陈李
- 作品数：8 被引量：13H指数：2
- 供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国科学院知识创新工程青年人才领域前沿项目更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术航空宇航科学技术机械工程交通运输工程更多>>
- 微机械振动式陀螺仪综述
- 本文介绍了陀螺仪的发展历程及微机械振动式陀螺仪的工作原理和分类，按结构的不同分别介绍了几种主要的微机械振动式陀螺仪的工作机理，讨论了其亟待解决的问题及未来的发展方向。
- 陈李陈德勇毋正伟杨苗苗陈健
- 关键词：陀螺仪微机械陀螺机电耦合
- 降低振动环式微机械陀螺同频干扰的方法研究被引量：1
- 2008年
- 受MEMS加工工艺等因素影响,振动环式微机械陀螺存在一定的不对称,引起检测端的同频干扰,导致检测信号的信噪比降低。通过对振动环式陀螺进行激励模态和检测模态的动力学分析,研究激励信号、干扰信号和Coriolis力之间相位关系,提出降低同频干扰的解决方法,以提高陀螺检测灵敏度。
- 韩磊李守荣王军波陈李陈德勇
- 关键词：同频干扰
- 一种硅梁谐振加速度计结构设计与模拟分析
- 为了提高谐振加速度计的灵敏度以及稳定性,提出一种基于微杠杆力学放大机构的硅梁谐振式加速度计结构,并对其进行了有限元模拟分析。该加速度计由两个静电激励电容检测的硅谐振梁组成差分输出,采用硅深刻蚀以及硅玻璃阳极键合等体硅工艺...
- 陈德勇陈健毋正伟王军波陈李
- 关键词：差分输出
- 文献传递
- 一种硅梁谐振加速度计结构设计与模拟分析
- 2007年
- 为了提高谐振加速度计的灵敏度以及稳定性,提出一种基于微杠杆力学放大机构的硅梁谐振式加速度计结构,并对其进行了有限元模拟分析。该加速度计由两个静电激励电容检测的硅谐振梁组成差分输出,采用硅深刻蚀以及硅玻璃阳极键合等体硅工艺制作。模拟结果表明新结构提高了加速度计灵敏度,有效改善了交叉灵敏度、线性度、温度稳定性等。
- 陈德勇陈健毋正伟王军波陈李
- 关键词：差分输出
- 一种电磁式微机械振动环陀螺的建模与优化被引量：8
- 2009年
- 提出了一种新型的电磁式微机械振动环陀螺结构.为优化陀螺的设计和提高陀螺的性能,在推导微机械陀螺集总参数模型的基础上,建立了电磁式微机械振动环陀螺的数学模型,得到了影响陀螺灵敏度的因素,据此对陀螺参数进行优化设计.采用有限元分析方法和实验测试方法相结合来验证该模型和设计方案的可行性.模型计算结果表明,优化后的陀螺在-200～200(°).s-1的范围内,其机械灵敏度为0.002 3μm/((°).s-1),电学灵敏度为0.062μV/((°).s-1).用有限元模拟得到陀螺机械灵敏度为0.002 9μm/((°).s-1),锁相放大器测试得到微陀螺样机电学灵敏度为0.051μV/((°).s-1).有限元仿真和样机实测结果与理论计算结果基本吻合,证实了该模型的正确性及陀螺设计方案的可行性.
- 陈李陈德勇王军波毋正伟张明
- 关键词：数学建模优化设计
- 微谐振梁的激振与拾振研究(英文)
- 2006年
- 主要研究静电激励/电容拾振硅微谐振梁的激振拾振问题,推导谐振梁的激振与响应的等效数学模型,分析谐振梁的同频干扰问题,建立其等效电路模型,提出一种基于双端激励/双端检测的结构,能够有效的抑制干扰模态和消除同频信号干扰.
- 陈健陈德勇王军波杨苗苗毋正伟陈李
- 关键词：微机械电子系统同频干扰
- 微机械振动环陀螺(英文)
- 2009年
- 为了减小振动环驱动模态和检测模态的频率差从而提高陀螺性能,提出了一种采用电磁驱动、电磁检测的全对称振动环陀螺结构。采用MEMS体硅工艺完成该微机械振动环陀螺的加工,其结构在保持镜像对称的同时,还保持了中心对称,因此整个结构高度对称,有利于减小模态频率差。为有效跟踪陀螺驱动模态的谐振频率并稳定驱动模态的幅值,设计了闭环驱动控制电路。该电路由低噪声前置放大器、相位调整环节以及自动增益放大器( VGA)组成。测试结果表明,该陀螺两个模态频率差为0.27 Hz ,实现了频率较好的匹配。在±200°/s ,测得陀螺灵敏度为8.9 mV/(°/s) ,分辨力为0.05°/s ,非线性度为0.23 %。
- 陈李陈德勇王军波
- 关键词：微机械陀螺闭环控制
- 高性能电磁式微机械振动环陀螺被引量：5
- 2009年
- 为改进振动环陀螺的模态匹配并提高其品质因数,设计了一种采用全对称结构实现模态匹配的电磁式微机械振动环陀螺。通过理论推导,建立了陀螺灵敏度和机械噪声的数学模型,分析了陀螺参数对灵敏度及分辨力的影响。采用(100)晶向的单晶硅及工艺简单,无需键合的MEMS体硅标准工艺加工了陀螺样片。器件频率响应实验结果表明,所设计的振动环陀螺驱动模态和检测模态频率之差<0.5Hz,大气压下品质因数约为500,在1Pa的低真空下可达14000。锁相放大器测试结果表明,在-200～200°/s,陀螺分辨力为0.05°/s,灵敏度为0.2μV/(°/s)。测试结果表明该陀螺能够实现模态匹配和较高的品质因数,具有较高的性能指标。
- 陈李陈德勇王军波毋正伟张明
- 关键词：微机械陀螺
