您的位置: 专家智库 > >

文献类型

  • 2篇会议论文
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇质谱检漏
  • 2篇校准
  • 2篇检漏
  • 1篇动态模式
  • 1篇质谱
  • 1篇质谱计
  • 1篇四极质谱计
  • 1篇灵敏度
  • 1篇敏度
  • 1篇

机构

  • 5篇清华大学

作者

  • 5篇肖立波
  • 4篇陈旭
  • 4篇查良镇
  • 3篇金奇计
  • 2篇黄天斌
  • 1篇熊兵
  • 1篇齐京
  • 1篇陈娉

传媒

  • 1篇真空科学与技...
  • 1篇中国真空学会...
  • 1篇中国真空学会...

年份

  • 2篇2006
  • 1篇2005
  • 2篇2004
5 条 记 录,以下是 1-5
排序方式:
超灵敏检漏系统的性能测试与实时校准
在对超灵敏检漏系统及其校准系统进行性能测试的基础上,用校准系统对超灵敏检漏系统进行了实时校准。课题有着明确的应用背景,它是保证小体积高真空器件长寿命高性能的关键技术,是极高真空技术领域的前沿课题。目前对于漏率低于1×10...
肖立波
关键词:动态模式
文献传递
超灵敏检漏的实时校准被引量:14
2006年
超灵敏检漏的实时校准是国际上尚未解决且未标准化的一个难题,本文利用自建的微流量参考漏率系统对商用检漏仪和超灵敏检漏系统进行了实时校准的实验研究,在10-14Pa.m3/s^10-10Pa.m3/s宽范围漏率内实现了对检漏仪器的实时校准。
肖立波陈旭黄天斌查良镇
超灵敏度检漏系统及其校准
本文结合国内外超灵敏度检漏技术的发展现状,研制了一套超灵敏度检漏系统.实验表明,该装置能稳定提供10-14Pa.m3/s的氦流量,可解决超灵敏度检漏实时校准的难题.
肖立波陈旭陈聘金奇计查良镇
关键词:质谱检漏灵敏度
超灵敏度检漏系统及其校准
近年来,迅速发展的长寿命、高可靠、小体积真空器件,如卫星用红外探测器,不断对检漏灵敏度提出新的要求,漏率在10-12pa·m3/s以下的检漏已成为急需解决的问题。美国Quantum Mechanics公司已经生产出ULT...
肖立波陈旭陈聘金奇计查良镇
关键词:四极质谱计
文献传递
超灵敏质谱检漏
陈旭熊兵齐京金奇计黄天斌陈娉肖立波查良镇
该项目为保证小体积、高真空器件的长寿命和高可靠性而专门研制,成果可应用于各种高真空密封器件高可靠密封质量的检测,并为极高真空未来的发展准备了条件。该项目采用静态累积法通过四极质谱计实现超灵敏检漏。在研制过程中,采用了当代...
关键词:
关键词:检漏质谱
共1页<1>
聚类工具0