贾辛
- 作品数：45 被引量：42H指数：4
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信理学自动化与计算机技术更多>>
- 一种检测小孔衍射球面波光学面形的检测装置
- 本发明提供一种检测小孔衍射球面波光学面形的检测装置及方法，从激光器发射的光经过滤波孔、聚光镜、空间滤波器、扩束镜、λ/2波片、λ/4波片、半透半反镜后分成两路光，经过半透半反镜反射的第一路光照射第一小孔，第二路光经过半透...
- 贾辛许嘉俊邢廷文
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- 一种带有环境反馈的自动干涉检测系统及方法
- 本发明公开了一种带有环境反馈的自动干涉检测系统及方法，自动干涉检测系统包括了独立地基，第一振动测量探头，主动隔振系统，大理石平台，第二振动测量探头，第三振动测量探头，调整架，转台，待测镜架，第四振动测量探头，第一导轨，第...
- 贾辛徐富超谢伟民邢廷文
- 文献传递
- 一种利用小孔衍射波进行待测件定位的装置及方法
- 本发明公开了一种利用小孔衍射波进行待测件定位的装置及方法，该装置中从激光器发射的光经过滤波孔、第一聚光镜、空间滤波器、扩束镜、λ/2波片、λ/4波片、经过衰减片后经照射到待测件侧面掩模版，掩模版包含小孔或小孔阵列，小孔周...
- 贾辛许嘉俊邢廷文
- 一种三平面绝对测量光学面形的检测装置及方法
- 本发明是一种三平面绝对测量光学面形的检测装置及方法，激光器发射的光经过空间滤波器、分光镜、准直光学组件、第一夹持架上平面后产生参考光，第一夹持架上的平面和第二夹持架上的平面产生干涉，干涉光经光路返回后经过分光镜再由聚光镜...
- 贾辛冯建美林妩媚廖志杰邢廷文
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- 采用奇偶函数法的平面面形绝对测量技术仿真分析被引量：7
- 2012年
- 随着现代工业和科学技术的飞速发展,特别是近代大规模集成电路技术的不断提高,对系统精度的要求日益提高。在光刻系统中,越来越短的特征尺寸要求我们使用更高精度的光刻物镜。在这之前我们需要更高精度的检测技术来满足加工及系统集成的需要。高精度移相干涉仪的测量结果包含了待测面和参考面的误差,移相干涉测量法的测量精度受限于参考面的精度。绝对测量方法通过移除参考面的误差,从而达到提高测量精度的目的。回顾了光学平面面形绝对测量方法,重点描述了基于奇偶函数的绝对测量方法。分析了旋转角度误差对测量结果的影响,通过旋转更小的角度求出了高阶面形拟合分量,给出了求高阶面形拟合分量的通项公式。
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- 关键词：光学检测绝对测量奇偶函数面形检测
- 基于DMD的动态红外投影系统分光系统设计被引量：3
- 2008年
- 动态红外投影技术是红外硬件闭环仿真(HWIL)和红外成像测试与评估的关键技术,它能够在实验室内实物模拟红外成像,从而降低光电系统的研发成本和提供可重复的实验环境。介绍了动态红外场景投影技术及其分类,描述了基于DMD动态红外场景分光系统的设计过程。为了解决系统中分光的问题,采用棱镜设计的理论设计了分光棱镜,给出了设计结果,经验证满足要求。为了获得更好的透过率和更紧密的结构,可以选取更好的材料来改进设计。
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- 关键词：DMD红外光学
- 一种光学面形的检测装置及检测方法
- 本发明是一种光学面形的检测装置及检测方法，激光器发射的光经过分光镜、准直光学系统、反射镜、参考面反射后产生参考光，参考平面和待测平面产生干涉，干涉光经光路返回后经过分光镜再由聚光镜组收集到CCD探测器接收。移相器用来产生...
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- 拼接测量装置和方法
- 本发明公开了一种拼接测量装置，适于对凹球面的面形进行拼接测量，所述拼接测量装置包括：干涉仪、参考透镜、第一平面反射镜、第二平面反射镜、第一调整机构、第二调整机构、凹球面的被测件、运动台和控制机构，第一平面反射镜安装在第一...
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- 一种用于小孔标定的检测装置及方法
- 本发明提供一种用于小孔标定的检测装置及方法，激光器发射的光经过滤波孔、聚光镜、空间滤波器、扩束镜、λ/2波片、λ/4波片、半透半反镜后分成两路光，第一路光经过衰减片、分束镜后经反射镜反射的光再经分束镜反射到第一小孔，第一...
- 贾辛许嘉俊邢廷文
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- 一种凸锥镜的在线检测加工装置及方法
- 本发明提供一种凸锥镜在线检测加工装置及方法，该装置中，光源发出的准直光束照射到凸锥镜表面，反射后到达CCD探测器。凸锥镜固定于精密转台上，跟随转台一起旋转，当凸锥镜母线斜率发生改变时，到达CCD探测器的反射斑质心位置随之...
- 许嘉俊贾辛徐富超邢廷文
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