冷杉
- 作品数：2 被引量：0H指数：0
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- AlN/Si衬底上ZnO薄膜的择优取向生长
- 2004年
- 当ZnO薄膜直接沉积在Si衬底上时,由于ZnO与Si的晶格失配度大,不易于获得高质量的ZnO薄膜.因此,选择合适的衬底材料沉积ZnO薄膜,对提高其质量非常重要.本文采用射频磁控溅射法,通过在Si(100)衬底上预沉积AlN作为ZnO薄膜生长的缓冲层,获得了择优取向的ZnO薄膜.我们还讨论了ZnO薄膜在AlN/Si衬底上的取向生长机理.
- 王磊冷杉王波黄安平李小换朱满康严辉
- 关键词：ZNO薄膜磁控溅射
- AlN/Si衬底上ZnO薄膜的择优取向生长
- 当ZnO薄膜直接沉积在Si衬底上时,由于ZnO与Si的晶格失配度大,不易于获得高质量的ZnO薄膜.因此,选择合适的村底材料沉积ZnO薄膜,对提高其质量非常重要.本文采用射频磁控溅射法,通过在Si(100)衬底上预沉积Al...
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- 关键词：ZNO薄膜磁控溅射
- 文献传递
