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王广峰
作品数:
3
被引量:2
H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
王铮
中国电子科技集团公司第四十五研...
李伟
中国电子科技集团公司第四十五研...
姜家宏
中国电子科技集团公司第四十五研...
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3篇
中文期刊文章
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3篇
电子电信
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2篇
多线切割机
1篇
砂浆
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损伤层
1篇
跳线
1篇
线性度
1篇
粒度
1篇
磨削热
1篇
固有频率
1篇
CMP设备
机构
3篇
中国电子科技...
作者
3篇
王广峰
1篇
姜家宏
1篇
李伟
1篇
王铮
传媒
3篇
电子工业专用...
年份
1篇
2015
1篇
2010
1篇
2009
共
3
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多线切割机磨削热的不良影响及消除
2009年
介绍了多线切割机磨削热的危害性,提出了磨削热的具体消除方法。
王广峰
关键词:
磨削热
砂浆
跳线
线性度
多线切割机对硬脆材料加工的发展方向
被引量:2
2010年
介绍了内圆切割、游离磨料线切割、固结金刚石线切割三种加工类型,提出了未来硬脆材料加工新的发展方向。
王广峰
关键词:
损伤层
粒度
CMP设备承载台关键技术研究
2015年
介绍了化学机械抛光设备中承载台机构的功能、结构组成,筛选合适的承载台材料,并通过运用MSC PARTRAN有限元软件对该机构进行模态分析,研究它的固有频率及振动特性,综合对比后,选择合适的方案,满足工艺过程的需求。
姜家宏
王广峰
李伟
王铮
关键词:
固有频率
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