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穆海华

作品数：119 被引量：174H指数：9
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划中国博士后科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信文化科学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 93篇专利
  • 23篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 23篇自动化与计算...
  • 11篇电子电信
  • 9篇文化科学
  • 3篇机械工程
  • 2篇电气工程
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 30篇电机
  • 28篇光刻
  • 25篇激光
  • 22篇光刻机
  • 20篇六自由度
  • 17篇干涉仪
  • 16篇激光干涉
  • 14篇工件台
  • 13篇永磁
  • 13篇直线电机
  • 12篇感器
  • 12篇传感
  • 12篇传感器
  • 11篇音圈电机
  • 10篇掩模
  • 10篇双频激光
  • 10篇光栅
  • 10篇测量系统
  • 9篇叠层
  • 9篇平面电机

机构

  • 99篇清华大学
  • 21篇华中科技大学
  • 3篇华北电力大学

作者

  • 119篇穆海华
  • 95篇朱煜
  • 93篇张鸣
  • 93篇杨开明
  • 92篇尹文生
  • 90篇胡金春
  • 88篇徐登峰
  • 46篇刘召
  • 41篇成荣
  • 33篇李鑫
  • 28篇胡楚雄
  • 24篇田丽
  • 21篇汪劲松
  • 21篇余东东
  • 19篇刘昊
  • 17篇周云飞
  • 17篇张利
  • 15篇崔乐卿
  • 15篇王磊杰
  • 15篇张金

传媒

  • 6篇机械工程学报
  • 3篇机床与液压
  • 3篇机械科学与技...
  • 2篇中国机械工程
  • 2篇中国电机工程...
  • 1篇电机与控制学...
  • 1篇制造业自动化
  • 1篇华中科技大学...
  • 1篇微电机
  • 1篇机械设计与制...
  • 1篇组合机床与自...
  • 1篇电工技术
  • 1篇2012年第...

年份

  • 1篇2019
  • 5篇2018
  • 1篇2017
  • 3篇2016
  • 15篇2015
  • 19篇2014
  • 25篇2013
  • 25篇2012
  • 7篇2011
  • 2篇2010
  • 4篇2009
  • 2篇2008
  • 4篇2007
  • 2篇2006
  • 1篇2004
  • 3篇2003
共 119 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种外差光栅干涉仪位移测量系统
一种外差光栅干涉仪位移测量系统，包括读数头、测量光栅、电子信号处理部件，该测量系统基于光栅衍射、光学多普勒效应和光学拍频原理实现位移测量。读数头包括双频激发生器、干涉仪、信号转换单元，双频激光发生器出射双频激光经偏振分光...
张鸣朱煜王磊杰胡金春陈龙敏杨开明徐登峰尹文生穆海华
文献传递
基于规则的复杂装备控制逻辑调度模式研究
制造装备日益增大的规模与高度自动化的需求,使得正确、高效地处理复杂逻辑成为装备控制软件开发的核心问题.逻辑复杂度来源于装备固有的繁复行为以及软件执行逻辑.以规范统一的形式描述装备行为,并实现装备行为逻辑与软件执行逻辑的分...
王海升穆海华尹文生
关键词：复杂装备控制软件
带光电位置探测器测量的六自由度粗动台的掩膜台系统
带光电位置探测器测量的六自由度粗动台的掩膜台系统，粗动台含有一个粗动台台体、驱动装置和粗动台重力平衡组件，粗动台台体设置在精动台的外部，将精动台包围在中间，实现粗动台的六自由度运动；该掩膜台系统还含有PSD传感器测量系统...
朱煜张鸣刘召杨开明徐登峰成荣刘昊张利田丽叶伟楠张金尹文生穆海华胡金春
洛仑兹电机运动控制耦合机理分析及动力学建模被引量：17
2009年
长行程永磁直线电机粗动与短行程洛仑兹电机微动构成的复合运动可满足工作台的纳米级定位精度和跟踪精度要求,其中微动台是工作台纳米精度实现的核心,运动控制存在内部干扰耦合。该文分析洛仑兹电机运动控制的内部耦合因素及机理,建立耦合机理模型;针对位置相关性耦合与力相关性耦合,分别推导对应的耦合动力学模型,并采用简化原则进行简化;结合耦合机理模型与动力学模型,提出洛仑兹电机运动控制的总动力学模型。实验结果证明了简化模型的可行性和有效性。
穆海华周云飞周艳红
关键词：动力学模型
一种双工件台位置交换过程中驱动器切换装置
一种双工件台位置交换过程中驱动器切换装置，该双台包括一个基台及安装在基台上的两个工件台、四个激光尺、四个驱动器和两个切换开关。在双工件台位置交换过程中，初始阶段由一侧的激光尺和驱动器测量并控制工件台的运动；当两工件台运动...
杨开明朱煜张鸣成荣李鑫穆海华余东东胡金春尹文生季国锋蒋毅
一种三自由度定位装置
一种三自由度定位装置，涉及一种超精密三自由度运动定位设备。该定位装置包括一个或两个沿X方向微动的音圈电机、两个沿Y方向移动的直线电机和一个受Z方向气浮支撑的定位单元。每个音圈电机的动子与相邻侧直线电机的动子或直接与定位单...
张鸣朱煜汪劲松李鑫宋玉晶刘羽杨开明尹文生胡金春徐登峰穆海华
文献传递
一种基于电机磁场模型的动子位移测量方法
一种基于电机磁场模型的动子位移测量方法，该方法是在动子上沿动子运动方向布置两个磁感应强度传感器，两个传感器相距磁场极距的四分之一<Image file="DDA0000139963170000011.GIF" he="3...
胡金春朱煜穆海华孙玉婷张鸣杨开明刘召尹文生
文献传递
一种掩膜台系统
一种掩膜台系统，主要用于光刻机系统中。该系统包括磁悬浮装置，振动装置、驱动装置和掩膜台。所述磁悬浮装置由固定在掩膜台上的永磁体和被永磁体吸引的固定在光刻机机架上的铁磁性部件组成，在驱动装置的配合下使掩膜台在工作中保持悬浮...
张鸣朱煜汪劲松闵伟尹文生胡金春徐登峰杨开明穆海华段广洪
一种无横梁连接双边驱动工件台的定位对准装置
一种无横梁连接双边驱动工件台的定位对准装置，属于超精密加工和检测设备技术领域。本发明定位装置包含两个相同定位组件，每个定位组件由一个可伸缩单元、一个推杆、一个定位凹槽和一个位置传感器组成，位置传感器用于工件台的位置检测，...
朱煜杨开明余东东李鑫汪劲松徐登峰张鸣胡金春穆海华尹文生崔乐卿
一种具有永磁重力补偿结构的微动台
一种具有永磁重力补偿结构的微动台，包括微动台定子、微动台动子及永磁重力补偿结构。该永磁重力补偿结构包括固定部分和支撑部分，固定部分由至少四个永磁单元和永磁体骨架组成，四个永磁单元绕微动台的Z轴均匀布置在永磁体骨架上，每个...
张鸣朱煜刘召许玉洁李玉洁田丽张利杨开明徐登峰秦慧超王平安尹文生胡金穆海华
文献传递
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