纪新明
- 作品数：61 被引量：102H指数：6
- 供职机构：复旦大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金上海市科委科技攻关项目更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术理学电子电信机械工程更多>>
- 一种微弹簧的加工方法
- 本发明涉及微纳结构的加工技术，公开了一种微弹簧的加工方法。本发明中，微弹簧的加工方法包含以下步骤：提供一洁净硅片作为衬底；在衬底上淀积图形化牺牲层，其中，牺牲层的材料为非定形碳；在牺牲层和未淀积牺牲层的衬底上淀积薄膜，衬...
- 纪新明黄涛李洁惠
- 文献传递
- 电镀自焊接三维微电极阵列方法
- 本发明属于微电极制备技术领域，具体涉及电镀自焊接三维微电极的方法。其步骤是把微电极穿过金属微孔，并固定在插槽中；对微金属孔进行电镀，使金属孔逐渐变小，直到与穿过微金属孔的微电极结合在一起，从而实现了微电极与微金属孔的自焊...
- 吕尊实周嘉高安纪新明黄宜平
- 文献传递
- 一种可直接脉冲调制的MEMS红外激发源被引量：12
- 2005年
- 针对红外气体探测器对光源的要求,结合现有MEMS(微机电系统)工艺及与其兼容的IC工艺,研制了一种可用于红外多气体传感器的脉冲式MEMS辐射光源.该光源主要有Si3N4/SiO2的复合支撑层和铂金发热电极组成,可以产生相当于黑体300～800 K的红外辐射,在温度T＝1 106 K时有λ=2.62 μm峰值辐射波长;并且光源有足够强的辐射强度和2～15 μm红外辐射波段,能够满足大部分气体在2～14 μm波长范围内特征的吸收谱线的要求.经过对辐射元的动态测量可知,辐射源的动态调制频率可达到50 Hz,完全能够满足气体测量对所需红外光源调制频率的要求.
- 纪新明吴飞蝶王建业周嘉谢海芬黄宜平
- 关键词：红外传感微机电系统
- 基于农业物联网的农药喷洒监测系统和方法
- 本发明涉及食品安全监控领域，公开了一种基于农业物联网的农药喷洒监测系统和方法。本发明中，通过农药喷洒监测装置监测有机磷的浓度，并将监测结果从发送端处理器通过无线网络发送到接收端处理器，并在人机交互终端进行显示，可以实现有...
- 纪新明窦宏雁
- 文献传递
- 等离子体MEMS红外光源研究进展被引量：1
- 2009年
- 利用金属/电介质光子晶体(MDPC)对黑体热辐射光谱有增强透射和滤波的剪裁特性,制成能够发射出高性能、可调谐窄带相干光的等离子体微机电系统(MEMS)红外光源。其工作波长可选择性、工艺简单、成本低和MEMS化等优点使其在生物、医学和军事等领域得到广泛的应用。对该器件的结构与材料选择、工作机理、工艺流程及性能表征和研究进展进行了详细的综述,对其在微型非色散红外(NDIR)气体传感系统中的应用前景进行了展望。
- 肖功利姚翔纪新明周嘉包宗明黄宜平
- 关键词：光学器件表面等离子体黑体辐射
- 高灵敏度谐振式红外光声气体传感器研究
- 2012年
- 研究了高灵敏度谐振式红外光声气体传感系统,对系统的谐振频谱进行了测试分析,观察到了新的谐振模式。经过对比,发现选用新的谐振模式具有更高的测试灵敏度和信噪比,新的谐振模式源于两边的缓冲腔体内的谐振。研究了麦克风输出腔体结构对信号的影响,发现增加输出腔内麦克风到谐振腔的距离可显著增加光声信号。另外,在激光岀射端口放置反射金属膜也有利于提高光声信号,从而提高系统检测极限。
- 方兴李嘉纪新明包宗明黄宜平
- 关键词：谐振式灵敏度信噪比
- 改进的一维纵向光声腔仿真模型被引量：2
- 2010年
- 依据光声传感器的原理,改进了传输线理论,引入与谐振腔相连接的腔室、管道所引起的非理想因素,提出了一种更为完善的LC等效电路模型。利用此模型完成一维光声腔结构参数的理论分析和计算,通过与以前的模拟结果和实际测量数据进行对比可知,新模型的模拟结果与实验结果拟合得更好,从而证明了新模型的合理性。
- 姚伟纪新明周嘉包宗明鲍敏杭黄宜平
- 关键词：LC振荡电路
- 微机电系统红外脉冲光源调制特性的研究被引量：3
- 2006年
- 针对微机电系统热激发红外光源的动态特性,采用一种新的计算方法。即通过建立光源在不同初始温度下升温与加电时间、功率之间的关系,定量估算不同脉冲频率下辐射功率的调制深度。该方法可以计算调制深度大情况下的动态特性。就其中两个重要影响因素加电方式和发射率分别进行讨论,得到:饱和功率相同的前提下,采用恒压源供电方式相比恒流源供电和恒定功率供电响应时间更小,从而更有利于改善光源的动态调制特性;相同条件下,选择高发射率的光源材料也有利于缩短上升时间。结合计算结果,对一个微型铂金薄膜红外光源的频响特性进行了验证测试,测试结果与计算分析符合较好。
- 吴飞蝶纪新明王建业周嘉黄宜平包宗明
- 关键词：调制特性供电方式
- 光电检测集成芯片
- 本发明涉及可见光通信领域，公开了一种光电检测集成芯片。本发明中，包含内部集成了光电信号处理电路的印刷电路板PCB和光电二极管PD阵列，其中，PD阵列位于PCB上，PD阵列中的每一个PD上都具有一个正极和一个负极，PCB上...
- 纪新明窦宏雁李洁惠
- 文献传递
- 一种基于光子晶体结构的新型MEMS红外光源被引量：1
- 2007年
- 结合光子晶体和表面等离子体共轭(surface plasmon resonance,SPR)技术,研究了一种新型的MEMS红外光源.相比传统的红外光源,该新型光源具有红外光谱窄、红外发射峰位置可调等优点.该光源衬底材料为硅,然后在硅表面形成SiO2-Cr-Au结构,并在Si-SiO2-Cr-Au结构表面形成刻蚀深度为2μm、孔间距分别为7μm和8μm(孔直径分别为3.5μm和4μm)等不同的周期性排列圆孔的光子晶体结构.采用有限元时域分析(finite-difference time-domain,FDTD)软件模拟和傅里叶红外光谱仪实际测量的结果表明,该新型MEMS红外光源具有窄的波峰,其反射光谱波谷波长和圆孔间距相近.通过理论推导和FDTD软件模拟,研究了光源光子晶体结构中圆孔深度和透射光谱波峰强度关系.结果表明,圆孔深度为2μm的结构比3μm结构的透射强度更强.透射强度与圆孔深度h在一定范围近似为倒数平方关系,即在一定范围内圆孔越深,透射越弱.
- 王国勋纪新明周嘉包宗明鲍敏杭黄宜平
- 关键词：表面等离子体共振微机电系统红外光源反射率
