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饶志鹏

作品数：39 被引量：24H指数：3
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家科技重大专项中国博士后科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术理学化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 31篇专利
  • 7篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 4篇电子电信
  • 4篇一般工业技术
  • 3篇理学
  • 2篇化学工程

主题

  • 21篇硅衬底
  • 21篇衬底
  • 9篇原子层沉积
  • 7篇化学吸附
  • 6篇前驱体
  • 6篇含氮
  • 6篇含碳
  • 5篇单晶
  • 5篇氮化碳
  • 5篇氮化碳薄膜
  • 5篇纳米
  • 4篇氮气
  • 4篇低温低压
  • 4篇电离
  • 4篇氧化钛薄膜
  • 4篇运输方式
  • 4篇碳纳米管
  • 4篇碳纳米管结构
  • 4篇探测器
  • 4篇紫外探测

机构

  • 39篇中国科学院微...
  • 1篇哈尔滨理工大...
  • 1篇浙江大学
  • 1篇嘉兴科民电子...
  • 1篇中国科学院嘉...

作者

  • 39篇饶志鹏
  • 32篇李超波
  • 30篇万军
  • 30篇陈波
  • 27篇石莎莉
  • 27篇夏洋
  • 25篇刘键
  • 23篇李勇滔
  • 21篇黄成强
  • 6篇夏洋
  • 5篇李楠
  • 4篇吕树玲
  • 4篇刘新宇
  • 4篇白云
  • 4篇麻芃
  • 4篇朱杰
  • 2篇张祥
  • 2篇汪明刚
  • 2篇郭丽伟
  • 1篇叶甜春

传媒

  • 1篇半导体技术
  • 1篇物理学报
  • 1篇激光与光电子...
  • 1篇无机材料学报
  • 1篇微纳电子技术
  • 1篇真空科学与技...
  • 1篇纳米技术与精...
  • 1篇2010(第...

年份

  • 1篇2016
  • 5篇2015
  • 2篇2014
  • 14篇2013
  • 11篇2012
  • 2篇2011
  • 4篇2010
共 39 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种氮化铝薄膜的制备方法
本发明涉及一种用原子层沉积设备制备氮化铝薄膜的方法。所述制备方法，包括如下步骤：将硅衬底放置于原子层沉积设备反应腔中；向原子层沉积设备反应腔中通入含铝物质，含碳物质与硅衬底表面发生化学反应，使得含铝物质中的铝原子吸附在硅...
饶志鹏万军夏洋李超波刘键陈波黄成强石莎莉李勇滔
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掺氮二氧化钛薄膜的制备方法
公开了一种掺氮二氧化钛薄膜的制备方法，通过向反应腔室中先后通入含钛源气体，形成硅钛键；向原子层沉积设备反应腔中通入氮气和氢气，进行等离子体放电，氮气电离后部分氮原子与所述部分钛原子形成共价键，氮原子未成键的电子和电离的氢...
万军赵柯杰黄成强饶志鹏陈波李超波夏洋吕树玲石莎莉
文献传递
一种单晶立方形氮化碳薄膜的制备方法
本发明涉及氮化碳的制备技术，具体涉及一种单晶立方形氮化碳薄膜的制备方法。所述制备方法，包括如下步骤：(1)将硅衬底放置于原子层沉积设备反应腔中；(2)向原子层沉积设备反应腔中通入碳源气体，碳源气体作为第一反应前驱体在硅衬...
饶志鹏夏洋万军李超波陈波刘键江莹冰石莎莉李勇滔
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一种基于AlGaN的全波段紫外探测器及其制备方法
本发明涉及一种基于AlGaN的全波段紫外探测器及其制备方法，属于半导体器件技术领域。所述探测器包括蓝宝石衬底，以及在所述蓝宝石衬底上依次排列生长的AlN缓冲层、Al<Sub>0.65</Sub>Ga<Sub>0.35</...
白云刘键麻芃朱杰饶志鹏刘新宇郭丽伟
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一种碳化硅薄膜的制备方法
本发明涉及碳化硅薄膜制备技术领域，具体涉及一种用原子层沉积设备制备碳化硅薄膜的方法。所述制备方法，包括如下步骤：将硅衬底放置于原子层沉积设备反应腔中；向原子层沉积设备反应腔中通入含碳物质，含碳物质与硅衬底表面发生碳化学吸...
饶志鹏万军夏洋李超波刘键陈波黄成强石莎莉李勇滔
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一种掺氮二氧化钛薄膜的制备方法
本发明涉及二氧化钛制备的技术领域，具体涉及一种掺氮二氧化钛薄膜的制备方法。所述制备方法，包括如下步骤：将硅衬底放置于原子层沉积设备反应腔中；以氮气为载气向原子层沉积设备反应腔中通入含钛源气体，含钛源气体中的钛原子吸附在硅...
夏洋饶志鹏万军李超波陈波刘键江莹冰石莎莉李勇滔
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图形化蓝宝石衬底工艺研究进展被引量：10
2012年
图形化蓝宝石衬底(PSS)技术是一种提高LED亮度的新技术。结合光刻和刻蚀工艺制作图形化蓝宝石衬底。有关图形化蓝宝石衬底的研究主要集中在对光刻和刻蚀工艺的研究,以及图形化蓝宝石衬底提高LED亮度的机理。目前微米级图形化蓝宝石衬底已经得到普遍的应用,与基于平坦蓝宝石衬底的LED相比,PSS-LED的发光功率提高了30%左右。图形化蓝宝石衬底技术的发展经历了从早期的条纹状图形到目前应用较广的半球形和锥形图形,从湿法刻蚀到干法刻蚀,从微米级到纳米级图形的演变。由于能够显著提高LED亮度,纳米级图形化蓝宝石必将得到广泛的运用。
黄成强夏洋陈波李超波万军汪明刚饶志鹏李楠张祥
关键词：发光二极管光刻纳米压印刻蚀
用ALD设备生长氮化镓薄膜的方法
本发明公开用ALD设备生长氮化镓薄膜的方法，包括步骤10、将碳化硅衬通过标准液和氢氟酸处理处理表面并放置于原子层沉积设备反应腔中；步骤20、向所述原子层沉积设备反应腔中通入镓源气体，所述镓源气体作为第一反应前驱体源在碳化...
饶志鹏万军夏洋陈波李超波石莎莉李勇滔李楠
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提高聚四氟乙烯薄膜亲水性的原子层沉积方法
公开了一种提高聚四氟乙烯薄膜亲水性的原子层沉积方法，包括：将聚四氟乙烯薄膜放置于原子层沉积设备反应腔中；向所述原子层沉积设备反应腔中通入四氯化碳，使得所述四氯化碳中的碳原子吸附在所述聚四氟乙烯薄膜表面；向所述原子层沉积设...
万军赵柯杰黄成强饶志鹏陈波李超波夏洋吕树玲石莎莉
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一种金刚石的制备方法
本发明涉及金刚石制备技术领域，具体涉及一种用原子层沉积设备制备金刚石的方法。所述制备方法，具体包括如下步骤：将硅衬底放置于原子层沉积设备反应腔中；通过载气运输方式将含碳前驱体输送至所述原子层沉积设备反应腔中；通过等离子体...
饶志鹏万军夏洋李超波刘键陈波黄成强石莎莉李勇滔
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