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叶伟楠

作品数：32 被引量：15H指数：2
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 30篇专利
  • 2篇期刊文章

领域

  • 11篇电子电信
  • 4篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇理学

主题

  • 15篇测量系统
  • 13篇光刻
  • 13篇光刻机
  • 12篇六自由度
  • 12篇激光
  • 12篇光栅
  • 12篇干涉仪
  • 9篇外差
  • 9篇位移测量系统
  • 8篇激光器
  • 6篇掩膜
  • 6篇套刻
  • 6篇套刻精度
  • 6篇光栅干涉仪
  • 5篇激光干涉
  • 5篇光源
  • 5篇感器
  • 5篇传感
  • 5篇传感器
  • 4篇掩模

机构

  • 32篇清华大学

作者

  • 32篇朱煜
  • 32篇叶伟楠
  • 32篇张鸣
  • 28篇成荣
  • 23篇王磊杰
  • 13篇刘召
  • 13篇胡金春
  • 13篇尹文生
  • 13篇张利
  • 13篇穆海华
  • 13篇徐登峰
  • 13篇杨开明
  • 13篇张金
  • 12篇田丽
  • 9篇刘昊
  • 8篇李鑫
  • 5篇赵彦坡
  • 5篇秦慧超
  • 1篇胡清平
  • 1篇黄河

传媒

  • 2篇光学精密工程

年份

  • 1篇2024
  • 6篇2023
  • 5篇2022
  • 4篇2021
  • 1篇2020
  • 2篇2019
  • 5篇2015
  • 1篇2014
  • 7篇2013
共 32 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种五自由度外差光栅干涉测量系统
本发明为一种五自由度外差光栅干涉测量系统，包括单频激光器、声光调制器，单频激光器出射单频激光，所述单频激光经光纤耦合、分束后入射至声光调制器得到两路不同频率的线偏振光，一路作为参考光，一路作为测量光；干涉仪镜组和测量光栅...
朱煜张鸣王磊杰叶伟楠杨富中夏一洲李鑫
文献传递
光刻机掩模台六自由度位移测量系统
本发明公开一种光刻机掩模台六自由度位移测量系统，包括：光栅安装板，固定在光刻机的掩模台上，第一平面光栅和第二平面光栅，相对固定在光栅安装板的两侧，第一平面光栅包括相互垂直的栅线，且栅线方向是在掩模台的平移平面的x轴和y轴...
王磊杰朱煜郭子文张鸣叶伟楠成荣
激光干涉信号处理系统
本发明公开了激光干涉信号处理系统，激光干涉信号处理系统包括信号转换卡、传输线及相位卡；信号转换卡用于接收干涉仪输出的激光干涉信号，信号转换卡还用于将激光干涉信号转换为电信号；传输线具有第一端和第二端，第一端连接信号转换卡...
王磊杰朱煜张晏福叶伟楠张鸣成荣李鑫
一种光刻机光栅测量标定系统
本发明提供了一种光刻机光栅测量标定系统，涉及光栅测量技术领域，包括机架、运动方向相互独立的运动系统、平面光栅组件、光栅读数头组件、激光干涉仪组件、跟随运动系统、真空波纹管组件和反射镜组件，所述真空波纹管安装在跟随运动系统...
王磊杰朱煜张晏福张鸣成荣叶伟楠李鑫
一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统
一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统，包括双频激光器、光栅干涉仪、测量光栅、接收器、电子信号处理部件；光栅干涉仪包括偏振分光镜、参考光栅、折光元件；该测量系统基于光栅衍射、光学多普勒效应和光学拍频原理实现位移测量。双频...
张鸣朱煜王磊杰杨开明刘召成荣刘昊徐登峰叶伟楠张利赵彦坡田丽张金胡金春穆海华尹文生秦慧超
文献传递
一种五自由度外差光栅干涉测量系统
本发明为一种五自由度外差光栅干涉测量系统，包括单频激光器、声光调制器，单频激光器出射单频激光，所述单频激光经光纤耦合、分束后入射至声光调制器得到两路不同频率的线偏振光，一路作为参考光，一路作为测量光；干涉仪镜组和测量光栅...
朱煜张鸣王磊杰叶伟楠杨富中夏一洲李鑫
带光电位置探测器测量的六自由度粗动台的掩模台系统
带光电位置探测器测量的六自由度粗动台的掩模台系统，粗动台含有一个粗动台台体、驱动装置和粗动台重力平衡组件，粗动台台体设置在精动台的外部，将精动台包围在中间，实现粗动台的六自由度运动；该掩模台系统还含有PSD传感器测量系统...
朱煜张鸣刘召杨开明徐登峰成荣刘昊张利田丽叶伟楠张金尹文生穆海华胡金春
文献传递
多模式激光干涉信号处理系统
本发明提供了多模式激光干涉信号处理系统，该多模式激光干涉信号处理系统包括激光信号收发器、单模光纤及相位卡；激光信号收发器用于接收干涉仪输出的多模式激光干涉信号；激光信号收发器还用于将多模式激光干涉信号转换为单模式激光通信...
王磊杰朱煜张晏福张鸣叶伟楠成荣
二自由度外差光栅干涉仪
本发明公开一种二自由度外差光栅干涉仪，包括：输入单模光纤(1)，用于将参考光和测量光传输至干涉仪镜组；干涉仪镜组，包括分光镜组、偏振分光棱镜(11)、楔形镜片(6)、四分之一波片(5)、梯形棱镜(4)、偏振片组(8)，在...
王磊杰朱煜叶伟楠左征荣张鸣成荣郭子文
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带光电位置探测器测量的六自由度粗动台的掩膜台系统
带光电位置探测器测量的六自由度粗动台的掩膜台系统，粗动台含有一个粗动台台体、驱动装置和粗动台重力平衡组件，粗动台台体设置在精动台的外部，将精动台包围在中间，实现粗动台的六自由度运动；该掩膜台系统还含有PSD传感器测量系统...
朱煜张鸣刘召杨开明徐登峰成荣刘昊张利田丽叶伟楠张金尹文生穆海华胡金春
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