尹颢
- 作品数：8 被引量：9H指数：2
- 供职机构：复旦大学信息科学与工程学院电子工程系更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 新型多维加速度传感器的设计研究
- 利用微机械加工制造技术(MEMS)制造集成的硅微机械三维加速度传感器,目前在全世界范围内都是研究的热点.这种类型加速度传感器广泛应用于微型卫星、汽车、机器人等各个领域.传统三维加速度传感器的设计思路是将三个一维加速度传感...
- 尹颢杨恒鲍敏杭沈绍群
- 关键词：微电子机械系统加速度传感器
- 文献传递
- 抗高过载微压传感器被引量：5
- 2001年
- 在提高微压传感器灵敏度的研究过程中 ,会遇到非线性和稳定性变差、过载能力不够以及静电封接时背岛与玻璃粘接造成器件失效等现象。提出了应力匀散结构和两层岛的限位结构 ,利用有限元分析和近似解析分析 ,设计了新的双岛 -梁 -膜结构 ,成功地研制出抗高过载微压传感器。量程为 0 .3kPa ,总精度为 0 .4% ,过载能力 >
- 尹颢杨恒王文襄沈绍群鲍敏杭
- 关键词：微压传感器过载能力非线性灵敏度
- 硅二维腐蚀速率分布图的测试新方法
- 提出了测量硅二维腐蚀速率分布图的一种新方法。该方法利用深反应离子刻蚀(ORIE)在硅片表面刻蚀出垂直于硅片表面的一系列晶面，利用显微镜直接测量各晶面的腐蚀速率，可以得到一个二维的腐蚀速率分布图。由于ORIE刻蚀出一晶面深...
- 杨恒尹颢沈绍群鲍敏杭张大成
- 关键词：各向异性腐蚀深反应离子刻蚀
- 微机械中静电驱动和空气阻尼问题的研究
- 我们把微机械器件中常见的静电驱动以及空气阻尼问题作为微机械动力学研究的重点,进行了研究和分析.该论文在静电驱动部分对平行板的阶跃响应、静电吸合以及驱动信号对电容式传感器的影响等问题都进行了详细的分析和推导.在对稀薄空气阻...
- 尹颢
- 关键词：平行板品质因数静电驱动
- 文献传递
- 利用计算机模拟研究硅无掩模腐蚀中的圆角问题
- 硅各向异性湿法腐蚀是重要的微机械加工技术,传统的腐蚀技术在制造多层结构时遇到了较大的困难,而最近开发成功的无掩模腐蚀新技术是较好地解决了这一问题.与传统腐蚀技术不同,无掩模腐蚀得到的结构侧壁为(311)面.在(311)面...
- 杨恒尹颢鲍敏杭沈绍群
- 关键词：各向异性计算机模拟
- 文献传递
- 正交复合梁--质量块结构硅微机械陀螺
- 介绍一种正交复合梁－质量块结构的硅微机械陀螺。正交复合梁由垂直梁和水平梁两部分构成，是多层结。采用无掩模腐蚀新技术已实现了这种结构，并研制了一种静电驱动、压阻检测的振动式微机械陀螺。当驱动电压为6V AC+15V DC，...
- 李昕欣尹颢杨恒沈绍群鲍敏杭
- 关键词：陀螺微机械
- 驱动信号对电容式传感器特性的影响分析被引量：3
- 2000年
- 在电容检测中 ,交流电压驱动常常是测量电容变化的必要手段 .驱动电压引起作用于可动电极上的静电力 ,从而影响到可动电极的运动 .因此 ,交流电压的静电驱动势必影响测量的范围和精度 .本文详细地分析了由交流电压引起的静电驱动力对微机械结构静态位移特性的影响 ,并以电容式加速度传感器为例 ,分单边驱动和双边驱动两种情况 ,推导出可动电极的运动微分方程 .运用近似和图解的方法分别在特殊和一般的情况下求解方程 ,得到静电驱动电压和传感器灵敏度 ,非线性以及零输入下可动电极初始位移的关系 .着重讨论了由驱动电压引起的吸合效应导致传感器失效的问题 ,并给出定量计算公式和曲线 ,是设计电容式传感器时的有效依据 .
- 尹颢杨恒沈绍群鲍敏杭
- 关键词：传感器微机械静电驱动驱动信号
- “无掩模”腐蚀技术与硅多层微机械结构
- 用传统的掩模腐蚀形成侧面为{111}面的台阶结构后再进行无掩模腐蚀时,台阶的上沿会出现快腐蚀速率的{311}面。利用无掩模腐蚀的这一特性提出了一种可以形成深的硅多层微机械结构的新技术,使各向异性腐蚀的体微机械加工技术的加...
- 沈绍群杨恒尹颢鲍敏杭
- 关键词：各向异性腐蚀
- 文献传递
