廖志杰
- 作品数：62 被引量：58H指数：4
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：江苏省高技术研究计划项目更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程理学文化科学更多>>
- 一种激光准直扩束系统
- 本发明提供一种激光准直扩束系统，解决了高NA光刻技术中激光光束在不同传输距离时，光束口径和发散角不能满足使用需求的问题。所述激光准直扩束系统由一块球面镜和两块柱面镜组成，其中两块柱面镜光焦度分别为y方向和x方向，球面镜分...
- 范真节邢廷文林妩媚廖志杰张海波
- 文献传递
- 一种光强分布的建模方法、装置、电子设备及存储介质
- 本发明公开了一种光强分布的的建模方法，应用于光刻照明均匀性补偿技术领域，包括：获取输入参数，输入参数包括视场面的输入光强分布和补偿平面的光瞳能量分布，根据视场面的输入光强分布和补偿平面的光瞳能量分布，确定补偿平面的光强分...
- 何毅林妩媚廖志杰刘卫静邢廷文
- 文献传递
- 一种光学准直扩束系统
- 本发明提供一种光学准直扩束系统，解决了高NA光刻技术中激光光束在不同传输距离时，光束口径和发散角不能满足使用需求的问题。所述光学准直扩束系统由两块球面镜和四块柱面镜组成，其中两块柱面镜光焦度为y方向，另外两块柱面镜光焦度...
- 范真节邢廷文林妩媚李声廖志杰
- 文献传递
- 激光投影系统中的均匀照明研究
- 步进扫描光刻投影曝光系统和激光投影显示系统，是以激光作为光源的投影系统，是现代光学技术在生产和生活中的重要应用。均匀照明系统是激光投影系统的主要子系统，变换激光出射的光束，形成投影系统预期的光能分布，为投影系统提供光能。...
- 廖志杰
- 关键词：柯拉照明均匀照明准分子激光器
- 一种非接触式的圆孔形零件尺寸检测被引量：17
- 2016年
- 针对常见的圆孔目标检测,设计了一套基于机器视觉的尺寸测量系统。采用标准同心圆标定板进行标定,并针对一般圆拟合算法的不足,对该标定板图像建立了基于距离空间聚类的划分区域算法,对区域单独采用最小二乘拟合圆算法提取其图像特征。通过实验验证与计算机仿真计算,进行图像预处理、边缘检测以及圆度评价,精确测量出圆孔零件的尺寸信息。实验表明,该测量系统的测量误差小于0.2 mm,适用于一般圆形零件的非接触式检测。
- 谢红廖志杰邢廷文
- 关键词：机器视觉尺寸测量
- 一种基于能动光学技术的能动变形镜的光刻照明装置及照明方法
- 本发明提供一种基于能动光学技术的能动变形镜的光刻照明装置及照明方法，采用能动变形镜产生各种照明光瞳形状。能动变形镜的每个能动单元通过电压进行控制，可以利用优化算法、优化设计等来产生任意的照明光瞳形状，无需针对不同的掩模来...
- 陈红丽邢廷文林妩媚廖志杰
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- 一种三平面绝对测量光学面形的检测装置及方法
- 本发明是一种三平面绝对测量光学面形的检测装置及方法，激光器发射的光经过空间滤波器、分光镜、准直光学组件、第一夹持架上平面后产生参考光，第一夹持架上的平面和第二夹持架上的平面产生干涉，干涉光经光路返回后经过分光镜再由聚光镜...
- 贾辛冯建美林妩媚廖志杰邢廷文
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- 一种光刻机中照明系统各光学组件透过率的测量装置及测量方法
- 一种光刻机中照明系统各光学组件透过率的测量装置及测量方法，该测量装置包括光源，能量衰减装置，光路分离元件，光路调整元件，待测光学组件，光束接收与探测单元，数据处理和控制系统。用分光镜将准分子激光光源的光束分为测试光路和参...
- 邢莎莎廖志杰林妩媚
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- 基于DMD的动态红外投影系统分光系统设计被引量：3
- 2008年
- 动态红外投影技术是红外硬件闭环仿真(HWIL)和红外成像测试与评估的关键技术,它能够在实验室内实物模拟红外成像,从而降低光电系统的研发成本和提供可重复的实验环境。介绍了动态红外场景投影技术及其分类,描述了基于DMD动态红外场景分光系统的设计过程。为了解决系统中分光的问题,采用棱镜设计的理论设计了分光棱镜,给出了设计结果,经验证满足要求。为了获得更好的透过率和更紧密的结构,可以选取更好的材料来改进设计。
- 贾辛廖志杰邢廷文周金梅
- 关键词：DMD红外光学
- 一种变焦光学系统
- 本发明涉及一种变焦光学系统，尤其是用于光刻照明系统内的变焦光学系统，该变焦光学系统沿其光轴方向包括第一、第二、第三和第四共四个透镜组。其中第一镜透镜组L1为前固定组，具有正光焦度，第二透镜组L2为变倍组，具有正光焦度，第...
- 何毅张海波林妩媚邢廷文廖志杰甘大春卢亮
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