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宋庆文
宋庆文
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344
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西安电子科技大学
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合作作者
张玉明
西安电子科技大学微电子学院宽禁...
汤晓燕
西安电子科技大学微电子学院宽禁...
张艺蒙
西安电子科技大学微电子学院
袁昊
西安电子科技大学
王悦湖
西安电子科技大学
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外延GaN的串联式PIN结构α辐照电池及其制备方法
本发明公开了一种外延GaN的串联式PIN结构α辐照电池,主要解决现有技术中制作碳化硅PIN型辐照电池能量转换效率低、输出电压有限的问题。其由上下两个串联的PIN结构成;上PIN结包括N型GaN外延层欧姆接触电极、N型Ga...
郭辉
翟华星
张艺蒙
宋庆文
张玉明
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耐高温碳化硅欧姆接触结构制作方法及其结构
本发明涉及一种耐高温碳化硅欧姆接触结构制作方法,包括:选取SiC衬底;在所述SiC衬底表面生长SiC外延层;利用磁控溅射工艺在所述SiC外延层表面依次淀积Ni金属层、W金属层、TaSi<Sub>2</Sub>金属层及Pt...
张艺蒙
张玉明
李彦良
宋庆文
汤晓燕
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一种并联均流的反激变换器
本发明公开了一种并联均流的反激变换器,包括:反激电路和并联均流电路;其中,所述并联均流电路包括多个并联的支路,每个支路包括串接的功率器件和电感;每个支路均串接于所述反激电路的副边电路中,所有支路的电感缠绕于同一磁芯上以彼...
张艺蒙
孙世凯
郭辉
宋庆文
汤晓燕
张玉明
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N沟道碳化硅绝缘栅双极型晶体管的制备方法
本发明公开了一种N沟道穿通型碳化硅绝缘栅双极型晶体管的制备方法,主要解决目前碳化硅绝缘栅双极型晶体管制备成本过高的问题。其实现步骤包括:1.选用结构性能优良的N型碳化硅衬底,在该衬底正面外延生长一层N型外延层;2.在衬底...
郭辉
翟华星
宋庆文
张艺蒙
张玉明
汤晓燕
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一种改善正向特性的槽型混合PiN肖特基二极管
本发明公开了一种改善正向特性的槽型混合PiN肖特基二极管,包括:N<Sup>+</Sup>衬底区;漂移层,位于N<Sup>+</Sup>衬底区上;P型区,包括:沟槽底部P型区和沟槽侧壁P型区,沟槽侧壁P型区第一侧边与沟槽...
宋庆文
王栋
张玉明
汤晓燕
袁昊
张艺蒙
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一种基于碳基复合电极的高温SiC JFET器件
本发明公开了一种基于碳基复合电极的高温SiC?JFET器件,包括N<Sup>+</Sup>衬底、N<Sup>-</Sup>漂移区、N沟道区、P<Sup>+</Sup>栅区、N<Sup>+</Sup>源区、由第一碳基材料层...
张艺蒙
唐美艳
宋庆文
汤晓燕
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SiC衬底同质外延碳硅双原子层薄膜的方法
本发明涉及一种SiC衬底同质外延碳硅双原子层薄膜的方法,其特征在于,方法包括:将加工SiC衬底放置到外延炉中,并将外延炉抽取真空;通入氢气保持气压为100mbar并对外延炉加热,开始对加工SiC衬底开始原位刻蚀;温度保持...
贾仁需
辛斌
宋庆文
张艺蒙
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一种基于N型纳米薄层来提高N型DiMOSFET沟道迁移率方法
本发明公开了一种基于N型纳米薄层来提高N型DiMOSFET沟道迁移率方法,在已有离子注入工艺基础上将注入形成对导电沟道层注氮改为由外延形成的N<Sup>+</Sup>外延层a对导电沟道层注氮;对于N沟DiMOSFET器件...
宋庆文
何艳静
汤晓燕
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贾仁需
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张玉明
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一种高温pin紫外探测器及其制备方法
本发明公开了一种高温pin紫外探测器,属于微电子技术领域,包括自下而上层叠设置的4H‑SiC衬底、4H‑SiC外延层、4H‑SiC吸收层以及4H‑SiC接触层;4H‑SiC接触层、4H‑SiC吸收层以及4H‑SiC外延层...
杜丰羽
龚志鹏
袁昊
宋庆文
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汤晓燕
韩超
张玉明
串联式PIN结构β辐照电池及其制备方法
本发明公开了一种串联式PIN结构β辐照电池及其制备方法,主要解决现有技术中制作碳化硅PIN型β辐照电池能量转换效率低、输出电压有限的问题。其由上下两个串联的PIN结构成;上PIN结包括N型高掺杂外延层、P型低掺杂外延层、...
郭辉
黄海栗
宋庆文
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