李京辉 作品数:11 被引量:24 H指数:2 供职机构: 昆明物理研究所 更多>> 相关领域: 电子电信 文化科学 更多>>
一种红外偏振焦平面器件结构及其制备方法 本发明涉及一种红外偏振焦平面器件结构及其制备方法,该器件结构包括去除半导体衬底的红外焦平面器件和亚波长金属线栅;红外焦平面器件中,金属微柱分布在读出电路衬底正面的外围,形成了由具有一定中心距的金属微柱组成的矩形圈或方形圈... 李东升 杨超伟 韩福忠 郭建华 王向前 姚志健 封远庆 左大凡 王琼芳 李京辉小像元碲镉汞红外焦平面探测器的研究进展 被引量:6 2019年 随着红外技术的发展,探测器的尺寸、重量和功耗(SWaP)的减小已成为研究热点。像元尺寸的减小,一方面可以提高器件的分辨率,另一方面可以减小整个探测器系统的体积、重量和功耗,进而大大节约成本。因此,像元尺寸的减小成了研究的重点。本文介绍了小像元红外焦平面器件的技术难点,分别从系统的调制传递函数(Modulation Transfer Function,MTF)、噪声等效温差(Noise Equivalent Temperature Difference,NETD)、像元结构和像元集成互连方面进行了讨论。此外,介绍了国外像元中心距为12μm、10μm、8μm和5μm的HgCdTe红外焦平面探测器的研究进展。 杨超伟 李东升 李立华 李京辉 封远庆 杨毕春 唐遥 张志文 李雄军 李妍君关键词:碲镉汞 红外探测器 铟凸点对倒装互连影响的研究 被引量:2 2016年 制作了2种形式的铟凸点:即直接蒸发沉积的铟柱和将铟柱回流得到的铟球。分别讨论了铟柱和铟球对倒装互连的影响,着重讨论了铟球和铟柱分别和芯片倒装互连后的剪切强度,结果发现在互连未回流的状态下铟球的剪切强度是铟柱的1.5倍,回流后铟球的剪切强度是铟柱的2.8倍。此外,分析讨论了长时间放置在空气中的铟球对倒装互连的影响,结果发现长时间放置在空气中的铟球和芯片互连后,器件的电学与机械连通性能会受到很大的影响。 杨超伟 闫常善 王琼芳 李京辉 韩福忠 封远庆 杨毕春 左大凡 赵丽 俞见云关键词:铟柱 高温碲镉汞中波红外探测器的国内外进展 被引量:15 2017年 介绍了欧美发达国家在高工作温度碲镉汞中波红外探测器上的工艺技术路线及典型产品技术指标。对昆明物理研究所研制的基于标准n-on-p(Hg空位掺杂)工艺的中波640×512(15μm)探测器进行了高工作温度性能测试,测试结果显示器件性能基本达到国外产品的同期研制水平。 周连军 韩福忠 白丕绩 舒畅 孙皓 王晓娟 李京辉 邹鹏程 郭建华 王琼芳关键词:碲镉汞 红外探测器 一种铟凸点器件结构及其制备方法 本发明涉及一种铟凸点器件结构及其制备方法,属于铟凸点器件制备技术领域。该器件结构包含半导体衬底、焊盘、第一钝化层、第二钝化层、UBM金属层和铟凸点;UBM金属层包括粘附层、阻挡层、缓冲层和浸润层;在该器件结构中,粘附层覆... 杨超伟 李京辉 韩福忠 王琼芳 封远庆 左大凡 杨毕春 周连军 吴圣娟文献传递 非制冷微测辐射热计阵列单元结构模型应力有限元分析 2010年 介绍了基于非制冷测辐射热计阵列红外成像系统的噪声等效温差(NETD)计算模型。由此设计了一种非制冷微测辐射热计阵列单元结构模型,并对此模型进行了有限元分析,继而对该模型进行了优化。 周连军 邹鹏程 李京辉 李煜 李欣蓉关键词:有限元分析 应力 铟凸点回流时的异常现象的研究 2016年 利用湿法回流缩球的技术,使铟柱回流成铟球。在研究中心距为30μm、面阵为320×256的读出电路在回流缩球的过程中遇到了3种异常现象,即铟球体积异常、铟球桥接和铟球偏离中心位置的现象。详细地介绍了这3种现象产生的过程及背景,分析了产生这3种现象的机理以及对器件性能和倒装互连的影响,并提出了相应的解决措施。 杨超伟 李京辉 王琼芳 封远庆 杨毕春 左大凡一种红外偏振焦平面器件结构及其制备方法 本发明涉及一种红外偏振焦平面器件结构及其制备方法,该器件结构包括去除半导体衬底的红外焦平面器件和亚波长金属线栅;红外焦平面器件中,金属微柱分布在读出电路衬底正面的外围,形成了由具有一定中心距的金属微柱组成的矩形圈或方形圈... 李东升 杨超伟 韩福忠 郭建华 王向前 姚志健 封远庆 左大凡 王琼芳 李京辉文献传递 一种抗高温氧化的读出电路引出电极及其制备方法 本发明涉及热释电混合式非制冷焦平面探测器的读出电路引出电极及其制备方法,具体涉及一种可以具有抗高温氧化特性的引出电极,阻止读出电路的Al引出电极在高温工艺中的热扩散和氧化。读出电路引出电极为复合结构,本发明在硅工厂加工完... 杨春丽 胡旭 姬荣斌 韩福忠 李京辉 吴思晋 汤金春 张敏 王冰扫描型探测器光敏元尺寸设计研究 被引量:1 2010年 针对国外进口长波4×288扫描型探测器,通过分析其光敏元在扫描过程中探测到的图像像素信号强度和相邻图像像素信号的混叠影响,给出了探测器光敏元尺寸与探测器焦平面上图像像素尺寸之间的相互关系,为新型扫描型探测器阵列光敏元尺寸设计、成像积分时间占空比设计提供了参考。 程有度 孙光英 李煜 李立华 郭建华 曹兴国 李京辉关键词:图像像素 尺寸 占空比