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金虎

作品数：3 被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇机械工程
  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 3篇压阻
  • 3篇压阻式
  • 3篇速度传感器
  • 3篇加速度
  • 3篇加速度传感器
  • 3篇感器
  • 3篇传感
  • 3篇传感器
  • 2篇微机械
  • 2篇高线性
  • 1篇压阻式加速度...
  • 1篇微机械加速度...
  • 1篇微机械加速度...
  • 1篇加速度计

机构

  • 3篇中国科学院上...
  • 2篇复旦大学

作者

  • 3篇金虎
  • 1篇鲍敏杭
  • 1篇陆德仁
  • 1篇沈绍群

传媒

  • 1篇功能材料与器...
  • 1篇2000全国...

年份

  • 1篇2001
  • 2篇2000
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
低量程高线性压阻式微机械加速度传感器被引量：4
2001年
介绍了一种低量程高线性压阻式微机械加速度传感器的设计、工艺制作和封装 ,还较详细地介绍了静态和动态特性的测量和结果。为提高灵敏度，传感器采用悬臂梁结构。本文对结构的固有横向效应进行了计算，结果表明此种结构的三种横向效应主要是由于质量块（岛）质心偏离梁中平面，沿梁伸展方向（ x向）惯性力分量产生的弯矩所致。提出了调整上下盖板与中间质量块之间的气隙改善器件频响特性的方法。报道的压阻式微机械加速度传感器量程± 1g(g为重力加速度 )， 线性度优于 0.05％，灵敏度约 1mV/gV，阻尼比 0.7，带宽 110Hz。
金虎陆德仁沈绍群鲍敏杭
关键词：加速度传感器压阻式微机械
悬臂梁结构微机械压阻式加速度传感器研究
基于微机械加工技术的压阻式加速度传感器是一类很重要的传感器。传感 器的量程最低可到±2g，最高±500g，线性度一般为0.2/%至1/%，横向效应一 ...
金虎
关键词：加速度传感器
文献传递
低量程高线性压阻式微机械加速度计
本文介绍了一种低量程高线性压阻式微机械加速度传感器的设计、工艺制作和封装。还详细介绍了静态和动态特性的检测。为提高灵敏度,传感器采用悬臂梁结构。本文对结构的固有横向效应进行了计算,结果表明此种结构的三种横向效应中主要是由...
金虎陆德仁沈绍群鲍敏杭
关键词：加速度传感器压阻式
文献传递
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