陈家俊
- 作品数：20 被引量：24H指数：4
- 供职机构：电子科技大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：一般工业技术理学电气工程电子电信更多>>
- 一种用于高温下薄膜沉积的面内旋转装置
- 本发明提供了一种用于高温下薄膜沉积的面内旋转装置，它由常规传动部分和面内旋转部分构成，面内旋转部分有轴向支撑盘9、径向支撑盘10通过调距螺杆11固定在一起，其间距可通过调距螺杆11调节，大齿轮6分别与轴向支撑盘9和径向支...
- 陶伯万刘兴钊张鹰李言荣陈家俊刘文兴
- 文献传递
- 3英寸双面YBCO高温超导外延薄膜研究
- 本文采用倒筒直流溅射方法(ICS)结合基片变速双轴旋转方式原位生长Φ3英寸双面YBCO高温超导外延薄膜.膜厚分布最大偏差小于10﹪,薄膜样品的中心与边缘部分的Tc0均达到90K,ΔTc≤0.3K,FWHM(005)≈0....
- 陈家俊张其劭陶伯万邓新武刘兴钊李德红张鹰何世明李言荣羊恺
- 关键词：高温超导薄膜均匀性
- 文献传递
- 3英寸YBCO/CeO2/Al2O3双面超导外延薄膜的制备研究
- 采用自制的大面积四靶溅射设备,并结合基片的调速双轴旋转,成功研制出3英寸双面CeO2薄膜及YBa2Cu3O7-σ(YBCO)薄膜。通过对所制备薄膜的微观结构、表面形貌以及电性能的分析测试,得到的CeO2薄膜与YBCO薄膜...
- 熊杰陶伯万谢廷明陈家俊刘兴钊张鹰李言荣
- 关键词：YBCO薄膜微波器件
- 文献传递
- 双倒筒靶结合基片双轴旋转的镀膜装置
- 本发明提供了一种双倒筒靶结合基片双轴旋转的镀膜装置，由转动驱动轴1、基片导轨2以及基片3构成双轴旋转机构，其特征是它还包括：圆筒形靶材10、圆筒形靶材10位于圆筒形靶材9相对应的另一端，圆筒形热屏蔽层15，由多根加热丝1...
- 李言荣陶伯万陈家俊刘兴钊张鹰邓新武
- 文献传递
- 一种用于高温下薄膜沉积的面内旋转装置
- 本发明提供了一种用于高温下薄膜沉积的面内旋转装置，它由常规传动部分和面内旋转部分构成，面内旋转部分有轴向支撑盘9、径向支撑盘10通过调距螺杆11固定在一起，其间距可通过调距螺杆11调节，大齿轮6分别与轴向支撑盘9和径向支...
- 陶伯万刘兴钊张鹰李言荣陈家俊刘文兴
- 文献传递
- 蓝宝石上射频溅射沉积CeO_2外延缓冲层被引量：1
- 2005年
- 研究了基片温度、溅射功率对采用射频溅射沉积在(1102)蓝宝石基片上的CeO2薄膜生长的影响。过低的沉积温度、溅射功率都会导致CeO2薄膜呈[111]取向生长。在基片温度为700~750 ℃,溅射功率为100~150 W,溅射气压为14 Pa下沉积了高质量[00l]取向的CeO2缓冲层。通过X射线衍射和原子力显微镜表征CeO2薄膜的结构和表面形貌。在最优化条件下制备的 CeO2薄膜具有优良的面内面外取向性和平整的表面。在CeO2缓冲层上制得的YBa2Cu3O7-δ(YBCO)超导薄膜为完全[00l]取向,面内取向性良好,并具有优越的电学性能,其临界转变温度(Tc)为89.5 K,临界电流密度Jc(77 K,0T)约为1.8×106 A/cm2,微波表面电阻Rs(77 K,10 GHz)大约为 0.30 mΩ。
- 熊杰陶伯万谢廷明陈家俊刘兴钊李金隆李言荣
- 关键词：蓝宝石
- 3英寸YBCO双面超导薄膜的研制
- YBCO高温超导薄膜在高性能微波无源器件有着良好的应用前景,而大面积双面薄膜的制备在满足批量生产及多器件集成的同时,能够进一步提高微波无源器件的性能。本论文在?2'双面YBCO薄膜制备工艺的基础上探讨?3'双面薄膜的制备...
- 陈家俊
- 关键词：YBCO超导薄膜溅射沉积辐射热传递
- 文献传递
- MgO和STO基片上制备YBCO高温超导薄膜生长研究
- 2005年
- 用AFM和XRD研究在MgO和STO基片上外延生长2-200nm的YBCO高温超导薄膜的生长机制。采用倒筒式直流溅射装置,首次实现单轴驱动双轴旋转技术,本质上实现同时在MaO基片和STO基片上沉积同一均匀厚度的YBCO薄膜。
- 谢廷明陶伯万熊杰陈家俊刘兴钊李言荣
- 关键词：高温超导钛酸锶氧化镁
- 蓝宝石衬底上射频溅射法生长CeO2外延薄膜研究
- 实验采用射频溅射法在(1102)蓝宝石基片上制备(00l)取向CeO2外延薄膜.低温、低溅射功率都会导致CeO2薄膜呈(111)取向生长.当基片温度在700℃～750℃,溅射功率在100～150W范围内能够制备得到高质量...
- 熊杰陶伯万谢廷明陈家俊刘兴钊张鹰李金隆李言荣
- 关键词：超导薄膜
- 文献传递
- STO/YBCO薄膜的制备及介电性能研究被引量：2
- 2003年
- 采用脉冲激光沉积技术,在(100)LaAlO3单晶基片上生长SrTiO3/Y1Ba2Cu3O7-x(STO/YBCO)多层薄膜。XRD分析表明:YBCO薄膜和STO薄膜均为C轴取向,STO(002)/YBCO(006)衍射峰摇摆曲线半高宽为0.73°。AFM分析表明,STO/YBCO多层薄膜表面平整、均匀,在77K,100kHz的测试条件下,STO薄膜介电损耗tgδ<10-2,在53.6kV/cm电场作用下,介电常数的相对变化为38%。
- 李德红刘兴钊何世明陆清芳李言荣张鹰申妍华陈家俊
- 关键词：介电性能铁电薄膜脉冲激光沉积
