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甘大春

作品数：22 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程理学文化科学自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 21篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇文化科学
  • 1篇理学

主题

  • 7篇照明
  • 7篇照明系统
  • 5篇透镜
  • 5篇光刻
  • 5篇干涉仪
  • 4篇入射
  • 4篇均匀性
  • 4篇光束
  • 4篇光束控制
  • 4篇补偿装置
  • 3篇面形
  • 2篇等份
  • 2篇调节系统
  • 2篇信号
  • 2篇信号探测
  • 2篇掩膜
  • 2篇圆弧形
  • 2篇遮光
  • 2篇中继
  • 2篇射出

机构

  • 22篇中国科学院

作者

  • 22篇甘大春
  • 14篇林妩媚
  • 14篇张海波
  • 13篇邢廷文
  • 12篇廖志杰
  • 12篇何毅
  • 10篇卢亮
  • 4篇刘学峰
  • 3篇王长涛
  • 3篇罗先刚
  • 3篇贾辛
  • 3篇徐富超
  • 2篇王建
  • 2篇崔建华
  • 2篇陈旭南
  • 2篇陈红丽
  • 2篇赵泽宇
  • 2篇邢卉
  • 2篇刘尧
  • 2篇方亮

传媒

  • 1篇光电工程

年份

  • 1篇2021
  • 2篇2019
  • 1篇2017
  • 1篇2016
  • 2篇2015
  • 4篇2014
  • 3篇2013
  • 5篇2012
  • 2篇2011
  • 1篇2009
共 22 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种照明均匀性补偿装置
一种照明均匀性补偿装置，包括沿垂直于系统光轴方向设置的第一、第二补偿组件，每个补偿组件均由多个补偿单元组成，且第一、第二补偿组件的补偿单元数相等，相应的补偿单元构成补偿单元对。各个补偿单元均能沿照明视场扫描方向运动进出照...
何毅张海波甘大春林妩媚邢廷文廖志杰卢亮
一种投影物镜波像差检测装置及方法
一种投影物镜波像差检测装置及方法，光源发出的光线均匀照明在投影物镜物面上，散射板和针孔安装在掩模台上，针孔位于投影物镜的物面，通过掩模台移动进行视场选择，剪切光栅位于投影物镜的像面，和探测器一起安装在硅片台上，通过硅片台...
刘志祥刘学峰吕保斌陈红丽甘大春何毅
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一种变焦光学系统
本发明涉及一种变焦光学系统，尤其是用于光刻照明系统内的变焦光学系统，该变焦光学系统沿其光轴方向包括第一、第二、第三和第四共四个透镜组。其中第一镜透镜组L1为前固定组，具有正光焦度，第二透镜组L2为变倍组，具有正光焦度，第...
何毅张海波林妩媚邢廷文廖志杰甘大春卢亮
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一种光束传输稳定装置
本发明提供一种光束传输稳定装置，用于将激光器发射光束传输到照明系统，在所述传输光路上放置光束控制模块，光束控制模块包括第一光束控制单元(41)、第二光束控制单元(42)、第三光束控制单元(43)；在光束控制模块的出射光路...
甘大春王建林妩媚张海波廖志杰
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拼接测量装置和方法
本发明公开了一种拼接测量装置，适于对凹球面的面形进行拼接测量，所述拼接测量装置包括：干涉仪、参考透镜、第一平面反射镜、第二平面反射镜、第一调整机构、第二调整机构、凹球面的被测件、运动台和控制机构，第一平面反射镜安装在第一...
徐富超贾辛甘大春邢廷文
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一种稳定脉冲激光束随机漂移的方法
一种稳定脉冲激光束随机漂移的方法，该方法基于漂移量移动平均值(MA)原理，对脉冲光束进行单脉冲校正，可以及时有效地稳定光束，校正随机漂移。其关键在于提出合适的漂移量校正公式y(k)＝ξ·y(k-1)+η·x(k)(其中，...
张丽霞王瑞林林妩媚廖志杰张海波甘大春
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一种超分辨i线光刻装置
一种超分辨i线光刻装置，包含分离式曝光系统、自净化空气过滤系统以及气控弹性掩膜变形系统；曝光系统采用i线汞灯光源，且光源与匀光照明系统分离，两部分间光能传输通过光纤实现；气控弹性掩膜变形系统中，通过微气泵来改变气压大小使...
罗先刚王长涛陈旭南甘大春刘尧赵泽宇方亮邢卉崔建华
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在拼接干涉仪中检测透镜面形的检测装置
本发明公开了一种适于检测透镜面形的检测装置和包括该检测装置的拼接干涉仪。所述检测装置包括：筒形的检测框架，包括在所述检测框架的内壁周向设置的支撑凸台，待测透镜放置在所述支撑凸台上；和多个支撑单元，在所述检测框架的周向方向...
甘大春徐富超贾辛邢廷文
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一种投影物镜波像差检测装置及方法
一种投影物镜波像差检测装置及方法，光源发出的光线均匀照明在投影物镜物面上，散射板和针孔安装在掩模台上，针孔位于投影物镜的物面，通过掩模台移动进行视场选择，剪切光栅位于投影物镜的像面，和探测器一起安装在硅片台上，通过硅片台...
刘志祥刘学峰吕保斌陈红丽甘大春何毅
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拼接测量装置和方法
本发明公开了一种拼接测量装置，适于对凹球面的面形进行拼接测量，所述拼接测量装置包括：干涉仪、参考透镜、第一平面反射镜、第二平面反射镜、第一调整机构、第二调整机构、凹球面的被测件、运动台和控制机构，第一平面反射镜安装在第一...
徐富超贾辛甘大春邢廷文
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