黄天斌
- 作品数：8 被引量：18H指数：2
- 供职机构：清华大学信息科学技术学院电子工程系更多>>
- 相关领域：一般工业技术自然科学总论电子电信理学更多>>
- 表面化学分析.二次离子质谱.用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
- 本标准详细说明了用标定的均匀掺杂物质（用注入硼的参考物质校准）确定单晶硅中硼的原子浓度的二次离子质谱方法。它适用于均匀掺杂硼浓度范围从1×10<上标16>atoms/cm<上标3>～1×10<上标20>atoms/cm<...
- 查良镇陈旭黄雁华王光普黄天斌刘林葛欣桂东
- 文献传递
- 铬及铍表面辉光放电清洗的研究被引量：2
- 2006年
- 本文对He辉光放电清洗后的铬（Cr）表面杂质去除情况和铍（Be）样品真空出气量变化进行了实验研究。使用场发射扫描电镜和表面质量测量仪对比观察了不同放电参数处理后的Cr样品表面，结果显示在放电功率为200～300W、放电室压强为1～10Pa、清洗时间为10-20min时可较好地清除表面杂质和降低表面粗糙度；对辉光放电处理前后Be样品出气情况的实验对比结果显示，清洗后1h内总出气量约降为清洗前的1／6。
- 田喜庆黄天斌陈旭
- 关键词：表面粗糙度出气率
- 超灵敏检漏的实时校准被引量：14
- 2006年
- 超灵敏检漏的实时校准是国际上尚未解决且未标准化的一个难题,本文利用自建的微流量参考漏率系统对商用检漏仪和超灵敏检漏系统进行了实时校准的实验研究,在10-14Pa.m3/s^10-10Pa.m3/s宽范围漏率内实现了对检漏仪器的实时校准。
- 肖立波陈旭黄天斌查良镇
- 辉光放电清洗前后表面放气的质谱分析
- 本论文介绍了在辉光放电清洗的研究过程中,应用质谱技术进行样品分析的过程和对真空性能进行测试的一系列实验结果,并应用其结果对射频辉光放电清洗的效果进行评估。实验结果表明,质谱技术能给予表面吸附气体细致的分析,氦气可以轰击去...
- 黄天斌陈旭金奇计曾鹏查良镇
- 关键词：质谱分析
- 文献传递
- 辉光放电清洗效果的质谱分析被引量：2
- 2005年
- 在辉光放电清洗的实验研究中,应用质谱技术进行了出气分析,应用其结果对射频辉光放电清洗的效果进行评估。实验结果表明,质谱技术能准确地分析表面吸附气体的分压强,氦离子的轰击可去除以及置换出样品中的气体,氮气、氧气和油蒸气在辉光放电清洗后的出气量下降,有利于超高真空的获得和维持。
- 黄天斌陈旭金奇计查良镇
- 关键词：质谱分析
- 表面化学分析.溅射深度剖析.用层状膜系为参考物质的优化方法
- 为使俄歇电子能谱、X射线光电子能谱和二次离子质谱的仪器设定达到深度分辨的优化目的，本标准采用适当的单层和多层膜系参考物质，提供优化溅射深度剖析参数的指南。 特殊多层膜系（如各种掺杂层膜系）的使用不包括在本标准内。
- 查良镇陈旭王光普黄雁华黄天斌刘林葛欣桂东
- 文献传递
- 辉光放电清洗前后表面放气的质谱分析
- 本论文介绍了在辉光放电清洗的研究过程中,应用质谱技术进行样品分析的过程和对真空性能进行测试的一系列实验结果,并应用其结果对射频辉光放电清洗的效果进行评估.实验结果表明,质谱技术能给予表面吸附气体细致的分析,氦气可以轰击去...
- 黄天斌陈旭金奇计曾鹏查良镇
- 关键词：质谱分析真空测试
- 超灵敏质谱检漏
- 陈旭熊兵齐京金奇计黄天斌陈娉肖立波查良镇
- 该项目为保证小体积、高真空器件的长寿命和高可靠性而专门研制，成果可应用于各种高真空密封器件高可靠密封质量的检测，并为极高真空未来的发展准备了条件。该项目采用静态累积法通过四极质谱计实现超灵敏检漏。在研制过程中，采用了当代...
- 关键词：
- 关键词：检漏质谱
