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王子千

作品数：8 被引量：2H指数：1
供职机构：北京大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 6篇微光
  • 6篇玻璃衬底
  • 6篇衬底
  • 4篇支撑梁
  • 4篇平板
  • 4篇平板式
  • 4篇光反射
  • 3篇光开关
  • 2篇平板型
  • 2篇锚点
  • 2篇共面
  • 2篇横梁
  • 2篇反射面
  • 1篇移植性
  • 1篇英文
  • 1篇微机电系统
  • 1篇静电驱动
  • 1篇镜面
  • 1篇机电系统
  • 1篇集成度

机构

  • 8篇北京大学

作者

  • 8篇吴文刚
  • 8篇郝一龙
  • 8篇王子千
  • 8篇陈庆华
  • 8篇闫桂珍
  • 7篇王阳元
  • 3篇邹积彬

传媒

  • 1篇Journa...

年份

  • 1篇2010
  • 2篇2009
  • 5篇2008
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
16×16光开关微镜阵列(英文)被引量：2
2008年
设计、制造和测试了一种实现16×16MEMS光开关的高反射率、大角度静电扭转制动型微镜阵列.该阵列的微镜可进行90°扭转并保持稳定的扭转状态以对入射光进行导向.针对微镜的扭转驱动特性,提出了相应的机电模型.通过单片集成光纤槽,实现了光纤-微镜-光纤的无源对准.测试结果表明,微镜反射率为93.1%~96.3%,最低插入损耗为2.1dB,另外,在经过15min的5~90Hz,3mm振幅的振动测试后,光开关的插入损耗的改变值仅为±0.01dB.
陈庆华吴文刚王子千闫桂珍郝一龙
关键词：光开关静电驱动
一种微型多功能光学器件及其制备方法
本发明涉及一种微型多功能光学器件及其制备方法，其特征在于：它包括固定电极、可动电极、支撑梁、锚点、玻璃衬底、光反射模块和光纤槽；所述光反射模块的头部呈三角形，正对所述反射模块的头部设置一输入光纤槽，与所述三角形光反射模块...
吴文刚陈庆华王子千邹积彬闫桂珍郝一龙王阳元
文献传递
一种实现共面和离面运动的微驱动结构及其制备方法
本发明涉及一种实现共面和离面运动的微驱动结构及其制备方法，本发明微驱动结构包括固定电极、可动电极、支撑梁、玻璃衬底、驱动输出端；所述固定电极包括连接在所述玻璃衬底顶面两侧的梳齿式固定电极和固定在所述玻璃衬底顶面中部的平板...
吴文刚陈庆华王子千闫桂珍郝一龙王阳元
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一种微型光学器件及其制备方法
本发明涉及一种微型光学器件及其制备工艺，其特征在于：它包括固定电极、可动电极、支撑梁、玻璃衬底、光反射模块和光纤固定模块；所述固定电极包括连接在所述玻璃衬底顶面两侧的梳齿式固定电极和固定在所述玻璃衬底顶面中部的平板式固定...
陈庆华吴文刚王子千闫桂珍郝一龙王阳元
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一种实现共面和离面运动的微驱动结构及其制备方法
本发明涉及一种实现共面和离面运动的微驱动结构及其制备方法，本发明微驱动结构包括固定电极、可动电极、支撑梁、玻璃衬底、驱动输出端；所述固定电极包括连接在所述玻璃衬底顶面两侧的梳齿式固定电极和固定在所述玻璃衬底顶面中部的平板...
吴文刚陈庆华王子千闫桂珍郝一龙王阳元
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一种微型多功能光学器件及其制备方法
本发明涉及一种微型多功能光学器件及其制备方法，其特征在于：它包括固定电极、可动电极、支撑梁、锚点、玻璃衬底、光反射模块和光纤槽；所述光反射模块的头部呈三角形，正对所述反射模块的头部设置一输入光纤槽，与所述三角形光反射模块...
吴文刚陈庆华王子千邹积彬闫桂珍郝一龙王阳元
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一种微型光学器件及其制备方法
本发明涉及一种微型光学器件及其制备工艺，其特征在于：它包括固定电极、可动电极、支撑梁、玻璃衬底、光反射模块和光纤固定模块；所述固定电极包括连接在所述玻璃衬底顶面两侧的梳齿式固定电极和固定在所述玻璃衬底顶面中部的平板式固定...
陈庆华吴文刚王子千闫桂珍郝一龙王阳元
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一种多角度垂直反射镜面的制造方法及产品
本发明涉及一种多角度垂直反射镜面的制造方法及产品，本发明方法其以体硅侧墙为载体，以改变刻蚀时间和钝化时间的比值为主，兼顾调节其它刻蚀条件进行深刻蚀。本发明解决了同一垂直侧壁上仅能制造单一垂直角度的反射镜面的这一国际性难题...
陈庆华吴文刚王子千邹积彬闫桂珍郝一龙王阳元
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