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元磊
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西安电子科技大学
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相关领域:
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合作作者
张玉明
西安电子科技大学微电子学院
贾仁需
西安电子科技大学微电子学院
汤晓燕
西安电子科技大学微电子学院
张艺蒙
西安电子科技大学
宋庆文
西安电子科技大学微电子学院
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元磊
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一种集成式高压碳化硅达林顿管及其制作方法
本发明公开了一种集成式高压碳化硅达林顿管及其制作方法,属于微电子技术领域。以提高驱动管电流增益,同时使得工艺简单,降低成本。包括:N+发射区,设置在所述基区上表面,包括呈倾斜槽型的器件沟槽,呈倾斜槽型的器件隔离区和呈垂直...
元磊
李钊君
宋庆文
汤晓燕
张艺蒙
张玉明
Cr掺杂异质结自旋场效应晶体管及其制备方法
本发明涉及一种Cr掺杂异质结自旋场效应晶体管及其制备方法,其中,制备方法包括:选取蓝宝石衬底;利用MBE工艺在蓝宝石衬底表面生长Ga<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>外延层;在Ga<Sub>2</Sub>...
贾仁需
杨宇
元磊
张玉明
彭博
基于双异质结的Ga<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>/GaN/SiC光电探测二极管及其制备方法
本发明涉及一种基于双异质结的Ga<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>/GaN/SiC光电探测二极管及其制备方法。该方法包括:选取SiC衬底;在SiC衬底表面连续生长同质外延层、GaN层及Ga<Sub>2</...
贾仁需
张弘鹏
元磊
张玉明
一种基于双MOS栅控的N型碳化硅晶闸管及其制备方法
本发明公开了一种基于双MOS栅控的N型碳化硅晶闸管,包括:钝化层(1)、阳极接触金属(2)、关断栅极接触金属(3)、开启栅极接触金属(4)、栅氧化层(5)、P+短路区(6)、N+阳极区(7)、P‑漂移区(8)、N‑漂移区...
元磊
杨柳
汤晓燕
宋庆文
张艺蒙
张玉明
张义门
Ga_(2)O_(3)器件表面钝化技术研究进展
2023年
氧化镓(Ga_(2)O_(3))具有超宽禁带、高理论击穿电场强度、高Baliga优值(BFOM)等优异特性,是制备高压大功率器件的理想半导体材料之一。但是,实现良好的器件表面钝化,尤其是改善绝缘介质/Ga_(2)O_(3)的界面特性仍然是Ga_(2)O_(3)器件研究中亟需解决的关键技术难题。首先,对Ga_(2)O_(3)金属-氧化物-半导体(MOS)器件表面钝化、高k介质能带工程的研究进展进行分析、对比;然后,对适用于Ga_(2)O_(3)器件(晶体管、二极管)表面钝化技术的重要研究进展进行了综述,包括表面边缘终端设计、复合钝化工艺、钙钛矿型氧化物钝化等;最后,对Ga_(2)O_(3)器件表面钝化的研究方向进行了展望。
张弘鹏
贾仁需
陈铖颖
元磊
张宏怡
彭博
关键词:
表面钝化
高电子迁移率自旋场效应晶体管及其制备方法
本发明涉及一种高电子迁移率自旋场效应晶体管及其制备方法,所述制备方法包括:选取4H‑SiC衬底;在所述4H‑SiC衬底上生长N型Ga<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>外延层;在所述N型Ga<Sub>2</...
贾仁需
杨宇
元磊
张玉明
彭博
一种紫外、可见与红外宽谱光电探测器及其制备方法
本发明公开了一种紫外、可见与红外宽谱光电探测器及其制备方法,该制备方法包括:选取清洗完成的玻璃衬底;在所述玻璃衬底上制备电极阵列,所述电极阵列包括若干间隔排列的金属电极;将纳米纤维喷在制备有所述电极阵列的所述玻璃衬底上,...
王利明
尤杰
孙浩
张一弛
元磊
胡辉勇
王斌
韩本光
舒斌
一种纵向沟道的SiC肖特基栅双极型晶体管及制备方法
本发明提供了一种纵向沟道的SiC肖特基栅双极型晶体管,包括N+碳化硅衬底,形成于N+碳化硅衬底表面的发射极接触金属层,形成于N+碳化硅衬底上的P+缓冲层,形成于P+缓冲层上P‑漂移区,形成于P‑漂移区上的P+集电区,形成...
宋庆文
刘思成
汤晓燕
元磊
张艺蒙
张玉明
碳化硅多台阶沟槽结终端扩展终端结构及其制备方法
本发明提供了一种碳化硅多台阶沟槽结终端扩展终端结构,包括碳化硅衬底层;形成于衬底层上第一半导体层,设置于第一半导体层表面的多台阶沟槽结构,覆盖于多台阶沟槽结构上方的钝化层,设于第一半导体层内的结终端扩展结构,且结终端扩展...
宋庆文
袁昊
汤晓燕
元磊
张艺蒙
张玉明
Mn掺杂异质结自旋场效应晶体管的制备方法
本发明涉及一种Mn掺杂异质结自旋场效应晶体管的制备方法,该方法包括:选取蓝宝石衬底;在蓝宝石衬底表面生长Ga<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>外延层;在Ga<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub...
贾仁需
杨宇
元磊
张玉明
彭博
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