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张海波

作品数：47 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
相关领域：机械工程理学自动化与计算机技术自然科学总论更多>>

合作作者

文献类型

  • 46篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 5篇机械工程
  • 3篇自动化与计算...
  • 3篇理学
  • 1篇电子电信
  • 1篇文化科学
  • 1篇自然科学总论

主题

  • 16篇光刻
  • 10篇照明
  • 9篇照明系统
  • 9篇光束
  • 8篇偏振
  • 8篇光焦度
  • 6篇像差
  • 6篇光刻技术
  • 6篇光轴
  • 5篇透镜
  • 5篇偏振光
  • 5篇激光
  • 5篇波片
  • 4篇像质
  • 4篇镜片
  • 4篇均匀性
  • 4篇光强
  • 4篇光学
  • 4篇光学系统
  • 4篇分辨率

机构

  • 47篇中国科学院

作者

  • 47篇张海波
  • 35篇林妩媚
  • 32篇邢廷文
  • 26篇廖志杰
  • 14篇甘大春
  • 13篇卢亮
  • 11篇范真节
  • 11篇何毅
  • 7篇白瑜
  • 6篇吕保斌
  • 4篇陈红丽
  • 4篇孙威
  • 4篇韩维强
  • 4篇冉英华
  • 3篇杜猛
  • 3篇邱传凯
  • 3篇邢莎莎
  • 2篇王建
  • 2篇刘学峰
  • 2篇廖胜

传媒

  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2022
  • 1篇2018
  • 4篇2017
  • 5篇2016
  • 6篇2015
  • 12篇2014
  • 9篇2013
  • 8篇2012
  • 1篇2011
共 47 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种变焦光学系统
本发明涉及一种变焦光学系统，尤其是用于光刻照明系统内的变焦光学系统，该变焦光学系统沿其光轴方向包括第一、第二、第三和第四共四个透镜组。其中第一镜透镜组L1为前固定组，具有正光焦度，第二透镜组L2为变倍组，具有正光焦度，第...
何毅张海波林妩媚邢廷文廖志杰甘大春卢亮
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一种光束传输稳定装置
本发明提供一种光束传输稳定装置，用于将激光器发射光束传输到照明系统，在所述传输光路上放置光束控制模块，光束控制模块包括第一光束控制单元(41)、第二光束控制单元(42)、第三光束控制单元(43)；在光束控制模块的出射光路...
甘大春王建林妩媚张海波廖志杰
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一种光刻投影物镜偏振仿真分析方法
本发明提供一种光刻投影物镜偏振仿真分析方法，解决了高NA光刻技术中输入偏振光束经光刻投影物镜作用后光束偏振度是否满足光刻曝光系统指标要求。该偏振仿真分析方法主要包括设置仿真条件、光线追迹、数据处理、结果判断四个步骤。通过...
范真节邢廷文林妩媚廖志杰张海波
一种光刻照明系统中的相干因子调整装置
本发明公开了一种光刻照明系统中的相干因子调整装置，包括：反射镜组，位于照明系统前端光路上，反射镜组高精度旋转电机驱动，可以有较高的旋转精度；准直镜组位于反射镜组后的照明系统光路上；锥形棱镜组位于准直镜组的出射光路上；再经...
卢亮张海波林妩媚
一种基于微反射镜阵列实现可变自由照明光瞳的方法
本发明提供一种基于微反射镜阵列实现可变自由照明光瞳的方法，包括光斑位置测量，光斑位置优化，光斑位置校正等步骤。其中，CCD相机测量每个微反射镜单元处于静态时反射光斑的位置参数；将上述参数代入网格搜索蚁群算法中优化，得到产...
邢莎莎杜猛廖志杰张海波邢廷文
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一种深紫外光刻照明系统
一种深紫外光刻照明系统，包括衍射元件和聚光镜组；石英棒，位于聚光镜组的光路上，聚光镜组会聚的光经由石英棒的入射端入射并经由出射端出射；石英棒控制装置，负责控制石英棒，有垂直于光轴的旋转轴，绕旋转轴转动可调换石英棒的两端，...
卢亮张海波何毅林妩媚
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一种投影光学系统
一种投影光学系统，用于将物平面的图像成像到像平面内。该投影光学系统，沿其光轴方向依次包括第一透镜单元(L1)、第二透镜单元(L2)、第三透镜单元(L3)、第四透镜单元(L4)和第五透镜单元(L5)，所述透镜单元均处于同一...
白瑜邢廷文吕保斌范真节邓超张海波
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一种偏振光调制元件
本发明提供一种偏振光调制元件，解决了高NA光刻技术中光束由Y偏振光转换为径向偏振光和切向偏振光问题，所述偏振光调制元件由两块呈中心对称分布的半圆形调制元件拼接而成，每块半圆形调制元件表面边缘轮廓为连续曲线，边缘轮廓线上每...
范真节邢廷文林妩媚张海波
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一种航天产品技术状态管理三维方法
本发明提供一种航天产品技术状态管理三维方法，建立航天产品技术状态管理三维数据库，包括逻辑维、过程维和方法维，任意两个维度构成一个技术状态活动项，包括技术状态标识、技术状态控制和技术状态纪实。技术状态标识形成对产品设计生产...
张海波李华孙威吴宗明陈元培韩维强廖胜
一种高效率偏振纯化装置
本发明提供一种高效偏振纯化装置，由波片堆、四分之一波片、反射镜组成。波片堆倾斜放置，其表面法线与水平方向成布儒斯特角，使得激光器发出的平行光以布儒斯特角入射波片堆，反射S偏振光，透射P偏振光。在S反射光方向放置一四分之一...
黄金苹林妩媚邢廷文范真节张海波
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