董立军
- 作品数：55 被引量：40H指数：4
- 供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国科学院院长基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学核科学技术更多>>
- 基于原子力显微镜的悬臂梁微尖端器件应用新进展被引量：2
- 2007年
- 在分析原子力显微镜工作原理的基础上,详细介绍了各种基于原子力显微镜的悬臂梁微尖端器件的应用进展,并展望了悬臂梁微尖端器件的发展前景。
- 傅剑宇陈大鹏焦斌斌欧毅景玉鹏董立军叶甜春
- 关键词：原子力显微镜悬臂梁
- 温室型非制冷红外焦平面阵列
- 本发明公开了一种温室型非制冷红外焦平面阵列，包括密闭的封装壳体，所述封装壳体一面为锗玻璃窗口，另一面为光学玻璃窗口，所述封装壳体内充满高红外吸收率的温室气体或液体，封装壳体中间自上而下贯穿设置有一个焦平面阵列成像单元，焦...
- 董立军
- 文献传递
- 一种光开关的设计及制作工艺
- 本发明涉及光纤通讯和微细加工技术领域，特别是一种光开关的设计及制作工艺。a.用LPCVD低压化学气象淀积在双面抛光的硅片上双面淀积低应力氮化硅厚度；b.正面光刻氮化硅悬臂梁图形；c.RIE反应离子刻蚀形成氮化硅悬臂梁图形...
- 董立军陈大鹏欧易景玉鹏
- 文献传递
- 一种热型红外探测器
- 本发明提出一种热型红外探测器，包括：红外吸收元件，所述红外吸收元件包括热膨胀材料；应力改变元件，至少部分所述应力改变元件被所述红外吸收元件包围；和至少两个电极，与所述应力改变元件接触。红外吸收元件吸收红外温度升高而产生热...
- 董立军陈大鹏
- 文献传递
- 带波前校正功能的双材料梁非制冷红外焦平面阵列
- 本发明公开了一种带波前校正功能的双材料梁非制冷红外焦平面阵列，包括密闭的封装壳体，封装壳体设置有锗玻璃窗口和光学玻璃窗口，壳体内为真空，壳体中间自上而下设置有一个双材料梁阵列，双材料梁阵列为梳齿状阵列，由多个均匀间隔分布...
- 董立军
- 文献传递
- 光照稳定性非晶态金属氧化物TFT器件以及显示器件
- 本发明提供了一种光照稳定性非晶态金属氧化物TFT器件，包括衬底、倒栅电极、栅绝缘介质层、由非晶态金属氧化物构成的沟道层、源漏电极、钝化层、穿过钝化层与源漏电极接触的驱动电极，其特征在于：钝化层的顶部还具有能高吸收紫外光的...
- 殷华湘王玉光董立军陈大鹏
- 文献传递
- 基于硅衬底无牺牲层的非制冷红外焦平面阵列的制作方法
- 一种基于硅衬底无牺牲层的非制冷红外焦平面阵列，其与反光板连接的悬臂梁固支在利用各向同性腐蚀出的近似契型硅柱上，其阵列中单元结构分为独立式和嵌套式。该非制冷红外焦平面阵列器件的工艺步骤如下：1、在<100>硅基...
- 石莎莉陈大鹏景玉鹏殴毅董立军叶甜春
- 文献传递
- C^+注入a-SiN_x∶H的原子化学键合的研究
- 2007年
- 常温下对低压化学气相沉积制备的纳米硅镶嵌结构的a-SiNx∶H薄膜进行C+注入,能量为30keV,剂量为2×1017cm-2.对C+注入的SiNx薄膜在800℃的温度下,进行2h的常规炉退火处理.通过XPS,AES的测量得到,经800℃高温退火处理后的薄膜形成了部分SiCxNy结构.用喇曼、XPS等分析手段对薄膜结构及成分进行了测量与分析,得到不同退火温度对离子注入形成SiCN薄膜结构与成分的影响,认为高温退火后薄膜中硅含量与SiCxNy薄膜的形成有重要的关系.
- 陈超刘渝珍董立军陈大鹏王小波
- 关键词：SICN
- 纳米孔阵列的制作方法
- 本发明提供了一种纳米孔阵列的制造方法，包括：施加第一腐蚀液，在基材的两面形成不穿通的多个凹槽或者盲孔；在基材的两面上施加酸碱性不同的第二腐蚀液和第三腐蚀液，继续腐蚀凹槽或者盲孔直至其相互穿通，第二腐蚀液与第三腐蚀液发生中...
- 董立军赵超
- 文献传递
- 基于薄膜结构的MEMS技术研究被引量：5
- 2004年
- 报导了基于低应力自支撑SiNx薄膜结构的MEMS部分研究结果,包括从薄膜生长工艺、内应力和薄膜微观结构控制、薄膜的物性分析、镂空自支撑薄膜结构的工艺制作、自支撑薄膜结构动力学的有限元模拟、到最后镂空自支撑薄膜结构在MEMS系统中的应用所做的部分研究工作。
- 陈大鹏王玮冰欧毅杨清华谢常青刘辉董立军叶甜春
- 关键词：氮化硅微电子机械系统有限元模拟
