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王丛舜

作品数：33 被引量：11H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 24篇专利
  • 6篇期刊文章
  • 3篇会议论文

领域

  • 7篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 14篇纳米
  • 7篇有机半导体
  • 7篇模版
  • 7篇纳米压印
  • 7篇抗蚀剂
  • 7篇分子
  • 7篇半导体
  • 6篇电极
  • 6篇刻蚀
  • 6篇交叉线
  • 6篇场效应
  • 5篇电子器件
  • 5篇有机场效应管
  • 5篇纳米电子
  • 5篇场效应管
  • 4篇氮化
  • 4篇氮化硅
  • 4篇氮化硅薄膜
  • 4篇淀积
  • 4篇压印

机构

  • 33篇中国科学院微...
  • 1篇中国科学院

作者

  • 33篇王丛舜
  • 33篇刘明
  • 28篇涂德钰
  • 13篇商立伟
  • 9篇龙世兵
  • 7篇谢常青
  • 6篇陈宝钦
  • 5篇易里成荣
  • 4篇李志钢
  • 3篇牛洁斌
  • 3篇姬濯宇
  • 3篇胡文平
  • 2篇叶甜春
  • 2篇张立辉
  • 2篇王琴
  • 2篇贾锐
  • 2篇徐秋霞
  • 1篇刘新华
  • 1篇李志刚
  • 1篇刘兴华

传媒

  • 2篇Journa...
  • 2篇物理
  • 1篇微电子学
  • 1篇微纳电子技术
  • 1篇第十五届全国...
  • 1篇中国科协第五...

年份

  • 1篇2010
  • 5篇2009
  • 7篇2008
  • 14篇2007
  • 3篇2006
  • 1篇2005
  • 2篇2004
共 33 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种射频单电子晶体管位移传感器的设计方法
本发明涉及量子信息技术领域，特别是一种射频单电子晶体管位移传感器的设计方法。在SOI衬底上制作双端固支梁和单电子晶体管，利用纳米尺度的双端固支梁作为敏感元件，再用射频单电子晶体管作为传感元件，形成快速超灵敏位移传感器。充...
王琴王丛舜龙世兵刘明叶甜春
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一种通过热压来制备各向异性有机场效应管的方法
本发明属于有机半导体学中的微细加工领域，特别是一种通过热压来制备各向异性有机场效应管的方法。其步骤如下：1.在导电基底上制备绝缘介质层；2.在绝缘介质层薄膜表面上蒸发沉积第一层有机半导体薄膜；3.利用光滑的辊筒对有机薄膜...
商立伟王丛舜刘明
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利用多层侧墙技术制备纳米压印模版的方法
一种利用多层侧墙技术制备纳米压印模版的方法，其工艺步骤如下：1.在透光基片上淀积一层结构薄膜；2.淀积另外一种材料作为第二层结构薄膜；3.根据线条设计要求重复步骤1和2；4.采用化学机械平坦化或研磨等方法抛光基片表面，得...
涂德钰王丛舜刘明
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基于自组装技术的交叉阵列结构有机器件制备方法
一种交叉线阵列结构有机分子器件的制备方法，其工艺步骤如下：1.在基片表面上淀积绝缘薄膜；2.在绝缘薄膜表面上旋涂抗蚀剂，光刻得到下电极图形；3.蒸发、剥离金属得到交叉线下电极；4.旋涂抗蚀剂，光刻得到与下电极交叉的上电极...
王丛舜胡文平涂德钰姬濯宇刘明
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一种紫外固化纳米压印模版的制备方法
本发明属于微电子学与纳米电子学中的微纳加工领域，特别涉及一种紫外固化纳米压印模版的制备。其工艺步骤如下：1.在透光基片上淀积一层易于刻蚀的薄膜；2.旋涂抗蚀剂；3.淀积一层导电薄膜；4.光刻、显影得到模版图形；5.以抗蚀...
涂德钰王丛舜刘明
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纳米压印和光学光刻匹配混合的声表面波器件制备方法
一种采用纳米压印和光学光刻匹配混合的声表面波器件制备方法，其工艺步骤如下：1.在压电基片上旋涂压印胶；2.制备含有声表面波器件叉指图形和对准标记的压模并对其表面进行防粘连处理；3.将压模压入压印胶中，通过加热、加压或紫外...
王丛舜牛洁斌涂德钰谢常青陈宝钦刘明
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一种结合压印技术制备各向异性有机场效应管的方法
本发明属于有机半导体学中的微细加工领域，特别涉及一种结合压印技术制备各向异性有机场效应管的方法。其步骤如下：1、在导电基底上制备绝缘介质层；2、在绝缘介质层薄膜表面上沉积生长第一层有机半导体薄膜；3、利用模板压印有机薄膜...
商立伟涂德钰王丛舜刘明
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一种声表面波器件的制备方法
一种声表面波器件的制备方法，其工艺步骤如下：1.在压电基片上旋涂压印胶；2、制备声表面波器件压模并对其表面进行防粘连处理；3.将带有声表面波器件电极图形的压模压入压印胶中，通过加热、加压或紫外光辐照固化等压印方式得到电极...
王丛舜牛洁斌涂德钰谢常青陈宝钦刘明
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纳米压印和光学光刻匹配混合的声表面波器件制备方法
一种采用纳米压印和光学光刻匹配混合的声表面波器件制备方法，其工艺步骤如下：1.在压电基片上旋涂压印胶；2.制备含有声表面波器件叉指图形和对准标记的压模并对其表面进行防粘连处理；3.将压模压入压印胶中，通过加热、加压或紫外...
王丛舜牛洁斌涂德钰谢常青陈宝钦刘明
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一种射频单电子晶体管位移传感器的制作方法
本发明涉及量子信息技术领域，特别是一种射频单电子晶体管位移传感器的设计方法。在SOI衬底上制作双端固支梁和单电子晶体管，利用纳米尺度的双端固支梁作为敏感元件，再用射频单电子晶体管作为传感元件，形成快速超灵敏位移传感器。充...
王琴王丛舜龙世兵刘明叶甜春
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