杜鹏飞
- 作品数：5 被引量：2H指数：1
- 供职机构：湖北大学物理学与电子技术学院更多>>
- 发文基金：湖北省自然科学基金国家自然科学基金湖北省教育厅重点项目更多>>
- 相关领域：电子电信理学更多>>
- 射频反应溅射制备倾斜AlN薄膜
- 2010年
- 采用射频反应磁控溅射方法,通过旋转转盘,使衬底与靶材水平偏离一定角度,制备了C轴择优取向的倾斜AlN薄膜。用XRD分析了不同偏转角度下制备的AlN薄膜的择优取向度,用场发射扫描电镜(FE-SEM)观察了薄膜的截面形貌,并初步讨论了倾斜AlN薄膜的生长机理。分析和测试结果表明,当转盘旋转角度为10°时,AlN薄膜柱状晶倾斜最明显,倾斜角度可达25°。
- 吴雯熊娟杜鹏飞陈侃松顾豪爽
- 关键词：ALN薄膜
- C轴倾斜AlN薄膜的制备研究
- 2011年
- 采用射频磁控反应溅射,利用两步气压法在Pt电极上制备C轴倾斜的A1N压电薄膜.用X射线衍射仪(XRD)分析两步气压下制备的A1N薄膜的择优取向,用扫描电镜(SEM)观察薄膜的截面形貌.实验结果表明在优化工艺参数条件下制备的AlN薄膜为C轴倾斜的柱状晶,且柱状晶与C轴的倾斜角度达到5°.并且初步探讨两步气压法制备C轴倾斜AlN薄膜的生长机理.
- 杜鹏飞熊娟吴雯谢红顾豪爽
- 关键词：ALN薄膜
- 基于Mo/SiO_2布拉格声反射器的体声波谐振器的制备及其性能分析
- 2012年
- 采用射频反应磁控溅射法在p型(100)单晶硅衬底上交替沉积Mo/SiO2薄膜作为布拉格声学反射层,通过原子力显微镜(AFM)及扫描电子显微镜(SEM)分别表征声反射层薄膜的表面和截面形貌,研究溅射工艺条件对SiO2薄膜微观形貌的影响.采用MEMS工艺流程制备基于c轴择优取向AlN压电薄膜的SMR型谐振器.并对谐振器的S11参数进行测试分析,得到谐振器的中心频率为1.7GHz,表明实验所制备的SMR型谐振器在质量传感方面具有一定的应用前景.
- 谢红熊娟杜鹏飞钟伟明秦杰顾豪爽
- 关键词：ALN薄膜
- c轴倾斜压电薄膜体声波谐振器的研制与分析
- 压电薄膜体声波传感器因其具有灵敏度高、尺寸小、易于集成等优点代表了未来传感器的发展方向。体声波传感器用于液体检测时，以厚度剪切模式振动的压电振子将减少声波能量在液体介质中的损耗，有利于提高传感器的灵敏度及品质因数。本文采...
- 顾豪爽熊娟杜鹏飞谢红钟伟明
- 基于倾斜AlN薄膜的体声波质量传感器的制备及性能分析被引量：2
- 2009年
- 提出通过改变溅射气压获得倾斜于C轴的AlN薄膜的制备方法,探讨了倾斜AlN薄膜的生长机理。以3对交替沉积的Ti—Mo金属层为布拉格声学反射层,采用MEMS工艺制备了基于倾斜AlN薄膜的、以剪切模式振动的体声波液体传感器,并对器件的S11参数进行测试分析,得到传感器的中心频率为0.78GHz,表明该器件在生物液相检测领域具有一定的应用前景。
- 熊娟顾豪爽吴雯杜鹏飞胡明哲
- 关键词：质量传感器磁控溅射
