5....
朱洪亮
汪孝杰
王圩
韩德俊
关键词:
多量子阱
激光器
多波长半导体分布式反馈激光器阵列及其制作方法
一种多波长半导体分布式反馈激光器阵列及其制备方法,其中制备方法包括以下步骤:在衬底上依次外延生长缓冲层、有源区和光栅层;通过塔尔博特干涉曝光方法在光栅层中形成不同周期的光栅以对应不同的发射波长;在光栅层上依次外延生长覆盖...
周旭亮
李召松
王梦琦
王嘉琪
于红艳
潘教青
王圩
文献传递
具有波长蓝移效应的掩埋异质结构半导体光器件及方法
本发明涉及半导体光器件技术领域,特别是一种具有波长蓝移效应的掩埋异质结构半导体光器件及方法。步骤包括:(1)采用普通化学汽相淀积生长二氧化硅,在一次外延结构片顶层选择性产生用于量子阱混杂的镓空位;(2)金属有机化合物化学...
丁颖
王圩
潘教青
王宝军
陈娓兮
文献传递
分布放大的取样光栅分布布拉格反射可调谐激光器结构
一种分布放大的取样光栅分布布拉格反射可调谐激光器结构,包括:一衬底;一n-InP缓冲层制作在衬底上;一InGaAsP下限制层制作在n-InP缓冲层上;一增益层制作在InGaAsP下限制层上;一InGaAsP上限制层制作在...
刘扬
赵玲娟
朱洪亮
潘教青
王圩
MBE生长面发射激光器的原位厚度监测
1996年
在MBE生长“DBR型结构性材料”的过程中,由于生长中的多层结构干涉效应,使高温黑体辐射谱呈现振荡现象,利用此现象辅以计算机数据拟合,可以实现MBE生长中层次、组分和厚度的实时监控,对MBE系统生长垂直腔型结构材料的实时质量监控有重要意义.我们首次在国内采用这项技术,利用红外高温仪对VCSEL器件生长全过程(包括谐振腔)及多种组分DBR的表观衬底热辐射振荡进行监测,采用准黑体模型,结合扫描电镜、光反射谱等结果进行了分析,理论与实验得到了较好的吻合.
周增圻
潘钟
林耀望
吴荣汉
王圩
关键词:
MBE生长
面发射激光器
激光器
集成有源反馈腔的半导体激光器芯片
一种集成有源反馈腔的半导体激光器芯片,包括:直调激光器,设置于所述激光器芯片的一端,用于提供光输出以及模式选择;有源反馈腔,设置于所述激光器芯片的另一端,用于提供光反馈以增加激光器芯片的直调带宽;以及电隔离区,设置于所述...
毛远峰
阚强
吉晨
王圩
文献传递
NPN异质结双极型晶体管激光器
本发明涉及半导体激光器技术领域,公开了一种NPN异质结双极型晶体管激光器,包括衬底(1)、缓冲层(2)、下包层(3)、亚集电极层(4)、集电极层(5)、基极层(6)、量子阱有源区层(7)、发射极层(8)、上包层(9)和接...
梁松
朱洪亮
王圩
电吸收调制器的光纤对准耦合方法
一种电吸收调制器的光纤对准耦合方法,其特征在于调制器两端分别对准,调整调制器一端的锥形透镜光纤,使调制电流达到最大值,以相同的方法调整调制器另一端的光纤,也使调制电流达到最大值。通过对串联电阻的电压监控,可以探测到光电流...
孙洋
陈娓兮
王圩
文献传递
用于波长转换的半导体光学放大器的制备方法
一种用于波长转换的半导体光学放大器的制备方法,包括如下步骤:步骤1:在衬底上依次外延生长缓冲层、下限制层、n-型调制掺杂多量子阱有源区、上限制层以及盖层;步骤2:在盖层上生长二氧化硅层;步骤3:光刻腐蚀出斜角条形结构;步...
张瑞英
王圩
简永生
文献传递
高消光比偏振不灵敏电吸收调制器(英文)
被引量:2
2001年
用一种新的方法制作出应用于光网络系统的电吸收调制器 ,应用应变 In Ga As/In Al As材料做多量子阱 ,实验测量的调制器调制性能显示出器件的偏振不相关性 ,以及其高消光比 (>40 d B)和低电容 (<0 .5 p F) ,保证了器件可以应用于高速率的传输系统 (>10 GHz)
孙洋
王圩
陈娓兮
刘国利
周帆
朱洪亮
关键词:
电吸收
调制器
偏振不灵敏
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共37页
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