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刘猛

作品数：3 被引量：12H指数：1
供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 3篇感器
  • 3篇传感
  • 3篇传感器
  • 2篇气压
  • 2篇气压传感器
  • 2篇热应力
  • 2篇谐振梁
  • 2篇谐振频率
  • 2篇金属管
  • 2篇封装
  • 1篇压力传感器
  • 1篇谐振
  • 1篇谐振式
  • 1篇谐振式压力传...
  • 1篇力传感器
  • 1篇控制研究
  • 1篇闭环
  • 1篇闭环控制
  • 1篇MEMS压力...

机构

  • 3篇中国科学院电...
  • 1篇中国科学院研...

作者

  • 3篇刘猛
  • 3篇陈德勇
  • 3篇李玉欣
  • 3篇王军波
  • 2篇毋正伟

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2013
  • 1篇2011
  • 1篇2010
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
一种基于微电子机械技术的硅谐振式气压传感器
本发明公开了一种基于微电子机械技术的硅谐振式气压传感器，主要由谐振梁膜硅片、下盖基片、支撑基片、金属管座和管帽组成。下盖基片与谐振梁膜硅片真空粘合形成参考真空腔，通过较小的支撑基片固定在金属管座上以隔离封装应力和热应力，...
陈德勇王军波李玉欣刘猛毋正伟
电磁激励谐振式MEMS压力传感器闭环控制研究被引量：12
2010年
在谐振器动力学分析的基础上,系统地比较了谐振式压力传感器检测速度谐振频率和检测位移谐振频率的优缺点。设计出一种零相移的电磁激励谐振式MEMS压力传感器闭环控制系统,该系统利用检测速度谐振频率提高传感器的信号检测稳定性,并且控制电路无需移相环节即可保证传感器在工作频率范围内实现稳定可靠的闭环自激。实验结果表明,采用该闭环控制系统的传感器具有较高的稳定性,传感器长时漂移低于0.025%F.S.,在10 hPa^1050 hPa范围内非线性度为0.06%。
刘猛王军波李玉欣陈德勇
关键词：谐振式压力传感器闭环控制
一种基于微电子机械技术的硅谐振式气压传感器
本发明公开了一种基于微电子机械技术的硅谐振式气压传感器，主要由谐振梁膜硅片、下盖基片、支撑基片、金属管座和管帽组成。下盖基片与谐振梁膜硅片真空粘合形成参考真空腔，通过较小的支撑基片固定在金属管座上以隔离封装应力和热应力，...
陈德勇王军波李玉欣刘猛毋正伟
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