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何毅

作品数：20 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
相关领域：机械工程理学文化科学自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 20篇中文专利

领域

  • 3篇机械工程
  • 2篇理学
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇文化科学

主题

  • 7篇视场
  • 6篇照明
  • 6篇照明系统
  • 5篇光焦度
  • 5篇光学
  • 4篇透镜
  • 4篇均匀性
  • 4篇光刻
  • 4篇补偿装置
  • 3篇衍射
  • 3篇投影物镜
  • 3篇紫外光刻
  • 3篇物镜
  • 3篇光敏
  • 3篇光敏面
  • 3篇光学元件
  • 3篇傅里叶
  • 3篇傅里叶变换
  • 2篇等份
  • 2篇电子设备

机构

  • 20篇中国科学院

作者

  • 20篇何毅
  • 15篇林妩媚
  • 14篇邢廷文
  • 12篇甘大春
  • 11篇张海波
  • 11篇卢亮
  • 11篇廖志杰
  • 4篇刘学峰
  • 3篇陈红丽
  • 3篇刘卫静
  • 2篇刘志祥
  • 2篇吕保斌
  • 1篇冉英华

年份

  • 1篇2023
  • 2篇2022
  • 1篇2021
  • 2篇2019
  • 1篇2017
  • 1篇2016
  • 2篇2015
  • 3篇2014
  • 4篇2013
  • 3篇2012
共 20 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种投影物镜波像差检测装置及方法
一种投影物镜波像差检测装置及方法，光源发出的光线均匀照明在投影物镜物面上，散射板和针孔安装在掩模台上，针孔位于投影物镜的物面，通过掩模台移动进行视场选择，剪切光栅位于投影物镜的像面，和探测器一起安装在硅片台上，通过硅片台...
刘志祥刘学峰吕保斌陈红丽甘大春何毅
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一种光强分布的建模方法、装置、电子设备及存储介质
本发明公开了一种光强分布的的建模方法，应用于光刻照明均匀性补偿技术领域，包括：获取输入参数，输入参数包括视场面的输入光强分布和补偿平面的光瞳能量分布，根据视场面的输入光强分布和补偿平面的光瞳能量分布，确定补偿平面的光强分...
何毅林妩媚廖志杰刘卫静邢廷文
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一种透过率测量准确性标定方法
本发明公开了一种透过率测量准确性标定方法，该方法用于光学元件透过率测量装置的透过率测量准确性标定中。根据光学元件基片透过率稳定的特点，测量光学元件单片及多片组合的透过率，通过比较多个基片的透过率测量值和单个基片测量结果计...
刘卫静廖志杰何毅林妩媚邢廷文
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一种变焦光学系统
本发明涉及一种变焦光学系统，尤其是用于光刻照明系统内的变焦光学系统，该变焦光学系统沿其光轴方向包括第一、第二、第三和第四共四个透镜组。其中第一镜透镜组L1为前固定组，具有正光焦度，第二透镜组L2为变倍组，具有正光焦度，第...
何毅张海波林妩媚邢廷文廖志杰甘大春卢亮
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一种照明均匀性补偿装置
一种照明均匀性补偿装置，包括沿垂直于系统光轴方向设置的第一、第二补偿组件，每个补偿组件均由多个补偿单元组成，且第一、第二补偿组件的补偿单元数相等，相应的补偿单元构成补偿单元对。各个补偿单元均能沿照明视场扫描方向运动进出照...
何毅张海波甘大春林妩媚邢廷文廖志杰卢亮
一种光瞳均匀性补偿装置
本发明是一种光瞳均匀性补偿装置，包括侧壁和多个补偿单元，每个补偿单元包括第一驱动器、第一驱动机构、第一遮光组件和第二遮光组件；其中：在侧壁上设置有多个导轨槽；多个补偿单元沿着侧壁外侧均匀分布，且第一遮光组件位于第一驱动器...
甘大春张海波邢廷文林妩媚刘学峰廖志杰何毅卢亮
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一种深紫外光刻照明系统中的相干因子调整系统
一种深紫外光刻照明系统中的相干因子调整系统，包括：聚光镜组，位于照明系统的照明光路上，负责将光会聚到指定位置；匀光棒，位于系统所述聚光镜组的光路上，聚光镜组会聚的光经由匀光棒的入射端入射并经由出射端出射；控制装置，用来固...
卢亮张海波廖志杰林妩媚邢廷文甘大春何毅
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一种光学系统热性能仿真方法
一种光学系统的热性能仿真方法，该方法根据光线在光学系统中的传播路径及光学元件对光能的吸收机理将光学元件的热源分为表面热源和体热源，准确仿真光学系统各元件的热源分布，对光学系统进行准确的热性能仿真。其关键在于提出准确的表面...
甘大春张海波邢廷文林妩媚何毅卢亮
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一种用于衍射光学元件测量的傅里叶变换物镜
本发明涉及一种用于衍射光学元件测量的傅里叶变换物镜，其光轴方向包括孔径光阑、第一透镜、第二透镜、中间像面、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、后焦面。其中孔径光阑位置处放置被测衍射光学元件，第一透镜具有正光焦度，第二...
何毅廖志杰刘卫静付韬韬蕾茸粮
一种光强分布的建模方法、装置、电子设备及存储介质
本发明公开了一种光强分布的建模方法，应用于光刻照明均匀性补偿技术领域，包括：获取输入参数，输入参数包括视场面的输入光强分布和补偿平面的光瞳能量分布，根据视场面的输入光强分布和补偿平面的光瞳能量分布，确定补偿平面的光强分布...
何毅林妩媚廖志杰刘卫静邢廷文
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