姜骥
- 作品数：8 被引量：19H指数：2
- 供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
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- 相关领域：电子电信自然科学总论理学更多>>
- 一种纳米压印光刻机
- 本发明公开了一种纳米压印光刻机，包括底座、加热板、垫片、内六角螺钉、支架、传动导向压杆、十字槽沉头螺钉、螺杆和扭力计。所述加热板放置在底座上，垫片放置在加热板上，支架放置在垫片上，且所述支架、垫片和加热板通过内六角螺钉固...
- 姜骥谢常青岑专专商立伟刘兴华刘明
- 文献传递
- 高线密度X射线透射光栅的制作工艺被引量：13
- 2007年
- 采用电子束光刻、X射线光刻和微电镀技术,成功制作了面积为10mm×0.5mm,周期为500nm,占空比为1∶1,金吸收体厚度为430nm的可用于X射线衍射的大面积透射光栅.首先利用电子束光刻和微电镀技术制备基于镂空薄膜结构的X射线光刻掩模,然后利用X射线光刻经济、高效地复制X射线透射光栅.整个工艺流程分别利用了电子束光刻分辨率高和X射线光刻效率高的优点,并且可以得到剖面陡直的纳米级光栅线条.最后,测量了制作出的X射线透射光栅对波长为11nm同步辐射光的衍射峰,实验结果表明该光栅具有良好的衍射特性.
- 朱效立马杰曹磊峰杨家敏谢常青刘明陈宝钦牛洁斌张庆钊姜骥赵珉叶甜春
- 关键词：电子束光刻透射光栅X射线光刻
- 圆环型光子筛及其制作方法
- 本发明公开了一种圆环型光子筛，该圆环型光子筛是一种在透明介质上，先制造普通的光子筛，然后在每个普通光子筛的衍射孔处刻蚀双圆环位相环，形成有多个同心环带位相衍射单元的位相板。本发明同时公开了一种制作圆环型光子筛的方法。利用...
- 贾佳姜骥谢长青刘明
- 文献传递
- 一种纳米压印光刻机
- 本发明公开了一种纳米压印光刻机，包括底座、加热板、垫片、内六角螺钉、支架、传动导向压杆、十字槽沉头螺钉、螺杆和扭力计。所述加热板放置在底座上，垫片放置在加热板上，支架放置在垫片上，且所述支架、垫片和加热板通过内六角螺钉固...
- 姜骥谢常青岑专专商立伟刘兴华刘明
- 文献传递
- 基于LabVIEW的车体稳定性测试系统被引量：1
- 2008年
- 本文介绍了一种利用LabVIEW实现车体振动数据采集、处理和显示方法。其中详细讲述了车体振动方向的判断、振动起止位置的确定,以及在数据处理中程序的优化,通过试验对测量系统的精度进行了验证。结果表明,该方法切实可行。
- 孙洪亮徐熙平姜骥
- 关键词：LABVIEW数据采集数据处理
- 激光远距离传输中央光斑的超分辨压缩振幅光调制器
- 一种激光远距离传输中央光斑的超分辨压缩振幅光调制器，利用光子筛技术实现压缩激光远距离传输中央衍射极限光斑主瓣，该调制器置于衍射极限透镜之后，对远场衍射光斑中央主瓣进行几何修正，修正的程度由器件结构决定。本发明的振幅光调制...
- 贾佳姜骥谢长青刘明
- 文献传递
- 基于角谱法的振幅型光子筛的设计和分析被引量：5
- 2008年
- 对光子筛的聚焦成像原理作了分析,并用平面波角谱方法对光子筛聚焦成像进行了数值模拟.模拟结果表明,光子筛聚焦具有提高分辨率和抑制高级衍射的优点.在理论分析和计算机模拟的基础上,设计并制作了Fresnel波带片、未平滑处理和平滑处理后的光子筛.用波长为532nm激光光源对波带片和光子筛聚焦光斑进行检测.结果表明,光波通过光子筛聚焦后的光斑比波带片的光斑更细,成像对比度更高.
- 姜骥付强朱效立刘兴华徐熙平谢常青刘明
- 关键词：衍射光学
- 光子筛的设计制作和检测
- 光子筛是一种新型聚焦成像衍射光学元件，利用它可以对X光聚焦和成像，这是一般棱镜和玻璃材料的成像光学元件无法实现的。本文对光子筛的聚焦成像原理作了介绍，并应用平面波角谱方法对X射线光子筛(波长λ=4.5nm)的衍射场进行了...
- 姜骥
- 文献传递
