徐富超
- 作品数：46 被引量：21H指数：3
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国防科技技术预先研究基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程理学文化科学更多>>
- 一种带有环境反馈的自动干涉检测系统及方法
- 本发明公开了一种带有环境反馈的自动干涉检测系统及方法，自动干涉检测系统包括了独立地基，第一振动测量探头，主动隔振系统，大理石平台，第二振动测量探头，第三振动测量探头，调整架，转台，待测镜架，第四振动测量探头，第一导轨，第...
- 贾辛徐富超谢伟民邢廷文
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- 一种基于深度学习的光学元件表面缺陷检测方法
- 本发明公开了一种基于深度学习的光学元件表面缺陷检测方法，该方法包括以下步骤：1)获取光学元件表面缺陷图像并进行预处理；2)将预处理后的缺陷图像输入预先训练好的缺陷检测模型进行光学元件表面缺陷的智能识别。所述图像预处理是对...
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- 一种凸锥镜的在线检测加工装置及方法
- 本发明提供一种凸锥镜在线检测加工装置及方法，该装置中，光源发出的准直光束照射到凸锥镜表面，反射后到达CCD探测器。凸锥镜固定于精密转台上，跟随转台一起旋转，当凸锥镜母线斜率发生改变时，到达CCD探测器的反射斑质心位置随之...
- 许嘉俊贾辛徐富超邢廷文
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- 一种光学元件自定心方法及装置
- 本发明涉及一种光学元件自定心方法及装置，属于光电技术检测领域。该自定心装置包括微型投影模块、分光元件、物镜、旋转台和投影监控模块。微型投影模块投射计算机生成的特定图样到待定心的光学元件表面上，旋转台带动被测光学元件旋转，...
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- 一种微柱面透镜阵列的检测装置和方法
- 本发明公开了一种微柱面透镜阵列的检测装置和方法，该装置包括微柱面透镜阵列(101)，工装(102)，绕Z轴的旋转台(201)，沿X轴和Y轴的二维平移台(202)，Z轴方向高度接触测量设备(203)和计算机(204)。通过...
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- 一种光学凸球面面形的检测装置及方法
- 本发明提供一种光学凸球面面形的检测装置及方法，该装置中，光源发出波长可变的线偏振准单色光，经滤波孔、第一扩束镜、空间滤波器、第二扩束镜、λ/4波片和第一聚焦透镜聚焦于小孔中心。一部分小孔衍射波经第二聚焦透镜照射到被测凸球...
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- 一种大口径曲面光学元件表面缺陷自动检测装置及方法
- 本发明涉及一种大口径曲面光学元件表面缺陷自动检测装置及方法，属于光电技术检测领域。该装置包括测量头、旋转工件台、自动取样装置和喷淋装置。测量头包括传感器系统、照明系统和成像系统，照明系统为被测样品表面提供高均匀性和高亮度...
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- 一种光学系统像差补偿装置与方法
- 本发明提供一种光学系统像差补偿装置与方法，光源发出的光线均匀照明在投影物镜物面上，散射板和针孔安装在掩模台上，针孔位于投影物镜的物面，波像差传感器位于投影物镜像面，安装在硅片台上，同时投影物镜内部氮气进行分段密封，在每个...
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- 抑制大噪声的解包算法被引量：5
- 2011年
- 移相干涉技术是高精度面形检测的主要手段之一,但当图像中含有大噪声和大块无效区域时,解包却是一个难题。将噪声点分为残差点和不连续点,对残差点采用三点邻域的组合对其进行判定,对不连续点在解包前后进行两次标记,并在解包后利用邻域有效点的均值来复原噪声点,从而改进和完善了种子点解包算法。仿真结果表明,改进后的算法有较强的噪声抑制能力,有效解决了在大噪声、大块无效区域情况下图像的相位解包问题,且解包出来的图像中不再含有大的噪声,可用均值滤波进行平滑处理。
- 徐富超邢廷文
- 关键词：光学检测噪声处理
- 一种用于检测平板光学元件面形误差的装置及方法
- 本发明涉及一种用于检测平板光学元件面形误差的装置及方法。所述装置包括光学元件支架，匹配液体，匹配液体盛放槽。所述装置可在使用立式干涉仪测量平板光学元件时，消除平板光学元件后光学表面反射光对前光学表面面形误差检测造成的干扰...
- 李云贾辛徐富超邢廷文
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