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彭恩超
作品数:
8
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供职机构:
中国科学院半导体研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
王翠梅
中国科学院半导体研究所
王晓亮
中国科学院半导体研究所
冯春
中国科学院半导体研究所
肖红领
中国科学院半导体研究所
姜丽娟
中国科学院半导体研究所
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彭恩超
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冯春
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具有复合空间层的氮化镓场效应晶体管结构及制作方法
本发明提供一种具有复合空间层的氮化镓场效应晶体管结构及制作方法,该结构,包括:一衬底;一成核层,该成核层制作在衬底的上面;一非有意掺杂高阻层,该非有意掺杂氮化镓制作在成核层的上面;一非有意掺杂高迁移率沟道层,该非有意掺杂...
王翠梅
王晓亮
彭恩超
肖红领
冯春
姜丽娟
陈竑
文献传递
双异质结构氮化镓基高电子迁移率晶体管结构及制作方法
一种双异质结构氮化镓基高电子迁移率晶体管结构,包括:一衬底;一成核层,该成核层制作在衬底上面;一非有意掺杂高阻层,该非有意掺杂高阻层制作在成核层上面;一非有意掺杂插入层,该非有意掺杂插入层制作在非有意掺杂高阻层上面;一非...
王晓亮
王翠梅
肖红领
彭恩超
冯春
姜丽娟
陈竑
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具势垒层的氮化镓基高电子迁移率晶体管结构及制作方法
一种具势垒层的氮化镓基高电子迁移率晶体管结构,包括:一衬底;一成核层,该成核层制作在衬底上面;一非有意掺杂高阻层,该非有意掺杂高阻层制作在成核层上面;一非有意掺杂高迁移率沟道层,该非有意掺杂高迁移率沟道层制作在非有意掺杂...
王晓亮
彭恩超
王翠梅
肖红领
冯春
姜丽娟
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铝镓氮做高阻层的双异质结氮化镓基HEMT及制作方法
一种铝镓氮做高阻层的双异质结氮化镓基HEMT,包括:一衬底;一成核层制作在衬底上面,其厚度为0.01-0.50μm;一非有意掺杂高阻层制作在成核层上面;一非有意掺杂高迁移率层制作在非有意掺杂高阻层上面;一氮化铝插入层制作...
王晓亮
彭恩超
王翠梅
肖红领
冯春
姜丽娟
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具势垒层的氮化镓基高电子迁移率晶体管结构及制作方法
一种具势垒层的氮化镓基高电子迁移率晶体管结构,包括:一衬底;一成核层,该成核层制作在衬底上面;一非有意掺杂高阻层,该非有意掺杂高阻层制作在成核层上面;一非有意掺杂高迁移率沟道层,该非有意掺杂高迁移率沟道层制作在非有意掺杂...
王晓亮
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铝镓氮做高阻层的双异质结氮化镓基HEMT及制作方法
一种铝镓氮做高阻层的双异质结氮化镓基HEMT,包括:一衬底;一成核层制作在衬底上面,其厚度为0.01-0.50μm;一非有意掺杂高阻层制作在成核层上面;一非有意掺杂高迁移率层制作在非有意掺杂高阻层上面;一氮化铝插入层制作...
王晓亮
彭恩超
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冯春
姜丽娟
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AlGaN/AlN/GaN/AlN/AlGaN双异质HEMT结构电子限制特性研究
通过自洽求解薛定谔方程和泊松方程模拟计算了AlGaN/AlN/GaN/AlN/AlGaN双异质HEHT结构。采用AlGaN缓冲层代替传统的GaN缓冲层,有效地消除了传统AlGaN/AlN/GaN/AlN/GaN双沟道结构...
彭恩超
Enchao Peng
Xiaoliang Wang
王晓亮
Hongling Xiao
肖红领
Cuimei Wang
王翠梅
Chun Feng
冯春
Lijuan Jiang
姜丽娟
Haibo Yin
殷海波
Hong Chen
陈弘
王占国
Zhanguo Wang
Xun Hou
侯洵
关键词:
场效应器件
高电子迁移率晶体管
氮化物半导体
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双异质结构氮化镓基高电子迁移率晶体管结构及制作方法
一种双异质结构氮化镓基高电子迁移率晶体管结构,包括:一衬底;一成核层,该成核层制作在衬底上面;一非有意掺杂高阻层,该非有意掺杂高阻层制作在成核层上面;一非有意掺杂插入层,该非有意掺杂插入层制作在非有意掺杂高阻层上面;一非...
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肖红领
彭恩超
冯春
姜丽娟
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