陈守元
- 作品数：4 被引量：2H指数：1
- 供职机构：北京大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学化学工程电子电信更多>>
- 用磁控溅射方法合成C_3N_4
- 1998年
- β－Ｃ３Ｎ４是理论预言的一种超硬材料，本文介绍了用磁控溅射法生成这种材料的研制过程和结构测试结果。对磁控溅射生成样品的ＴＥＭ分析表明，溅射形成的ＣＮｘ膜内有β－Ｃ３Ｎ４多晶存在，并形成纤维织构。
- 陈守元姚淑德
- 关键词：磁控溅射超硬材料氮化碳
- 用沟道离子束合成法研制YSi<,1.7>及Co<,x>Y<,1-x>Si<,1.7>
- 该文的目的是用沟道离子束合成(Channeled Ion Beam Synthesis)研制结晶品质较好的YSi<,1.7>及其三元硅化物Co<,x>Y<,1-x>Si<,1.7>,并研究三元硅化物Co<,x>Y<,1-...
- 陈守元
- 关键词：晶体结构
- C-N多晶的离子束合成及分析
- 1998年
- 介绍了用离子束合成法研制新型材料β－C3N4的条件及过程，用RBS、XRD等手段分析研究该方法生成物的配比、结构和物相，观察到CN化合物多晶。
- 姚淑德陈守元马军张亚伟丰伟静王雪梅吴名枋唐超群
- 关键词：氮化碳离子束注入多晶离子束合成
- 用沟道离子注入法研制稀土硅化物被引量：2
- 1999年
- 用沟道离子注入法生成的稀土硅化物产物经背散射沟道分析、电镜分析和Ｘ射线衍射测 试表明：它具有很好的结晶品质（ＥｒＳｉ１．７的Ｘｍｉｎ值可低到１．５％）和很高的相稳定性。
- 姚淑德吴名枋陈守元张勇
- 关键词：微电子
