沈绍群
- 作品数：56 被引量：116H指数：6
- 供职机构：复旦大学信息科学与工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点实验室开放基金上海市科学技术发展基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程一般工业技术更多>>
- 新型多维加速度传感器的设计研究
- 利用微机械加工制造技术(MEMS)制造集成的硅微机械三维加速度传感器,目前在全世界范围内都是研究的热点.这种类型加速度传感器广泛应用于微型卫星、汽车、机器人等各个领域.传统三维加速度传感器的设计思路是将三个一维加速度传感...
- 尹颢杨恒鲍敏杭沈绍群
- 关键词：微电子机械系统加速度传感器
- 文献传递
- 抗高过载微压传感器被引量：5
- 2001年
- 在提高微压传感器灵敏度的研究过程中 ,会遇到非线性和稳定性变差、过载能力不够以及静电封接时背岛与玻璃粘接造成器件失效等现象。提出了应力匀散结构和两层岛的限位结构 ,利用有限元分析和近似解析分析 ,设计了新的双岛 -梁 -膜结构 ,成功地研制出抗高过载微压传感器。量程为 0 .3kPa ,总精度为 0 .4% ,过载能力 >
- 尹颢杨恒王文襄沈绍群鲍敏杭
- 关键词：微压传感器过载能力非线性灵敏度
- 车辆轮胎漏气遥控报警装置
- 本实用新型属报警器技术领域,具体涉及一种轮胎漏气数码遥控报警装置。它由开关传感器、数码遥控发讯器、信号无线接收器以及报警显示器构成。其中开关传感器是一种超小型的机械触点式开关传感器,起发讯器的电源开关控制作用。当轮胎发生...
- 沈绍群阎学贤
- 文献传递
- 静电力作用下微机械结构的位移特性分析被引量：14
- 1999年
- 分析了在微机械传感器与执行器中常用的３种微机械结构在静电力作用下的静态位移特性，并对典型结构进行了数值计算。结果显示对质量块平动的双端固支梁岛结构在静电力作用下极板的最大平衡位移正好为无静电力时极板间距的１／３。
- 杨恒鲍敏杭沈绍群李昕欣任建军
- 关键词：静电力微机械结构静电驱动传感器
- 化学表面处理对热生长氧化形成的SiO＿2驻极体电荷寿命的影响被引量：2
- 1994年
- 以实验结果为依据研究了化学表面处理对ＳｉＯ＿２薄膜驻极体内电荷储存稳定性的影响。得知用ＨＭＤＳ或ＤＣＤＭＳ等有机试剂进行的化学表面处理将在ＳｉＯ＿２驻极体表面形成一个疏水的保护层。通常情况下，它将起到防止外界环境中的水吸附而形成的表面导电结构，对改善这一驻极体薄膜的电荷储存稳定性起到显著的作用；伴随着驻极体内长久电荷的捕获储存，在驻极体内发生的电化学反应将有水分子生成，而用化学表面处理后形成的疏水保护层有时也会阻止驻极体内部过剩的水分子向外扩散，造成用化学表面处理后驻极体内的电荷较快衰减这一反常现象的发生。
- 林华茂夏钟福丁亥沈绍群
- 关键词：二氧化硅驻极体
- 500pa微压传感器的研制被引量：2
- 2000年
- 硅压力传感器发展的一个重要趋势,是向高灵敏度的微压传感器发展。1993年我们率先采用微机械的梁膜结构制得PT-24量程lkpa微压传感器。但在进一步提高灵敏度的研究过程中,遇到如下几个问题:(1)非线性随着灵敏度提高变差;(2)灵敏度提高,稳定性变差;(3)过载能力不够;(4)静电封接时背岛与玻璃基片相接。本文针对上述问题进行了研究,在PT-24量程1kpa微压传感器的版图和工艺基础上进行改进和提高,成功地设计并制作出PT-28量程500pa压阻式扩散硅微压传感器。
- 沈绍群鲍敏杭孙立镌
- 关键词：微压传感器压力传感器
- 低量程高线性压阻式微机械加速度传感器被引量：4
- 2001年
- 介绍了一种低量程高线性压阻式微机械加速度传感器的设计、工艺制作和封装 ,还较详细地介绍了静态和动态特性的测量和结果。为提高灵敏度，传感器采用悬臂梁结构。本文对结构的固有横向效应进行了计算，结果表明此种结构的三种横向效应主要是由于质量块（岛）质心偏离梁中平面，沿梁伸展方向（ x向）惯性力分量产生的弯矩所致。提出了调整上下盖板与中间质量块之间的气隙改善器件频响特性的方法。报道的压阻式微机械加速度传感器量程± 1g(g为重力加速度 )， 线性度优于 0.05％，灵敏度约 1mV/gV，阻尼比 0.7，带宽 110Hz。
- 金虎陆德仁沈绍群鲍敏杭
- 关键词：加速度传感器压阻式微机械
- SOI智能剥离制备技术和SOI微机械加工技术
- 竺士炀张苗鲍敏杭黄宜平林成鲁沈绍群王连卫多新中吴东平王瑾黄继颇
- 低成本、高质量的SOI材料制备技术是SOI技术成为主流硅基集成电路技术的关键。该项目研究的智能剥离技术是国际上新近提出的一种较为理想的SOI制备技术，该项研究成果为SOI材料的国产化打下了基础。该项目的另一研究成果SOI...
- 关键词：
- 关键词：SOI智能剥离技术微机械技术
- 微压压力传感器弹性体的结构改进
- 鲍敏杭沈绍群
- 关键词：压力传感器硅弹性体
- 硅二维腐蚀速率分布图的测试新方法
- 提出了测量硅二维腐蚀速率分布图的一种新方法。该方法利用深反应离子刻蚀(ORIE)在硅片表面刻蚀出垂直于硅片表面的一系列晶面，利用显微镜直接测量各晶面的腐蚀速率，可以得到一个二维的腐蚀速率分布图。由于ORIE刻蚀出一晶面深...
- 杨恒尹颢沈绍群鲍敏杭张大成
- 关键词：各向异性腐蚀深反应离子刻蚀
