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王言

作品数：21 被引量：3H指数：1
供职机构：复旦大学更多>>
相关领域：一般工业技术理学自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 17篇专利
  • 4篇期刊文章

领域

  • 7篇一般工业技术
  • 6篇理学
  • 3篇电子电信
  • 3篇自动化与计算...
  • 1篇机械工程
  • 1篇医药卫生

主题

  • 12篇微机械
  • 11篇超声
  • 10篇声换能器
  • 10篇换能器
  • 10篇超声换能器
  • 7篇力传感器
  • 7篇感器
  • 7篇传感
  • 7篇传感器
  • 6篇压电
  • 6篇微机电技术
  • 5篇压电层
  • 5篇压力传感器
  • 3篇支撑柱
  • 3篇微机械技术
  • 2篇窄带
  • 2篇十字梁
  • 2篇品质因数
  • 2篇谐振
  • 2篇膜结构

机构

  • 21篇复旦大学

作者

  • 21篇王言
  • 12篇任俊彦
  • 6篇鲍敏杭
  • 3篇于连忠
  • 3篇晋琦
  • 2篇付超超
  • 2篇吴东平
  • 1篇吕宁
  • 1篇马顺利
  • 1篇李长春
  • 1篇周昊

传媒

  • 2篇传感技术学报
  • 1篇Journa...
  • 1篇电子学报

年份

  • 2篇2023
  • 7篇2022
  • 2篇2021
  • 1篇2020
  • 2篇2015
  • 2篇1991
  • 2篇1990
  • 1篇1989
  • 2篇1988
共 21 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种柔性透明电容式微机械超声换能器及其制备方法
本发明属于微机械技术领域，具体是一种柔性透明电容式微机械超声换能器及其制备方法。本发明是基于导电颗粒掺杂SU‑8光刻胶等柔性透明材料的，其单元结构包括自下而上设置的：PET衬底层、ITO电极层、空腔、SU‑8支撑层、SU...
任俊彦王言何勒铭
埋沟式横向电压型集成压力传感器
1991年
本文提出一种低功耗埋沟式横向电压型集成压力传感器结构,并根据精确的工艺模型成功地进行了工艺计算机模拟程序和制作。实验表明,该器件可以在低功耗条件下具有很高的灵敏度和可靠的稳定性。
晋琦鲍敏杭王言周昊
关键词：压力传感器电压型传感器
双岛-梁-膜结构压力传感器
本实用新型是一种芯片为双岛——梁——膜结构的半导体压力传感器。碰梁横贯双岛，并将硅膜分为对称的两个部分，力敏元件设置在硅梁上。与传统的膜式结果相比。有将应力二次集中的效果，提高了传感器的灵敏度和线性度。可用于微压测量领域...
王言于连忠鲍敏杭
文献传递
制备高性能TFT的方法
本发明涉及晶体管制造领域，公开了一种制备高性能TFT的方法。本发明中，在活化层上形成金属层且对活化层进行离子掺杂之后，再采用微波退火工艺对掺杂离子进行激活，借助金属层对微波的高吸收作用，提高了微波退火工艺的效率，并且成本...
付超超吴东平王言
文献传递
一种具有环状压电层的微机械超声换能器
本发明属于微机电技术领域，具体为一种具有环状压电层的微机械超声换能器。本发明换能器是由换能器单元延拓形成的二维阵列；换能器单元包括压电环、复合薄膜、电容腔体和衬底；压电环包含电极层与压电层；复合薄膜包括电极层和中性层；衬...
任俊彦何勒铭王言
一种侧边界自由的微机械超声换能器
本发明属于微机电技术领域，具体为一种侧边界自由的微机械超声换能器。换能器单元包括压电叠层、中性层、空腔和衬底；压电叠层包含中心圆电极层、外圈电极层、压电层与底电极层；空腔包含圆柱空腔与空心柱空腔；中性层通过圆柱空腔与空心...
任俊彦何勒铭王言
硅十字梁单块力传感器
1990年
本文介绍一种用硅材料制成的十字梁力传感器,它的各主要结构部分是通过微加工技术在同一硅片上得到的。具有灵敏度高、温漂小,成本低、一致性好等优点。本文对器件进行了结构分析、应力计算,得到了各结构参数对器件灵敏度的影响,并在理论分析的指导下制作了高灵敏度的力传感器样品,最高灵敏度可达340mV/10g,适用于小量程范围力的测量。器件还具有过载保护结构。
王言王毕南晋琦鲍敏杭
关键词：硅传感器力传感器
一种半固定的微机械超声换能器
本发明公开了一种半固定的微机械超声换能器。换能器单元包括压电叠层、中性层、空腔和衬底；压电叠层包含上电极层、压电层与底电极层；中性层为压电叠层提供支撑作用，其具有镂空，即呈长方形的主体支撑结构是半固定的，一对侧边是自由的...
任俊彦何勒铭王言
十字梁岛结构的硅力传感器
本实用新型属半导体力传感器领域，包括硅膜芯片、力敏器件、陶瓷管座、玻璃底板几个部分。其中硅膜芯片设计成十字梁岛结构形式，力敏器件设置在应变梁接近边框的端点处，用半导体离子注入工艺制作。与通常的力传感器相比，本器件体积小，...
王言鲍敏杭
文献传递
一种中心支撑的压电式微机械超声换能器
本发明属于微机电技术领域，具体为一种中心支撑的压电式微机械超声换能器。本发明超声换能器是由微机械超声换能器单元延拓形成的二维阵列组成；换能器单元结构包括：衬底、支撑柱、空腔、中性层和振动层；支撑柱和空腔位于同一高度，且支...
任俊彦王言何勒铭
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